真空兼容执行器

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线性执行器
线性执行器
VAQ series

运行行程: 20, 40 mm
力度: 10 N

线性执行器
线性执行器
X-NA-SV Series

运行行程: 25 mm - 50 mm
力度: 25 N
速度: 0 mm/s - 30 mm/s

... X-NA-SV 系列真空兼容的微型线性执行器,内置控制器是计算机控制的电动直线执行器,具有高推力和速度的功能,尺寸紧凑。 这些微型执行器只有 20 mm 宽,非常适合需要小型材的应用。 X-NA-SV 采用真空兼容材料设计,可最大限度地减少排气并缩短泵停机时间。 内置控制器菊花链与其他 X 系列器件在真空室内,只需 4 条馈通线即可控制菊花链中的所有单元。 产品规格包括:25 和 50 毫米行程长度;高达 30 毫米/秒的速度;高达 25 N 推力;可拆卸硬化球尖端。 ...

线性执行器
线性执行器
L-220 series

运行行程: 52, 26, 13, 77 mm
力度: 1 N - 125 N
扭矩: 0.01 Nm

... 适用于较高的循环次数 结合了高精度、高力和高动态。有适用于10-9 hPa真空环境的版本。 高质量的部件 滚珠丝杠用于平稳进给。用于均匀运动的非旋转尖端,防止在接触点上出现晃动、扭矩和磨损。包括用于解耦力的平头和球头。非接触式限位开关保护机械装置。一个方向感应的参考开关支持自动化应用。位置控制的变体在连接器中带有差分编码器驱动器,可在长达10米的距离内安全传输信号。 电机变体 - 带有齿轮头和高分辨率旋转编码器的位置控制直流电动机可实现仅100纳米的增量运动。 - ...

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Physik Instrumente/德国PI
标准执行器
标准执行器
DriveSpin® DS series

扭矩: 18 Nm - 1,150 Nm
环境温度: -40 °C - 60 °C

DriveSpin ®执行器作为基础型执行器,提供旋转运动和输出扭矩传递,具有高径向-轴向负载能力,是同类产品中最准确、最精密的解决方案。DS执行器中的AC伺服电机保证了其高动态性能,其减速机构具有高稳健性和高过载能力。电压和反馈的可变性,将满足客户对于转矩、刚性和精度等顶级性能的要求。执行器经过优化,可与结合了控制器的变频器或多轴伺服变频器一起使用。额定输出转矩范围是18Nm到268Nm。 优势 • 低传递损失 • 低输入转动惯量 • ...

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SPINEA
转子-线性执行器
转子-线性执行器
LCR Series

运行行程: 25, 35, 50 mm
力度: 2.8 N - 25 N
扭矩: 0.05 Nm - 4.5 Nm

LCR系列是LCA系列延伸出的线性加旋转致动器。这款致动器是安装直接驱动的无刷伺服马达。内建自润式线性滑轨,提供超长的循环寿命。有软着陆以及可程序化的功能,可精准的控制力量 / 扭力、位置、加速度以及速度。 特点 • 软着陆功能 • MTBF一亿次的寿命循环 • 真空轴可避免灰尘累积

旋转执行器
旋转执行器
Elewave series

运行行程: 10 mm - 52 mm
力度: 8 N - 50 N

... *电动手动平型(标准冲程型/长冲程型) *电动手柄(标准型/高速型) *电动旋转推杆 #NS 滑块 ...

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