圆柱磁电管

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旋转磁电管
旋转磁电管

... 可使用 3 英寸(75 毫米)或 5 英寸(125 毫米)背管直径的插入式和侧面安装式全套组件,长度可达四米,并具有最小的源对源间距,可为紧凑型高产能生产系统提供多个在线阵列。 ONYX-Revolution™ 采用通用、高性价比的磁体设计,具有定制的周转能力,适合任何类型的目标。而且,它采用现成组件设计,成本低、投资长、可靠性高。 Angstrom Sciences 的专利异型磁铁技术可在源和基底之间形成更接近正常的沉积轮廓。改进后的沉积剖面可减少腔室壁上的碎片堆积。 此外,Angstrom ...

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Angstrom Sciences, Inc.
脉冲磁电管
脉冲磁电管
HiPIMS

... 高功率脉冲磁控溅射或 HiPIMS 是脉冲溅射技术的最新进展,它利用能量极高、持续时间极短的脉冲产生等离子体放电,使大部分溅射原子电离。电离后的通量可以被引导,从而增强对涂层特性的控制。 Angstrom Sciences 已经开发出一系列溅射阴极,能够承受超过 1500 瓦特/平方英寸的极端功率密度,适用于连续长时间的生产应用。Angstrom Sciences 的高脉冲功率脉冲磁控溅射阴极在阳极体和安装法兰中加入了额外的冷却通道,与我们获得专利的湍流目标冷却一起,在工艺操作过程中保持最佳的冷却效果。 其他特点包括被动和主动磁体阵列,可在靶材寿命期间保持靶材表面的场强一致,这对 ...

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圆柱磁电管
圆柱磁电管

... Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在,我们已经开发出一种方法,可将您现有的 BOCCT / HRC / HLK、CVC、圆柱形、MRC 和任何其他 OEM 阴极改装为我们获得专利的异型磁铁设计,从而为您的工艺带来 Angstrom Advantage™。利用我们的设计和先进的建模能力,我们可以设计出性能更高的产品,提供更好的靶材利用率、更高的均匀性和更少的微粒污染。 Angstrom Sciences 致力于通过提供世界上最先进的磁控管、高质量沉积材料和全面的技术支持,帮助客户开发最具生产力和成本效益的薄膜应用。 我们随时准备确保您的满意。因此,我们为所有磁控管提供业内最长的两年保修服务。 ...

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平面磁电管
平面磁电管

... Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在,我们已经开发出一种方法,用我们获得专利的异型磁铁设计改装您现有的圆柱形磁控管--为您的工艺带来 Angstrom Advantage™。 经济型解决方案 圆柱形磁铁改装具有上述所有优点,而成本仅为更换现有圆柱形组件的三分之一。 -磁体完全封装在不锈钢中 > 高效水流 -高效水流 -与所有现有目标设计兼容 -无缝集成 -可调节的均匀性 -先进的转弯技术可产生更平整的侵蚀轮廓 -改进的沉积曲线减少了腔壁上的碎片堆积 -更高的场强可在较低功率水平下实现典型沉积率 ...

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旋转磁电管
旋转磁电管

... 高功率射频磁控溅射阴极可成功应用于研发和生产,前提是在结构上采用特定的设计标准。 圆形高功率射频磁控管可直接冷却,外径为 2 英寸-8 英寸。 由于射频功率在高频率下运行,因此磁控溅射阴极的设计必须能够控制该功率。Angstrom Sciences 的高功率射频磁控管设计用于在目标表面均匀传输射频能量,同时提供低反射功率和射频限制。 高功率射频磁控管有圆形和线性两种配置。 ...

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定制磁电管
定制磁电管

... 当今的光盘行业面临着日益复杂的生产挑战。尽管对薄膜均匀性的要求始终不变,但生产过程的经济性却随着材料成本的变化而大相径庭。 对于许多磁盘制造商来说,这意味着要安装两种截然不同的系统--一种用于实现低成本材料的最大产量,另一种用于实现贵金属和其他昂贵目标材料的高目标利用率。 Angstrom Sciences 的 CD / DVD 磁控管采用可插入式磁铁阵列设计,因此技术人员可以在单一系统上实现标准化,只需更换阵列即可优化性能结果。 Angstrom Sciences ...

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圆柱磁电管
圆柱磁电管

... SIDABRE 开发具有平面和圆柱形几何形状的单磁控和双磁控,可作为单独的组件或部件集成到系统中。 这些设备可配备特殊功能,例如夹紧或粘合目标、直接或间接冷却以及外部或内部电源和冷却水连接。 矩形和圆柱形目标的最大可用长度为 2.0 米, 圆形目标的最大可用直径为 400 毫米。 根据特定工艺的要求,我们开发不同类型的圆柱形可旋转磁控子,在目标或磁铁上进行旋转。 我们的真空涂层系统配备了必要的手段,通过定制的解决方案来满足客户的特殊需求。 SIDRAMBE ...

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