XYZ轴微定位系统

... XY-Z微孔板扫描系统用于快速和平行分析、实验室自动化、细胞监测、药品测试和细胞学 - 实验室/分析 对微孔板进行快速和精确的分析 微孔板扫描系统能使结果一致，误差率最小。两个扫描系统在推拉运动中移动，从而补偿了加速度的反作用力。因此，该系统即使在桌面设置中也是静止的，并允许非常高的扫描运动精度。 高分辨率的25毫米聚焦轴具有微米级的分辨率，确保了最佳的分析结果。它可以配备一个双传感器臂或单传感器臂。操作可以是带有位置触发器的即时模式，也可以是带有两个执行器的惯性补偿的启动-停止模式。 ...

... 可选择配备高分辨率测量系统，重复精度可达0.005微米 - 可与旋转台结合用于旋转应用 - 可根据试验室中的安装情况进行单独调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 用于高精度或动态应用的小型化XYZ机械手 该机械手是一个高度动态的三轴系统，在非常有限的安装空间内进行X、Y和Z运动。可实现最大50毫米的行程。该机械手配备了压电马达，因此可以在高真空和超高真空的高精度应用中实现几纳米的定位增量。可选择配备纳米运动，它特别适用于高动态和高精度的定位 ...

... 可选择配备高分辨率测量系统，重复精度可达0.005微米 - 可与旋转平台组合，用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的型号（根据要求可达到1级）。 - 可与控制器FMC400/450一起使用 用于高要求应用的小型化XYZ机械手 MP53机械手是一个小型化的三轴系统，在非常有限的安装空间内进行X、Y和Z运动。可实现10毫米的行程范围。该机械手配备了压电马达，因此可以在高真空和超高真空的高精度应用中实现几纳米的定位增量。 ...

重复精度: 1.5, 0.4, 0.75, 0.15 µm
载荷: 7.5, 2 kg
运行行程: 40, 16 mm

... 我们的HexGen® HEX150-140HL在紧凑而坚固的平台上提供稳定可靠的六自由度（DOF）运动。您将从超精细定位分辨率、充足的有效载荷容量、高工艺吞吐量等方面获益。HEX150-140HL可与我们功能强大的运动控制器灵活集成，操作直观，是需要复杂多DOF运动而可用空间有限的应用的完美选择。 -体积小巧，运动范围大，可轻松集成到复杂应用中。 -支持高达7.5 kg的有效载荷，抗反向驱动能力高达100 N -使用我们的控制器可与其他运动轴（伺服、步进、压电等）进行协调 -提供简单、方便的枢轴点调整 -搭配功能强大的控制和可视化软件 HEX150-140HL是解决空间受限、多自由度、要求精细定位分辨率的应用的理想选择，这些应用包括 -光子设备操作、对准和封装 -光学检测和对准 -光学晶圆探测 -航空航天和卫星传感器测试 -同步加速器和光束线样品操作 ...