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运行行程: 51, 19 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 160, 1,000, 80 nm
... SOM-808030是SmarAct的显微镜平台中唯一提供垂直移动方向的。X和Y轴的移动范围为51毫米，Z轴为16毫米。该平台的尺寸为长和宽138毫米，高56毫米。由于SOM-808030是基于SmarAct的SLC系列线性平台，它提供最高的闭环重复性和纳米分辨率。 通过标准插入物的适配器，确保了与普通制造商的兼容性。显微镜平台的底板是与面包板兼容的。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 3.5/ ≥ 5.5 尺寸[mm] - 138x ...
SmarAct GmbH
... SMARFLEX纳米定位扫描平台利用压电驱动的机械挠性体的优势，实现了高达几百微米的高度精确定位任务。 PLF3232-x.60在X方向提供了60微米的扫描范围。它的重量为30克，非常轻，而且相当紧凑，为32 x 32 x 12毫米。 ...
SmarAct GmbH
... SMARFLEX纳米定位扫描平台利用压电驱动的机械挠性体的优势，实现了高达几百微米的高度精确定位任务。 PLF3232-z.60在Z方向提供了超过60微米的扫描范围。它的重量为30克，非常轻，也相当紧凑，为32 x 32 x 15毫米。 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm
... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 75 nm
... 我们的第二代ANT95LZ平台专门设计用于在垂直方向上提供纳米级运动和定位性能。用户可调节的超低摩擦气动平衡使其在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面成为同类产品中的佼佼者。ANT95LZ平台具有出色的动态性能和更强的承载能力，是您需要卓越的垂直运动时的最佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至1 nm。 -在最长50 mm的移动长度上实现纳米级定位性能 -通过用户可调的超低摩擦平衡，在垂直方向实现精确定位，有效载荷可达5公斤 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机，最大限度地提高了工艺产量和可靠性 ANT95LZ是要求高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择，包括 -光学装配和检测 -光纤对准和优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试与鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...
Aerotech/美国Aerotech
运行行程: 100 µm
载荷: 21 g
... - 平行运动设计，在所有空间方向都有最高的刚度 - 高谐振频率带来的高动态运动，即使负载达到100g也是如此 - 创新的产品设计，由于采用了单一的安装平台，可以灵活使用 - 市场上唯一具有ID芯片功能的纳米定位器 - 市场上最小和最轻的NanoCube®，具有100微米的行程范围 - 光纤定位和对准 - 扫描显微镜 - 双光子聚合 - 纳米技术和纳米制造 - 光子学/集成光学 - 微操作 - 样品定位 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米级的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置的Sub-D连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 适用于复杂的真空应用 压电系统中使用的所有元件都非常适合在真空中使用。 ...
Physik Instrumente/德国PI
运行行程: 0.4, 0.2, 0.1 mm
NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动，所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能，使它们可以用于动态过程（如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描）。 •亚纳米压电定位分辨率 •在 X、XY 或 XYZ 中运动 •压电行程范围可达 400 µm •可选集成应变计，适用于闭环操作 •共振频率高，适用于高动态应用 •真空版本 亚纳米定位分辨率 NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 ...
运行行程: 800 µm
速度: 17 m/s
重复精度: 6 nm
... OP800 压电物镜扫描仪是目前所有物镜定位仪中步进和稳定时间最快的。由于采用了电容式反馈传感器，它还具有市场领先的定位精度和分辨率。该系统与大多数显微镜和物镜兼容，具有用户可配置的设置，可针对不同的物镜尺寸、重量和性能需求进行优化。用户只需选择适合其应用的最佳设置即可。 ...
Prior Scientific
IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是极具功能美的紧凑型直线电机工作台。工作台的导向部采用实现了长期免维护的C-Lube自润滑直线导轨L，有助于减少维护工时。动子采用高性能钕磁石，虽然是极小型，但最大推力达到了36N，可实现高速、高响应性定位。而且机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机NT最适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和组装装置等设备的紧凑型定位机构。
运行行程: max 16.0 µm
... 压电系统 Jena 的 PXY 系列是一个 XY 纳米定位级，用于将压电致动器分解成柔性铰链系统。 通过这些组件，该装置能够在具有纳米精度的动态条件下工作。 它配备了每轴约 700 微米的旅行范围。 此外，它还配备了集成的反馈控制，旨在实现长期稳定性和亚纳米精度。 该工具是特殊应用的理想选择，如光学、光纤定位、激光技术、二维扫描运动、自动化和遥导系统。 此外，它具有一种施工原理，可实现高分辨率应用，远远超出机械和机电定位系统的要求。 它很容易安装在所有类型的定位系统。 ...
运行行程: 5 mm - 80 mm
... 导轨台系列迷你孔径ø4.5至32毫米。标准选择的工作台类型，带有紧凑的高刚性直线导轨。广泛的选择允许机械设计的极大自由度。通过液压减震器或缓冲器调节行程，从孔径10 ...
运行行程: 1 mm
... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动，用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性，最小的滚动和倾斜以及动态响应，从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对，用于闭环控制，并采用高分辨率电容式探头，在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程：1050 微米 ± 10% • 闭环行程：1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率：20 ...
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