显微镜检查定位系统

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - 2个X轴，每个轴用于扫描器/显微镜，最大重量为25公斤 - ...

重复精度: 0.01 µm - 2.5 µm
传送速度: 5 mm/s - 35 mm/s

... 可定制： - 是医学、生物技术和半导体技术领域开发和设置高精度 3D 流程的理想之选 - 微米范围内的稳定性带来超精细的细节成像和更高的变焦水平 - 循环时间短，速度高达 35 毫米/秒 - 结果重复性极高，可达 2.5 µm，旋转运动精度可达 0.02° - 采用长期可靠的标准轴，维护成本低，使用寿命超长 这种 9 轴定位系统可以在显微镜或高分辨率相机下从所有可能的角度观察样品，例如注射喷嘴、支架、小型切割工具、插管和其他旋转对称部件。该系统由 KLT310 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
运行行程: 100 mm - 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 带控制器的 XYZ 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.3 微米 - 以 30 mm/s 的相对较高定位速度实现最小步距和最高可靠性 - ± 1 的完美平面度，可定位高达 150 N 的中等载荷 该 XY 组合带有独立的 Z 垂直单元，由 PMT160 的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - 标准系统：PMT160-SM (XYZ) - 行程：200 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.7 µm
运行行程: 200 mm
传送速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 用于高分辨率的 XYZ 显微镜和检测站 可定制： - 样品检测的理想选择 - 重复精度高达 0.3 µm - 将测量偏差降至 3 µm 以下 该 3 轴定位系统专为高精度计量应用而设计，在该应用中，平台在 Z 轴上将待测物体移动到传感器或照相机上。xy 平台由可靠的 KT310 和直流电机组成。 规格 - 行程：200 毫米（XY）/ 200 毫米（Z） - 重复精度： ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) - 定位速度：25 毫米/秒（XY）/15 ...

重复精度: 0.8 µm - 4 µm
载荷: 1 kg
运行行程: 25 mm - 25 mm

... MP63-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 极高的分辨率 - 适用于有限的建筑空间 - 负载能力高达 10 N - 通过细螺纹主轴实现更精细的应用调整 - 使用寿命长，通过仿形导轨轴承实现特别精确的运动 这种微型 X-Y-Z 系统非常适合空间有限的定位应用。与细螺纹主轴相结合，XYZ Stage 可实现极高的分辨率值。同时，这种高精度定位系统还具有极高的性价比。 规格 - 标准组件：MT63-DC - 行程：25 毫米 - 重复精度： ± ...