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真空范围: 0 Pa - 100,000 Pa
... SPG5A-6A 是一款电容膜片真空计，采用蓝宝石电容压力传感器，实现高精度和可靠性、紧凑的尺寸和轻量化。提供自加热和非自加热型号。SPG5A/6A 特别适用于半导体制造业。特点 *-采用单晶蓝宝石， 具有优异的耐腐蚀性和高温性高耐腐蚀性和耐热性的单晶蓝宝石压力感应材料也具有出色的机械性能。电容式测量即使在高温下使用也具有很高的 重复性 *-高精度测量先进的信号处理技术有助于实现出色的温度特性和测量线性度 *-紧凑轻巧体 积小, 重量轻,得益于微加工技术 ...
真空范围: 1 mbar - 1,100 mbar
... CDG045D2 INFICON 边缘电容隔膜仪是一款高精度真空测量仪，专为恶劣的制造环境而设计。 经过验证的温度控制、耐腐蚀的超纯陶瓷传感器多年来提供卓越的跨度稳定性，并配合先进的零稳定性。 Edge 配备了 INFICON 专利的独特传感器屏蔽，可保护仪表免受不需要的工艺副产品的影响。 先进的电子设备为所有应用提供广泛的可配置信号调节功能，并提供可选的 EtherCAT 现场总线接口。 创新的加热概念使触摸表面冷却，节省宝贵的工具空间。 INFICON 边缘是同类产品中最小的真空测量仪器。 ...
Eurovacuum B.V.
真空范围: 0.1 mbar - 1,000 mbar
... CDG100D INFICON SKY CDG100D 压力计是您精确测量和控制总压力的最佳选择。 CDG100D 仪器可在 100 °C 温度下进行温度控制，在要求苛刻的半导体和等离子体工艺中具有卓越的性能。 它们可用于 100 mTorr 至 1000 Torr 的满量程范围，具有所有常见法兰类型和现场总线接口，并提供 0 至 10 V 线性、气体类型无关的压力信号。 INFICON 电容压力计使用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有耐腐蚀性。 陶瓷传感器的优点是更好的信号稳定性，更快地从大气中恢复，更短的热身时间和超凡的使用寿命。 ...
Eurovacuum B.V.
真空范围: 0 mbar - 0.005 mbar
... MAG050 和 MAG060 的无源冷阴极计量头 MAG050 和 MAG060 是专为与真空计量控制器 VGC083C 一起使用而设计的。 它们采用紧凑的金属设计构造，形成了一个简单而坚固的仪表，适用于众多工业应用。 仪表头 MAG050 采用弹性体内部密封件，而 MAG060 仪表头使用金属密封件，允许在超高压范围内进行压力测量。仪表头组件可以轻松拆卸和清洁，从而实现长期使用，最短的停机时间。 安装在阳极上的仪表头点火辅助器可以提高将冷阴极仪表头设置到 2×10-9 ...
Eurovacuum B.V.
真空范围: 0 mbar - 1,000 mbar
... BPG402 ATM 到超高真空仪 INFICON 巴亚尔-阿尔珀特皮拉尼组合仪, BPG402-S, 作为两个仪器在一个紧凑的单元测量从 5×10-10 毫巴到大气 (3.8×10-10 托尔到大气). 结合技术可降低安装、设置和集成的复杂性。 选择 BPG402-S 配有两个氧化 ytrium 涂层铱丝，实现经济实惠且可重复的工艺，在一个经济的封装中进行基础压力测量。 带有板载校准数据的传感元件可确保更换传感器时的高重复性。 优点 极宽的测量范围从 5×10-10 ...
Eurovacuum B.V.
真空范围: 0 mbar - 0.027 mbar
... BAG402 中超高真空计 INFICON 单贝亚尔-阿尔珀特热离子计 BAG402 涵盖广泛的测量范围，从 5×10-10 毫巴到 2.7×10-2 毫巴（3.75×10-10 托尔到 5×10-2 托尔）。 选择 INFICON BAG402，实现经济实惠且可重复的过程，以便在紧凑的主动计量封装中进行基础压力测量。 独特的支撑双丝提供卓越的精度、长期稳定性和使用寿命。 优点 测量范围从 5×10-10 毫巴到 2.7×10-2 毫巴 (3.75×10-10 ...
Eurovacuum B.V.
真空范围: 1 mbar - 1,000 mbar
... CDG160D INFICON SKY CDG160D 高温压力计是您精确测量和控制总压力的最佳选择。 CDG160D 仪器可在 160 °C 温度下进行温度控制，在苛刻的半导体和等离子体工艺中具有卓越的性能。 它们可用于 1 Torr 至 1000 Torr 的满量程范围，具有所有常见法兰类型和现场总线接口，并提供 0 至 10 V 线性、气体类型无关的压力信号。 INFICON 电容压力计使用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有耐腐蚀性。 陶瓷传感器的优点是更好的信号稳定性，更快地从大气中恢复，更短的热身时间和超凡的使用寿命。 ...
Eurovacuum B.V.
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