无菌室微定位系统
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载荷: 10 kg
运行行程: 300 mm
传送速度: 1 m/s
... 带直线电机的 xy 工作台 旋转台 DDR 直接驱动旋转台 XY 行程 300x300 毫米 无限旋转 绝对编码器 线性分辨率 0.1 微米 旋转分辨率 0.25 弧秒 ...
... 快速、精确的微定位器 - HV / UHV / EUV,20 - 50 mm行程,0.2 µm重复性,1 kg负载 - 真空:所有范围HV / UHV / EUV - 润滑液体可达10E-8/干燥可达10E-11毫巴 - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 不同的电机变体。压电马达或纳米运动 - 可选择配备高分辨率测量系统,重复精度可达0.005微米 - 可与旋转台结合用于旋转应用 - 可根据试验室中的安装情况进行单独调整 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... MP53-3-PM - 真空紧凑型多轴系统 高分辨率微定位仪 - HV / UHV / EUV,10毫米行程,0.2微米重复性,0.5公斤负载 - 真空:所有范围HV / UHV / EUV - 润滑液体可达10E-8/干燥可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 可选择配备高分辨率测量系统,重复精度可达0.005微米 - 可与旋转平台组合,用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行单独配置 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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