无菌室定位系统
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... XYZ平台 多轴定位台 线性龙门系统 直角坐标机器人 技术特点 FSL40直线导轨为铝型材,机身宽度为40mm,稳定性高,结构紧凑,功能多样,适用于一般的工作环境,便于使用单轴或多轴组装,功能使用方便,适用于各种行业的机械臂。 应用范围 精确定位、点胶、喷漆、视觉检测、移动、抓取、切割和焊接、自动装配、自动锁螺丝、码垛等。如::PCB板检测,光盘堆放装置,零件取放。 系列:FSL40IS-L 行程范围:50mm-1000mm 位置精度: 0.03mm 最大速度:255mm/s 最大载荷:25kg 滚珠丝杠:G1204/G1605/G1610 用于直角坐标系机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位台、运动控制器。CE, ...
FUYU Technology

重复精度: 0.02 mm - 0.1 mm
载荷: 3 kg - 120 kg
传送速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s
... 线性运动 XYZ 平台龙门机器人多轴定位导轨系统 皮带驱动推杆 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 编程服务 如果需要 OEM 或定制设计,请点击此处 - https://www.fuyumotion.com/industry-solution 富宇科技是一家线性机器人制造商,成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业,已获得 ...
FUYU Technology

... 系列:FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度: 0.03mm 最大速度: 255mm/s 最大负载: 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商,成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业,已获得 ...
FUYU Technology

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm
... 用于高动态应用的XYZ龙门架 可定制的 - 高精度和动态应用的理想选择 - 1300 x 800 mm的超大行程范围 - 高加速度和速度与高精度相结合 这种龙门架可以在1300 x 800毫米的范围内实现高动态运动。Z轴上的定制加工头或传感器在花岗岩上的载体上快速、平稳地移动。异型导轨直接安装在花岗岩上,提供最佳的运行特性,以实现巨大的可重复的亚微米结果。 规格 - 行程:800 x 1300 x 200 mm - 重复性:1 - 0.7 µm - 速度:500 ...
Steinmeyer Holding GmbH

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm
... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围,每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成,可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动,以检查几何形状,进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程:2 x 720 x 720 x 100 mm - 2个X轴,每个轴用于扫描器/显微镜,最大重量为25公斤 - ...
Steinmeyer Holding GmbH

重复精度: 1.9 µm - 4.4 µm
载荷: 50 kg
运行行程: 100 mm - 1,000 mm
... 带真空吸盘的 XXL XYZ 传送门 可定制: - 适用于焦点变化的自动化表面检测 - 设计用于重量达 50 公斤的样品(不包括真空平台) - 被动减震和建筑振动去耦合(标准测量室质量等级 3,符合 VDI 2627 标准) - 超长使用寿命(1,000,000 次全循环和 500,000 次全循环的维护间隔(每两年一次 该定位系统可在 1000 x 1000 mm 的范围内移动真空吸盘。标准系统 PMT160-SM 固定在横向轴上,用于客户定制的传感器,该传感器用于焦距变化。轴是全封闭的,可防止污染和干扰。 规格 - ...
Steinmeyer Holding GmbH

重复精度: 0.25 µm
载荷: 0 kg - 5 kg
运行行程: 21 mm
... 超小型精密六脚架 - SOLANO SOLANO 是一种定位对称六脚架,专门为空间有限环境中的精密应用而设计。它的分辨率高达 0.08 µm,精度达到亚微米级,可确保极其精细的定位,是要求苛刻的设置和校准操作的理想之选。 SOLANO 高度仅 104 毫米,直径为 120 毫米,结构紧凑,可轻松融入受限环境。它的设计使其可以垂直或水平方向使用,提供了极大的集成灵活性。 SOLANO 专为要求苛刻的生产环境而设计,集坚固性和耐用性于一身,能够承受高强度的连续循环而不降低性能。它与工业标准接口和通信协议无缝集成,完全适用于工业流程。 它的高动态性能大大缩短了生产时间,同时保持了卓越的稳定性和运动精度。这使得 ...
SYMETRIE

重复精度: 0.5 µm
载荷: 0 g - 5,000 g
运行行程: 10 mm
... MAUKA 是一种结构紧凑的六脚架,设计用于以亚微米级分辨率定位重达 5 公斤的有效载荷。 MAUKA 六脚架的 X 和 Y 移动范围为 10 毫米,Z 移动范围为 20 毫米,三个旋转角度为 16°。其直径为 107 毫米,中间位置高度为 198 毫米。 为了尽量减小直径,我们采用了六滑轮几何结构,其中电机安装在一条直线上。 MAUKA 六角脚架可以在任何方向上运行:垂直、水平或任何其他角度。它是不可逆的,即使在断电后也是如此。 由于采用了绝对线性编码器,因此每次重新打开控制器时都无需执行归位指令,而是立即知道六脚架的位置,无需进行任何六脚架运动。 ...
SYMETRIE

重复精度: 0.4 µm
载荷: 0 kg - 10 kg
运行行程: 20 mm - 20 mm
... 用于高精度定位的微型六足形 六足形波拉六足形是一个紧凑的 6DOF 并行运动学系统,用于定位和调整分辨率为 0.1 µm 的精密元件。 BOPA 六足码在分辨率、精度、稳定性和尺寸方面符合光学和纳米技术最苛刻的标准。 其尺寸允许集成在小型设备中,例如,用于同步波束线的测角仪的尖端,或用于对齐和校准空间光学的光学地面支持设备。 BORA 六足形可用于任何方向:垂直、水平、倒挂... 选项 ► 高真空兼容性降至 10-6 mbar ► 洁净室兼容性 应用 ► ...
SYMETRIE

重复精度: 1.5 µm
载荷: 80 kg
运行行程: 365 mm
... VULCANO2 是我们的龙门堆叠轴结构,结合了我们著名的铁芯电机、机械轴承和高端光学编码器,可在高动态下提供出色的几何性能。 与我们的堆叠式 CHARON2 系列相比,VULCANO2 主要具有更高的占空比和有效载荷能力。其结构紧凑,在不影响吞吐量和工作周期的情况下最大限度地提高了成本效益。 无论是标准型还是定制型,VULCANO2 都能确保稳定的可重复性和精度,即使在长时间运行时也是如此。该平台非常适合精度要求较高的应用,例如大型平板上的覆层计量和倒装芯片工艺。 特点 高达 ...
ETEL S.A.

重复精度: 1 µm
载荷: 30 kg
运行行程: 365, 355, 475, 410 mm
CHARON2HD平台是CHARON2产品线的高动态性能版。这款产品采用特有的电子系统设计,支持大量不同的组合,从简单的XY工作台到完整的运动系统,可含多达7轴。CHARON2HD兼容全部当前和未来模块及选装件,应用广泛,用例丰富。 CHARON2HD产品线中产品都配更大铁芯电机,动力澎湃,可达更高动态性能。加速度提高一倍,达到20 m/s2,同时,最高速度达到2 m/s。安装接口保持不变,可与CHARON2堆叠平台直接互换,进行升级。 在全工况下此产品线已成功连续工作数十年且装机量庞大,CHARON2HD是高灵活性和高动态性能全套运动解决方案的基础,并创下高性价比的记录。 定位精度高达±1 ...
ETEL S.A.

重复精度: 0.25, 1, 0.3, 2 µm
载荷: 1 kg
运行行程: 12, 4 mm
ZT箱是一个一体化的二维模块,有Z轴和西塔轴。Z轴方向支持两种运动,即粗大位移和精细位移运动。该模块可单独使用,也可安装在XY平台顶部。该模块特别适用于圆晶生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等。 特点 - 无限位转动 - 内置圆晶夹盘级的真空功能 - 内置重心补偿器 - 提供真空功能,兼容ISO1超净车间 - 圆晶装件/卸件应用的12 mm行程Z轴粗大位移以及调焦应用的4 mm行程的精细Z轴位移 - 可提供无Z轴粗大位移版 - 极高质量的Z轴抖动及运动和稳定性能
ETEL S.A.

重复精度: 5 µm
载荷: 30 kg
运行行程: 300 mm
... 开放式 XY 平台外形小巧,适用于显微镜应用中的各种自动精确定位。驱动机构位于装置的侧面,提供了一个清晰的双轴孔径,使光线或物体能够通过移动中心。 开放式框架 300x300 mm XY 平台的整个行程上都保持无缝孔径 型号 - 单位 - XY-OF-S300x300 XY-OF-S300x300-A300x300J XY 行程 - mm - 300x300 螺距 - 4 mm 孔径 - mm - 300x300 在整个行程范围内畅通无阻 台面 - mm - ...

重复精度: 1 µm
载荷: 30 kg
运行行程: 300 mm
... 开放式 XY 平台外形小巧,适用于显微镜应用中的各种自动精确定位。驱动机构位于装置的侧面,提供了一个畅通无阻的双轴孔径,使光线或物体能够通过移动中心。 行程 300x300 毫米至 600x600 毫米 ...

重复精度: 3.3, 2.3 µm
运行行程: 200, 305 mm
传送速度: 20 mm/s
... 该检测系统由花岗岩结构上的 XY-Stage KT470 和手动 Z 垂直装置组成。这种组合适用于洁净室生产系统/联机流程的灵活模块化设计,并可选择使用旋转或电动 Z 轴进行扩展。 适用于最大 12 英寸(300 毫米)晶圆的灵活检测工艺 可更换工艺头(显微镜、传感器......)的支架 多种扫描范围和手动高度调节(可选择使用运动控制器进行电动调节) 维护成本低,可全天候生产,洁净室等级可达 ISO 6(可根据要求提供更高的等级) 选项 可扩展的移动范围 XY ...

重复精度: 0.3, 0.5 mm
运行行程: 100, 820 mm
传送速度: 150, 750 mm/s
... 该检测系统由四个洁净室轴组成,可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动,以检查几何形状,进行测量并记录特殊的质量特征。 自动化和低维护的24/7检查 - 是自动检测晶圆、探针卡和印刷电路板的理想选择 - 通过高达720毫米的行程同时检测多个物体 - 是同时整合两个过程的理想选择 - 由于花岗岩结构上的快速系统交换,24/7的低维护率和灵活的维护概念 可选择扩展。 - 用于洁净室ISO 14644-1的版本(根据要求可达到1级)。 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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