涡轮分子真空泵

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涡轮分子真空泵 | 选择真空泵的专业参考
真空泵主要有五种类型: 旋片真空泵 隔膜真空泵 液环真空泵 涡旋真空泵 涡轮分子真空泵 螺杆真空泵 对真空泵的选择取决于所需的真空类型,还取决于所需技术的价格和耐用性。
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涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
iXL

真空范围: 0.01 mbar
流量: 110 m³/h

系列低能耗紧凑型干式泵适用于轻型应用,例如晶片处理、PVD 和计量等。 快速腔体抽空和低功耗 iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵是轻型应用中非常小、非常安静的泵 iXL600M 和 iXL1000M 两种型号经过工艺加固,专门设计用于电介质(氧化)蚀刻和其他类似应用 iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵具有高抽取速度和低能耗的特点 iXL900R 适用于真空锁室抽空应用,速度优于同类产品。这款新型的泵特别适用于等离子蒸汽沉积 ...

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EDWARDS/爱德华
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
nEXT series

真空范围: 10, 9.5, 18 mbar
流量: 240, 300, 85, 400 l/s
输出功率: 160 W - 750 W

基于我们数十年的经验打造而成 涡轮分子泵是一种多级轴流式涡轮机,其中的高速旋转叶片通过增加气体沿泵送方向移动的可能性来实现压缩。涡轮分子泵针对分子流量条件进行了优化,需要一个大小合适的前级泵排气到大气中。 nEXT 系列结合了涡轮分子泵的所有新近技术进展,泵的规格多种多样,拥有 55、85、240、300、400、730、925 和 1250 l/s 的氮气泵送速度。 这些泵可由终端用户来维护,并为用户提供真正先进的产品。 为什么要选择 nEXT? ...

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EDWARDS/爱德华
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
EM series

真空范围: 0.03, 0.01 mbar
流量: 20.4, 17 m³/h
输出功率: 90 W - 8,500 W

小型 EM 油封式旋轉葉片泵浦以達到高度極限真空與快速抽氣速度而聞名,運作安靜且具備蒸汽處理能力。這些泵浦已成為多種科學、實驗室和輕工業應用領域中的業界標準,更是預抽渦輪分子泵浦的理想選擇。 這些油封泵浦是獨立式裝置,經業界認可具有長期可靠的效能和輕巧設計。安裝與操作簡易,無需客戶配線,且 E2M0.7、1.5 和 2.5 備用側搭配入口連接埠,可在需要時將整體高度降至最低。多數單相版本都配備整合式 IEC 連接器,針對較大的泵浦還配備一個開關,可用於本機控制,並輕鬆連接至主電源。 特性和優點簡介 安靜運轉:造就更好的工作環境。 使用彈性:獨立式裝置與輕巧設計。 可靠效能:多年下來在各種實驗室和工業應用中實證。 氣鎮閥:泵送蒸汽時使用。 內建防護系統:馬達採封閉式設計,並由馬達冷卻風扇進行冷卻,沿著馬達鰭片導引空氣。熱過載裝置提供過熱保護,該裝置裝設於馬達內,會在過熱時將泵浦關閉,並在馬達冷卻後自動重設並重新啟動泵浦,不需要手動介入。 易於維護:使用 ...

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EDWARDS/爱德华
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace® 80 Neo

流量: 67 l/s
声级: 48 dB
重量: 1.7, 3.1 kg

具有 67 l/s 对于 N2 抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵 产品描述 - 集成的驱动电子装置,防护类型 IP54 适合于工业用途 - 准 S2 和 UL/CSA 认证 - 适合所有标准应用 - 紧凑结构形成的最低空间要求 - 对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace® 10 series

流量: 10 l/s

具有 10 l/s 对于 N2 抽吸能力的小型坚固涡轮泵 产品描述 • - 最小结构形成的最低空间要求 • - 特别抗振,适合移动式应用 • - 集成的驱动电子装置,防护类型 IP54 适合于工业用途 • - 准 S2 和 UL/CSA 认证 • - 运行数据监控形成的最高运行安全性 HiPace® 10 • - 最小结构形成的最低空间要求 • - 特别抗振,适合移动式应用 • - 集成的驱动电子装置,防护类型 IP54 适合于工业用途 • ...

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace 30

流量: 32 l/s

具有对于 N2 最高 32 l/s 抽吸能力的小型、高性能涡轮泵 产品描述 • - 结构极其紧凑,对空间要求极低 • - 集成的驱动电子装置,防护类型 IP54 适合于工业用途 • - 运行数据监控形成的最高运行安全性 HiPace® 30 • - 集成的驱动电子装置,防护类型 IP54 适合于工业用途

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace® 60 P series

流量: 64 l/s

具有最高 64 l/s 对于 N2 抽吸能力的小型、高性能、无 Holweck 级别的涡轮分子泵 产品描述 • - 最小结构形成的最低空间要求 • - 集成的驱动电子装置,防护类型 IP54 适合于工业用途 HiPace® 60 P • - 集成的驱动电子装置,防护类型 IP 54 适合于工业用途

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace® 80 series

流量: 71 l/s

具有 67 l/s 对于 N2 抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵 产品描述 • - 紧凑结构形成的最低空间要求 • - 对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩 • - 集成的驱动电子装置,防护类型 IP54 适合于工业用途 • - 准 S2 和 UL/CSA 认证 • - 适合所有标准应用 涡轮分子泵入门套件 • - 易于安装、快速应用和运行 • - 最佳匹配的组件,真正的“即插即用”

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace® 300 series

流量: 260 l/s

具有 260 l/s 对于 N2 抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵 产品描述 • - 紧凑结构的最高可靠性 • - 运行数据监控形成的最高运行安全性 • - 配有不同驱动电子系统 • - 防护类型 IP54 适合于工业用途 • - 准 S2 和 UL/CSA 认证 涡轮分子泵入门套件 • - 易于安装、快速应用和运行 • - 最佳匹配的组件,真正的“即插即用”

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涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace® 700 series

流量: 0 l/s - 685 l/s

具有 685 l/s 对于 N2 抽吸能力的紧凑结构的最高真空功率 产品描述 • - 最少空间需求和最高可靠性 • - 高气通量和高抽吸能力 • - 防护类型 IP54 适合于工业用途 • - 准 S2 和 UL/CSA 认证 • - 运行数据监控形成的最高运行安全性 涡轮分子泵入门套件 • - 易于安装、快速应用和运行 • - 最佳匹配的组件,真正的“即插即用”

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace® 800 series

流量: 0 l/s - 790 l/s

具有 790 l/s 对于 N2 抽吸能力的紧凑结构的最高真空功率 产品描述 • - 适用于轻气体和重气体的高抽吸能力 • - 高工艺适用性,防止进入颗粒 • - 对于重气体同样拥有高气体通过量 • - 准 S2 和 UL/CSA 认证 • - 运行数据监控形成的最高运行安全性 标准 • - 对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩 • - 适合所有标准应用

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace® 1200 series

流量: 0 l/s - 1,300 l/s

具有最高 1.300 l/s 抽吸能力的高性能涡轮泵 产品描述 • - 适用于轻气体和重气体的高抽吸能力 • - 高工艺适用性,防止进入颗粒 • - 对于重气体同样拥有高气体通过量 • - 准 S2 和 UL/CSA 认证 • - 运行数据监控形成的最高运行安全性 标准 • - 高工艺适用性,防止进入颗粒

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
HiPace 1500 series

流量: 0 l/s - 1,450 l/s

具有最高 1450 l/s 抽吸能力的高性能涡轮泵 产品描述 • - 适用于轻气体和重气体的高抽吸能力 • - 高工艺适用性,防止进入颗粒 • - 对于重气体同样拥有高气体通过量 • - 准 S2 和 UL/CSA 认证 • - 运行数据监控形成的最高运行安全性 标准 • - 高工艺适用性,防止进入颗粒

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Pfeiffer Vacuum GmbH/普发
隔膜真空泵
隔膜真空泵
DIVAC 0.8 LT

分子泵的前级泵 DIVAC T 系列膜片泵作为前级泵,可用于需要低压强及无油真空的环境。DIVAC T泵特别适合作为复合分子泵的前级泵

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Leybold/欧瑞康
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
TURBOVAC 450 i/iX

流量: 400 l/s - 440 l/s

TURBOVAC i / iX系列半磁浮分子泵 TURBOVAC i(T)系列分子泵在其工作范围内对各类气体都具有最的高性能表现和最大的抽速。

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Leybold/欧瑞康
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
TURBOVAC SL 80

TURBOVAC系列机械分子泵 TURBOVAC系列机械分子泵适用于压强范围10-1 mbar - 10-10 mbar的各类应用。

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Leybold/欧瑞康
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
TURBOVAC MAG W 400 iP

流量: 365 l/s

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列 集成磁悬浮分子泵 集成磁悬浮分子泵 MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵可靠性高,抽速大,适合大气载应用。

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Leybold/欧瑞康
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
TURBOVAC MAG W 300 P

流量: 300 l/s

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列 集成磁悬浮分子泵 集成磁悬浮分子泵 MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵可靠性高,抽速大,适合大气载应用。

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Leybold/欧瑞康
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
EVT series

真空范围: 0.1 mbar
流量: 25 l/s - 3,600 l/s

... EVT 系 列 EVT 系列是市场上最可靠的高真空泵。 E@@ urovacuum EVT 系列涡轮增压分子真空泵具有磨砂性,可达到良好的极限真空,操作简单。 它们有一些不同的设计,例如:集成控制或外部控制单元,陶瓷轴承带油或润滑脂润滑以及经典涡轮或带拖动级。 它们可以选择带有 ISO-K 或 CF 入口法兰。 工作原 理 EVT 系列涡轮泵采用多个级别,每个级别均由一个快速旋转的转子叶片和一对固定定子叶片组成。 该系统的工作原理就像一个涡轮机,将能量输入气体,而不是将其取出。 ...

涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
YTP

... TURBO 分子泵浦系统 Desktop YTP 台式高真空泵站采用低噪音、低振动设计,陶瓷球轴承涡轮分子泵浦。简单易读的触摸屏控制,便于操作。 降低运行期间的运行噪音和振动。 在@@ 极限压力下,43 分贝 (A) 或更低。 (采用 ICF 法兰型 ULVAC 标准测量) ・ 易于阅读的触摸屏显示屏操作简便 ・压力指示可 轻松集成多达 2 个真空计 特殊功能/其他应用 ・各种实验和 研发设备的 疏散系统 大气压至 高真空 ・一般用于高真空排气系统 ...

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ULVAC GmbH
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
UTM-FH, FW series

... 从350L/s到世界上最大的6300L/s (数字磁控轴承型)的丰富变化。 可保持稳定的泵送性能,防止 背压变化(FH 系列)。 可选内部加热系统,可控制转子温度 ,减少侧反应副产物(FW 系列)的附着力。 优异的防腐表面处理(不含三氟三氟三氟三氟三氟三 氟四氟三氟四氟三 根据 需要,可选择特殊表面处理(例如:镀镍 + 阳离子电沉积、特殊沉积膜、铝阳极氧化处理)。 可安装在所有方向。 变速系统使 抽水速度从 25% 到 100% 变为可能。 由于使用无耦合系统和 无调谐系统,因此不限制任何电源和泵主单元的组合,以改变电缆长度。 ...

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ULVAC GmbH
涡轮分子真空泵
涡轮分子真空泵
UTM series

真空范围: 0.13 mbar
流量: 0.5 l/min

... 涡轮分子泵 UTM 系列 UTM 系列是一款全刀片型涡轮分子泵,具有轴轴轴承(下侧)和磁轴承(上侧)。 采用枢轴轴承可减少高速旋转时的机械接触。 此外,实现了低振动和高压缩比。采用磁性轴承作为上部, 采用枢轴轴承作为下部, 消除了高速旋转时的机械接触。 因此,轴承更换和换油变得 不必要,延长轴承的使用寿命。 精细的动态平衡转子和 高效的轴承通过原始叶片的设计,实现了 H2、Hi 等低分子量气体的高速转速和进气性能(高压缩比)。 采用枢轴轴承和氟化物油(饱和蒸汽压力稳定且低的油), 实现无无限油接近零的环境。 ...

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