太阳能镀膜机

TOPCon电池隧穿氧化层、i-poly、D-poly低压化学气相沉积。 • 低压与热壁工艺特性，成膜均匀性、致密性好。 • LPCVD工艺特性，基片密排对成膜速率影响小，单管装片量大。 • 更多温区设置，可靠保证片间均匀性。 • 独立调节分段进气，弥补气流耗尽效应。

主要用于晶体硅太阳能电池制造中电池片的减反射膜生长，也可用于在电池片的背面沉积钝化膜。 石墨舟及硅片准备→管内充氮气→进舟→抽真空、压力测试→氨气预清理和检查→管路抽真空、测漏、恒温→预镀膜→镀膜→抽真空、压力测试→清管路、充氮气→退舟 1、兼容氮氧化硅PERC技术。 2、双水冷密封技术。 3、专利内加热技术。 4、高速平稳整体模组推舟机构。 5、悬浮承载舟技术。 6、自主知识产权MES软件。 7、自主开发中央计算机集中控制系统。 8、快速镀膜技术。 9、全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警保护功能。

采用热单原子层沉积(Thermal ALD)方式在晶质太阳电池晶圆正面蒸镀 Al2O3薄膜，形成保护层(Passivation Layer)，从而进一步改善效率的设备 规格 高通量：12,800片/小时 (1,600片/舟) 周期：30分 运行时间：97%

稳定可靠的点喷式助焊剂喷涂系统 彼勒豪斯点喷式助焊剂喷头可以在任何角度向上或向下喷射液体。 其专利设计的助焊剂喷头，响应快、喷涂精度高，且保养也十分方便。助焊剂头配有一个手动控制单元允许操作者对其编程。 喷射的持续时间和间隔时间都可以在程序中编辑，以毫秒为单位。控制器可以由24V或RS232接口触发。 PillarDOT系统也可以作为带轨道传输的X/Y轴单元的一部分被提供。 广泛的应用在太阳能电池、医疗和电子应用行业。 • 助焊剂瓶和低压力调节器装配面板（如果客户没有自己的流量控制/供应系统） • ...

... Infinity IBD系统可以提供密集的、低缺陷的薄膜，具有极高的精度和均匀性。它提供了对离子能量的独立控制，因此你可以实现精确的薄膜规格，并使剥落的污染非常低。 偏置靶材溅射模块对薄膜界面有很好的控制，提供对离子电流和能量的独立控制，并在低压下操作。这消除了光束溢出的污染和散射，防止了表面损伤，实现了严格的应力控制，并创造了致密、无缺陷的薄膜。 BTS模块提高了拥有成本，增加了靶材使用率，使您可以减少整个靶材的尺寸。系统的设计使得在大型基片上实现优异的均匀性成为可能，而无需旋转。与其他IBD平台相比，该模块提供脉冲溅射和更高的沉积率。 所有这些独特的功能和优势都有Denton对长期合作和服务的承诺作为支持。通过我们的专家，您将得到一个高度可靠的配置，以满足您的需求和规格，提供高的系统正常运行时间和易于维护。 氧化钒微测辐射计 精密光学器件（激光器、红外探测器） VCSEL抗反射涂层 高效率太阳能电池 用于磁记录的自旋阀 焦平面阵列 热成像 激光棒面层 ...