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运行行程: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA92 高速 UHV 线性轴 应用：高分辨率和快速扫描应用 优点在 UHV 中快速定位，也可垂直定位 特点高分辨率、超薄、内置电机 - 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 可与 XYZ 传送系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... LT300 高负载精密线性平台 应用：运输平台、高负载扫描平台 优点：干式润滑，使用寿命长 特点：带干润滑油的导螺杆或带液体压电制动器的滚珠螺杆，具有 nm 级稳定性 - 真空：所有范围的 HV / UHV / EUV，最高可达 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 毫巴 - 最高烘烤温度120°C 可选项 - 可提供压电断路 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据腔体内的安装情况进行个性化调整 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 5 µm
... LA97 纳米线性平台 应用：扫描 优点：纳米定位，也可垂直定位 特点： 定位分辨率极高，刚性最强，可配备 2 个（或 4 个）电机 - 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：低至 10E-8 的液体润滑 / 低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 选购件 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 50 mm
速度: 100 m/s
重复精度: 0.2 µm
... 六轴六脚架三脚架结构装置 E-HEX-10.6.100.100-XXX 系列平行六自由度平台 简要说明： 特点高精度、可组装、可定制、光圈 460mm 结构紧凑、坚固耐用，可提供稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力，是需要复杂多自由度运动而可用空间有限的应用的理想之选。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。 ...
运行行程: 26 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1740 的尺寸为 40 x 17 x 8.5 mm，行程范围为 26 mm，法向力为 30 N。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是配备 S 位置传感器的 SLC-1740 用于大气或高压环境的尺寸和规格。如需了解其他变体的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、阻尼力更大的平台或其他传感器选件，请联系我们的销售团队。 机械结构 阻挡力 [N] - ≥ 3.5 最大阻挡力 [N] - ≥ 3.5法向力 [N] - 30 最大提升力 [N] ...
SmarAct GmbH
运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1750 的行程范围为 31 毫米，法向力为 30 牛，尺寸为 50 x 17 x 8.5 毫米。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是 SLC-1750 的尺寸和规格，适用于大气或高压环境，配备 S 位置传感器。如需了解其他型号的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、阻尼力更大的平台或其他传感器选件，请联系我们的销售团队。 机械 扫描范围 [µm] - > 1.3 阻挡力 [N] - ≥ 3.5 最大法向力 [N] - 30 最大提升力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 41 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1760 的尺寸为 60 x 17 x 8.5 mm，行程范围为 41 mm，法向力为 30 N。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是配备 S 位置传感器的 SLC-1760 在大气或高压环境下的尺寸和规格。如需了解其他变体的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、阻尼力更大的平台或其他传感器选件，请联系我们的销售团队。 机械性能 扫描范围 [µm] - > 1.3 阻挡力 [N]≥ 3.5 最大阻挡力法向力 [N]30 最大提升力提升力 [N]> ...
SmarAct GmbH
运行行程: 25 mm - 200 mm
速度: 0 m/s - 0.1 m/s
Zaber Technologies - Vancouver, BC
运行行程: 20 mm - 40 mm
速度: max 0.048 m/s
Zaber Technologies - Vancouver, BC
运行行程: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 有磁性、低磁性和无磁性版本 - 有多达2个不同的电机用于高负荷的运动 - 不同的电机变体。纳米运动、压电电机或线性电机 - 可与XYZ定位系统结合使用 - 可与旋转台（如DT105）结合用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 13, 26 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 100, 200 nm
... - 宽度只有45毫米 - 驱动力7 N - 具有纳米级位置分辨率的增量式传感器 - XY组合 压电式惯性驱动是一种节省空间、经济实惠的基于压电的驱动装置，具有相对高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动的原理是基于一个单一的压电致动器，该致动器由特殊的驱动电子装置提供的修正锯齿电压控制。执行器缓慢地膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随推杆的后续快速收缩而保持在其位置。由于工作频率高达20 kHz，驱动装置直接作用于转轮，实现了最大的速度。6毫米/秒。 应用范围 微组装。光子学。光学对准。显微镜。光束线仪器。半导体技术。测试. 直接测量原理 线性平台配备了一个非接触式测量光学线性编码器和一个参考开关。分辨率为1纳米。 ...
Physik Instrumente/德国PI
运行行程: 10, 13 mm
... XYZ 压电级 压电电机驱动 旅行 13 x 13 x 10 毫米 超高压兼容 ...
PM B.V.
... XRT-U 30 是一款由超声波压电马达驱动的紧凑型精密旋转级。 使用 XRT-U 30，您可以实现与空气轴承旋转级相媲美的误差运动，但体积更小，价格更低。 与其他压电马达技术相比，超声波压电马达可确保您更长的使用寿命、无噪声操作和更低的能耗。 这使得 XRT-U 成为最先进的旋转平台，适用于微型 CT 扫描仪、计量应用以及电子显微镜等真空和非磁性应用。 ...
Xeryon
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