适用真空线性电机

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直流线性电机
直流线性电机
UMV G2 series

传送速度: 7 m/s - 18.5 m/s
力度: 100, 200, 400, 401 N

高定位精度和重复定位精度,UMV系列线圈是真空直线电机系列中最小号的线圈。由于长度短,特别适用于低负载和狭小空间。这个系列非常适合位置控制,例如龙门运动控制,或高动态、轻量化且需要极高精度的应用。

直流线性电机
直流线性电机
ULV G2 series

传送速度: 5 m/s - 13.6 m/s
力度: 719, 720 N

高加速度和高动态性能。 真空ULV – G2系列是高端真空级直线电机系列中的中型号系列。它们通常用于对峰值推力有要求或低热量输出的应用。例如在光刻和检测方案中,在更长的行程中,ULV – G2线圈可以连接组合以节省磁铁材料,但仍能达到高性能。

直流线性电机
直流线性电机
UXXV G2 series

传送速度: 2.8 m/s - 7.7 m/s
力度: 1,340, 2,010, 2,012, 4,020 N

高效、高电机常数。 UXXV – G2电机是真空级直线电机系列中最强大,最高效的电机。UXXV 系列非常适合需要超高精度和最大推力输出的重载应用。如在平板显示生产中,其效率和高电机常数使得产生高推力的时候发热很低。

无铁芯线性电机
无铁芯线性电机
ILV91 Series

传送速度: 5, 12 m/s
力度: 25, 120 N

... 提升精度:引领高科技领域的真空解决方案 随着高科技应用的发展,人们越来越需要真空解决方案来防止化学反应和污染。包括运动控制、检测、切割、光刻等在内的真空应用都面临着移动的挑战。 ITG 真空无铁芯直线电机的动圈和定子导轨经过专门设计,可用于低至 10-8 毫巴的高真空环境。 - 耐用性 - 可靠性 - 多功能性 - 除气 ...

无铁芯线性电机
无铁芯线性电机
ILV109 Series

传送速度: 2.7 m/s
力度: 40.5, 81 N

... 提升精度:引领高科技领域的真空解决方案 随着高科技应用的发展,人们越来越需要真空解决方案来防止化学反应和污染。包括运动控制、检测、切割、光刻等在内的真空应用都面临着移动的挑战。 ITG 真空无铁芯直线电机的动圈和定子导轨经过专门设计,可用于低至 10-8 毫巴的高真空环境。 - 耐用性 - 可靠性 - 多功能性 - 除气 ...

无铁芯线性电机
无铁芯线性电机
ILV59 Series

... 提升精度:引领高科技领域的真空解决方案 随着高科技应用的发展,人们越来越需要真空解决方案来防止化学反应和污染。包括运动控制、检测、切割、光刻等在内的真空应用都面临着移动的挑战。 ITG 真空无铁芯直线电机的动圈和定子导轨经过专门设计,可用于低至 10-8 毫巴的高真空环境。 特点 - 耐用性 - 可靠性 - 多功能性 - 除气 ...

三相线性电机
三相线性电机
Gryphon series

传送速度: 1.2 m/s - 2.3 m/s
力度: 161 N - 414 N

无铁芯电机,适用于需长行程运动和真空条件,高峰值推力,无力波纹和吸引力。 Gryphon线提供了一种具有成本效益的解决方案,真空条件适用的无铁芯线性马达。除了具有标准无铁芯电机(Phoenix系列)的所有功能外,Gryphon系列还采用了扁线技术,最大限度地提高了从线圈到外壳的热量传递。此外,磁轭末端采用半极磁铁和可选的屏蔽板,以最大限度地减少泄漏场。因此,这些电机特别适合在如电子束的应用中使用。 真空兼容 低热阻 磁屏蔽 ...

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