适用真空纳米定位平台
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运行行程: 51 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 80, 160, 1,000 nm
... SOM-8080是SmarAct最紧凑的显微镜平台,在X和Y轴上提供51毫米的移动范围。平台的尺寸是长和宽138 mm,高23 mm。像所有的SmarAct显微镜平台一样,SOM-8080是基于SmarAct的高精度SLC系列线性平台,因此具有最高的重复性和纳米分辨率。 显微镜平台的底板是与面包板兼容的。用于标准插入物的适配器确保了与常见制造商的兼容性。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 行程[mm] - 51 (X); 51 (Y) 阻塞力[N] ...
SmarAct GmbH
运行行程: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 240, 120, 1,000 nm
... SOM-12090长226毫米,宽176毫米,高30毫米,是SmarAct的第二大显微镜平台。该平台在X轴上的移动范围为83毫米,Y轴上为63毫米。它基于SmarAct的紧凑型SLC线性平台,具有纳米级的精度和最高的闭环可重复性。 与面包板兼容的底板和标准插入物的适配器确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 15 尺寸[mm] - 226 x 176 x 30 重量[g] - ...
SmarAct GmbH
运行行程: 103, 123 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 1,000, 360, 180 nm
... SOM-180150在X轴上有123毫米,Y轴上有103毫米,在所有SmarAct显微镜平台中提供最大的行程范围。基于紧凑的SLC线性平台,SOM-180150提供了纳米级的精度和最高的闭环重复精度。该平台的长度为286毫米,宽度为216毫米,高度为30毫米。该平台的重量为2500克。 通过标准插件的适配器和兼容面包板的底板,确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻塞力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 10 尺寸[mm] ...
SmarAct GmbH
运行行程: 51, 19 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 160, 1,000, 80 nm
... SOM-808030是SmarAct的显微镜平台中唯一提供垂直移动方向的。X和Y轴的移动范围为51毫米,Z轴为16毫米。该平台的尺寸为长和宽138毫米,高56毫米。由于SOM-808030是基于SmarAct的SLC系列线性平台,它提供最高的闭环重复性和纳米分辨率。 通过标准插入物的适配器,确保了与普通制造商的兼容性。显微镜平台的底板是与面包板兼容的。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 3.5/ ≥ 5.5 尺寸[mm] - 138x ...
SmarAct GmbH
运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm
... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV,100 - 300 mm行程,0.02 µm重复性,最高10 kg负载 - 真空:所有区域HV/UHV,最高10E-11 mbar - 润滑:液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s
... - 真空:所有范围的HV / UHV / EUV,最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径:80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台(如DT155)结合,用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1(根据要求达到1级)。 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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