湿式工作台

湿法处理系统“Evolution”是全自动化线性半导体湿法工作台。模块化结构非常灵活，可根据工艺序列轻松配置。 Evolution 的主要特点在于，实现高产量的同时保持低运行成本。全自动设计具有多个同步批次批量处理的干进与干出处理。 “Evolution”控制的优势在于 IDX Flexware 软件，成为业界先进的湿法处理系统之一。 独特的先进特征与能力，包括通过 RENA“计划表”、FlexView（可选）进行批次排程。 在专用工艺槽进行多步骤处理（例如超声波和兆声波槽、级联或快排冲洗槽）、化学品计量和监控（可选）、专为产品打造的多重 ...

湿法处理系统“Revolution”是高度灵活的多步骤湿法工作台。可根据任意半自动应用轻松配置。“Revolution”平台可在其中央旋转机器人四周提供多达 5 个工艺槽。 对于您的应用来说，这是需要多步骤序列之工艺的低成本理想解决方案。IDX Flexware 软件中有众多有助于工艺控制及监控的功能。借助耐用的集成式旋转机器人系统，RENA 专用工艺槽配置打造出强大的多功能平台。 RENA 设备始终关注如何减少占用空间，当然前提是一切都还需便于维护。“Revolution”亦为干进和干出处理提供 ...

"Advancer”平台的湿法处理系统经过实践考验，是耐用的一站式解决方案。配置轻松，一种工艺与一个冲洗槽以及侧壁线性机器人应用。所有半导体工艺均可集成，走在时代前沿。Advancer 占地空间小，十分便于维护。IDX Flexware 软件中有众多有助于工艺控制及监控的功能。所有 RENA 系统皆可用，符合工厂设备的 SECS/GEM 界面。 提供三款“Advancer”系统：Gemini、Classic 和 Micro。 特点与优势 干对干能力 ...

... 柠檬酸/硝酸钝化不锈钢和钛酸 湿工作台我们的钝化工作台系统用于对不锈钢、钛和其他金属材料部件的柠檬酸/硝酸钝化。 典型建筑材料包括聚丙烯、不锈钢、PVDF、PVC-C 等，具体取决于应用所需的化学处理性能。 这种集成的金属钝化湿台具有罐内交叉流排气，允许清洁、冲洗、钝化和最终冲洗在一个开放的顶部湿台上。 上述封闭式钝化湿台可用于清洗后处理、电抛光、冲洗、硝酸中和硝钝化以及最终冲洗。 带级联溢流冲洗站和侧流和顶部排气的硝 钝化常见应用湿台架 工业、航空航天和医疗设备不锈钢钝化每 ...

... 湿式长 凳 Vegatec 生产湿式长凳系统，主要用于微电子、纳米电子、光伏和航空航天工业及其实验室。 ...