射频等离子发生器

... 风冷式射频发生器 Tru...sma RF 1001 Air 可提供高达 1000 瓦的高精度、可重复的射频能量，分辨率极高（增量为 100 mW），因此适用于各种等离子应用。无论是制造半导体、太阳能电池还是显示器，TRUMPF Hüttinger 的专利技术都能通过现代化的工艺功能确保最高的可靠性和最佳的工艺效果。 智能自动频率调整 保证最佳和快速的频率调整，从而实现发生器和火柴盒之间的最佳互动。 高精度电弧管理 高要求和新工艺的安全运行可确保您的产品得到保护。 多级脉冲 对脉冲形状进行多级灵活控制，以改善现代等离子工艺的加工效果。 即插即用 可灵活使用和更换发生器，以应对工艺变更或改造。 稳定的等离子工艺 已获专利的 ...

... 表面涂层或结构化的决定性因素是稳定且可重复的等离子电流供应。Tru...sma 射频系列 1000 / 3000 (G2/13) 的射频发生器采用最先进的功率电子装置，为此提供了最佳条件。稳定的输出功率和高控制精度保证了在保持高生产率的同时获得最佳效果。 高精确度和可重复性 CombineLine 技术：真正的 50 欧姆输出阻抗带来最佳工艺功率。 不受射频电缆长度的影响 不再需要调整电缆长度，这在射频领域绝对是一项创新。 坚固、安全 CombineLine ...

... Tru...sma VHF 3000 系列发电机基于创新的平台概念，可实现最高水平的功率密度，满足最苛刻的工艺要求。模块化和纯水冷式结构使输出功率最高可达 80 千瓦。这些结构紧凑的甚高频发生器还具有极高的成本效益和坚固耐用的设计。 精确快速的任意脉冲形状 这种设计为目前的单级和多级脉冲提供了最佳的等离子过程控制。 最短斜坡时间 < 150 ns 这意味着可以极其灵活地控制发生器的点火行为。 智能自动频率调整 自动频率调整可实现电源箱与火柴盒之间的最佳互动。 可靠而精密的过程控制 高度精确的数字频率调制带来卓越、可重复的过程结果。 不受电缆长度的影响 改变工艺时无需调整射频电缆的长度，从而缩短了设置时间。 坚固的设计 采用 ...

... 有了这些射频发生器，Tru...sma RF 3000 系列因其坚固的设计和高效率而脱颖而出，您大可放心。这意味着它最适合用于稳定的可重现等离子工艺，如半导体、光伏电池或平板显示器生产过程中使用的等离子工艺。这些发生器已在世界各地安装了数千台，可确保高水平的生产率和出色的工艺效果。 效率和成本效益 效率高达 80%，使能源成本最多可降低 50%。 出色的射频弧管理 即使是要求苛刻的新工艺也能安全运行。 极其坚固耐用，工艺稳定性高 CombineLine 技术：在不匹配的情况下提供可靠的反射功率保护。 最大灵活性 连续或脉冲功率输出适用于各种应用。 ...

... 新型 Tru...sma Match Series 1000 (G2/13) 配电箱是通快胡廷格射频发生器的理想补充。其智能匹配算法和用于过程监控的数字控制平台提供了一个全面的解决方案，其中所有组件都能以最佳方式协同工作，这就是通快射频系统。 智能匹配算法 快速、稳定、可重复的阻抗匹配至 50 欧姆，即使在关键工艺中也是如此。 整个系统的最佳互动 渐进式软件和改进的信号发生器与匹配盒之间的通信。 实时测量射频功率 对火柴盒和负载阻抗的每一次变化进行快速系统跟踪。 闭环控制 过程参数的最佳监控以及早期电弧检测。 用户友好的过程监控 图形用户界面和有效工具（史密斯图、实时示波器）。 ...

... 随着半导体行业加速走向新的拐点，eVerest™ 射频发生器满足了变革性等离子体控制的需求。其可配置的多级脉冲可实现瞬时或用户定义的过渡定时。此外，基于模型的高速、高精度频率调整和宽频率扫描范围可提供更高的过程稳定性和控制能力。这些功能以及更快的设定点响应、脉动状态开始时的受控过冲和先进的 PowerInsight by Advanced Energy™ 物联网智能，为下一个技术节点的工艺创新提供了动力。 - 全射频传输系统、多种匹配解决方案选项和智能同步 - 在可编程多级脉冲曲线内实现速度和控制 - ...

... 多功能 Apex® 射频发生器和功率传输系统系列采用适合腔室安装的紧凑型模块化设计。利用先进的射频转换技术，Apex 射频发生器和功率传输系统提高了产品和工艺的可靠性。高密度功率能力使其成为先进等离子工艺的理想选择。各种通信模型和可配置功能使您能够定制您的平台并探索集成方法。无需定制发生器的交付周期。 - 流线型设计中的高功率密度 - 板载腔体安装、工具框架安装、机架安装和鞋盒选项 - 宽带控制回路 - 可选脉冲控制 - 高速电弧管理 - 可随时集成工艺工具，提高灵活性 - ...

... 用于新兴等离子体应用的多级脉冲和脉冲波形控制 在脉冲射频产品中获得最广泛的功能集。Paramount Plus 提供精确的射频调节、复杂的脉冲操作和先进的数据采集功能。Paramount Plus 设计用于覆盖广泛的射频能量范围（频率为 1 至 60 MHz，功率为 1.5 至 15 kW），可提供您所需的可重复性和可靠性。 Paramount® Plus 脉冲射频电源 具有多级脉冲、脉冲波形控制以及脉冲射频电源中最广泛的 Paramount® Plus 具有多级脉冲、脉冲波形控制和脉冲射频产品中最广泛的功能集。 平台使您能够突破工艺创新的界限，并 提供市场上的最佳价值。出色的等离子稳定性、 出色的等离子稳定性、精确的射频调节、复杂的脉冲操作和先进的 数据采集提供了下一代节点所需的极高等离子体控制能力。 下一代节点所需的等离子体控制能力。 用户受益 精确的射频和脉冲控制 增强等离子稳定性和过程可重复性 快速响应等离子体变化 灵活性和适应性强，适用于不断进步的制造技术 半导体应用 PVD PECVD 蚀刻 ...

... 以操作灵活性为新重点，推进您的工艺开发。Paramount® HF 射频发生器功率范围宽，支持多种集成方案，配备标准串行/模拟接口和其他可选通信接口。Paramount HF 实现了高纵横比器件所需的高等离子密度和离子能量，并加快了下一节点半导体加工工具的工艺流程。派拉蒙平台的数字架构可提供精确的功率管理，并简化新功能的集成--无需前置时间或硬件变更。通过对等离子体变化的实时检测，实现了高功率输出和可重复的性能。内部保护限值有助于可靠运行。 - 全数字控制 - ...