氢分析仪

... 高效在线测量生物气体 沼气厂 污水处理厂 垃圾填埋厂 ... 及其他领域 技术数据 宽 400 x 高 400 x 深 220 毫米 样气入口： 1 个标准入口，最多可扩展至 5 个入口 气体成分数量 通过 NDIR 检测 CH4 和 C02 通过 EC 检测 H2S、02、H2 测量范围 CH4 = 0-100 Vol.-% H2S = 0-2000 ppm (可选）0-10000 ppm C02 = 0-65/100 Vol-% 02 = 0-25 Vol.-% H2 ...

... 用于各种工艺中稳定高效的在线测量 化工行业 回收利用 环境 监测 控制 制药业 ...以及其他领域 外壳 400 毫米深，IP 20 样品气体入口： 1 个标准入口，最多可扩展至 8 个入口 可从外部控制的样气入口数量几乎不受限制 测量范围 取决于气体 气体成分数量 NDIR 1 EC 1 内置采样气泵 可选数据接口： 模拟、4-20 mA Profibus Profinet Modbus TCP 以太网 IP NDIR 单光束原理，比色皿加热至 80 °C EC 电化学反应程序 自动调零 ...

... 用于测量定量气体成分的探测器 测量沼气中的 H2，以及金属工业炉/块式热电站/涡轮发电机中的 H2 元素分析中的 H2 或 N2 测量 氦气回收监测 飞艇中带有湿度补偿的氦气测量 空气分离设备中的监测 混合气体和纯净气体的控制、监测和质量控制 ... 及其他领域 技术数据 宽 145 x 高 80 x 深 85 毫米 接口：RS232 电源18 V-36 V DC /700 mA 显示屏LCD 显示屏 通过 3 个按钮操作 线性度< 测量范围的 1 预热时间： ...

... MS400-AQI气体检测仪可同时测量4种气体，包括LEL、CL2、H2S和O2--在泵或扩散模式下均可。我们提供气体检测仪OEM/ODM服务。 MS400-AQI气体检测仪可以检测4种潜在的大气危害，包括氧气、可燃气体和有毒气体，检测的气体种类超过500种，MS400-AQI在其多功能性、能力和整体价值方面是无可比拟的。 它采用的防水系列便携式气体检测仪以其无与伦比的功能改变了市场。 连续监测和显示多达4种气体的浓度，紧凑和轻巧的MS400-AQI在设计和工程上考虑到了大量的应用。 ...

... MCA Syn 100 P是完全由ETG开发的合成气分析仪MCA 100 SynSyngas分析仪的便携式版本。MCA Syn 100系列沼气分析仪由于其准确性、稳定性、可靠性、宽广的测量范围和各种可用的外形尺寸，是测量合成气燃烧和工业应用的理想解决方案。与其他分析仪不同，ETG MCA 100 Syn P使用NDIR技术测量CH4、CO2、CO。H2通过TCD（热导率）传感器测量，O2在电化学电池中测量。 这些单点分析仪用于监测合成气的成分，然后能够准确地提供烟气的成分，以实现工艺优化的目的。 NDIR分析单元的先进光学和电子元件几乎消除了初始预热期后的零点漂移。温度和压力补偿消除了许多NDIR仪器所特有的大规模漂移的主要原因。 测量范围可以根据客户的需要修改。还可提供壁挂式和19″机架式版本。 关键点： - ...

... 在线溶解气体分析仪 (DGA)，用于初期和临界故障检测 在一台仪器中同时具备初期故障检测器（H2）和临界电弧故障检测器（C2H2）的功能 InsuLogix® G2 乙炔、氢气和湿气监测仪通过测量氢气和乙炔这两种关键气体以及湿气的存在，将电力变压器中的初期故障早期检测和严重故障检测结合在一起。 单阀门设计采用最先进的自校准激光传感器技术，可检测到低至 0.5 ppm 的乙炔 (C2H2) 气体，为您的资产提供重要故障条件的早期指示。这样就能做出可靠、快速的反应，这对挽救变压器和防止代价高昂的意外停运至关重要。 直观的本地托管网络服务器用户界面无需对设备使用进行大量培训，从而降低了人工成本，并为所有授权人员提供了高效的用户体验。 ...

... 新型 XMTCpro 是一款结构紧凑、坚固耐用的在线热导率变送器，可测量二元气体混合物的浓度，包括氢气、二氧化碳、甲烷、氦气等。 通过 SIL 认证的 XMTCpro 具有实时误差检测和增强型信号测量功能，可实现最快响应，其设计具有抗污染性，只需最少的维护，非常适合在恶劣环境下的工业应用中广泛采用。 主要优势 XMTCpro 具有集成显示屏和直观的用户界面。XMTCpro 还结合了计算机增强信号测量功能，可实现最快响应、实时错误检测和 MODBUS 数字通信。 XMTCpro ...

... PCT 认证的 Gasboard-3100 是一款基于 NDIR 和 TCD 技术、NDIR、TCD 和电化学技术的固定式合成气分析仪，可用于长期测量 CO、CO2、CH4、H2、O2、CnHm、C2H2、C2H4 或它们的任意组合并计算热值。 它采用标准 3U 机箱和 4-20mA 输出，可广泛用于蒸汽转化、制氢、甲醇生产、炼钢、热处理、化学转化、气化、热解等应用领域的长期气体监测。 Gasboard 合成气系列分析仪器可同时测量多达 6 种气体的浓度，如 CO、CO2、H2、O2、CH4、CnHm、C2H2 ...

... 基于专利的 NDIR、TCD 和电化学技术，PCT 认证的便携式合成气分析仪 Gasboard-3100P 可同时测量 CO、CO2、CH4、H2、O2、CnHm、C2H2、C2H4 或它们的任意组合，并计算热值。 Gasboard-3100P 体积小、精度高、响应时间短、操作简单、采用可充电锂电池，是蒸汽转化、制氢、甲醇生产、炼钢、热处理、化学转化、气化、热解等应用领域理想的多点测量解决方案。 Gasboard 合成气系列分析仪器可同时测量多达 8 种气体的浓度，如 ...

... 激光拉曼光谱仪气体分析仪 LRGA-6000 基于激光拉曼散射原理，可增强、收集、处理和识别待测气体的特征拉曼散射光谱，并对其含量进行量化。可同时对各种气体进行全量程在线实时测量。 特点 采用激光拉曼气体特征指纹技术，精度高。 功能齐全，可在一台仪器上测量合成气体中的所有主要成分。 可在线实时测量包括 H2S 在内的多组分气体。 检测范围广，从 0.01% 到 100%，可全方位测量气体浓度。 响应速度快，样气进入分析仪后直接显示所有成分。 操作和维护成本低，无需载气，无耗材。 自动温度和压力校正，使用中无漂移。 规格 可同时测量 ...

... ProGC-3000 工业在线色谱分析仪是 FPI 自主研发的具有自主知识产权的工业色谱产品之一。 它有别于实验室台式色谱，采用高精度程控色谱柱切割技术和色谱柱系统进样技术，可快速分析被测组分。 技术，可快速分析待测组分。它主要广泛应用于炼油、石油天然气、化工、冶金、制药和电力等领域的生产、检测、分析和控制的各个环节。 气体和可气液体浓度测定的各个生产阶段。 它采用固态柱箱技术，可在 -30°C 至 55°C 范围内保持高精度温度控制，从而获得极高的精度。 无需机舱集成，安装工程造价低、施工简便。 可靠近采样点安装，滞后短，损耗小，采样故障率低。 模块化设计将现场更换色谱柱的时间从 ...

Lancom 4 是一套完整的便携式烟气分析方案，并能集成到一个设计紧凑的电池供电单元中，通过九个独立的传感器同时测量多达八种气体。 Lancom 4 易于设置和操作，可实现高度精确的单点和半连续气体测量，适用于各种应用 - 确保您的工厂完全符合安全和排放规范。 Lancom 4 还可根据特定的气体和工艺流条件进行定制，通过不锈钢探头提取气体样品，再由先进的实时处理技术生成所需的高精度燃烧和排放计算数据。 Lancom 4 易于维护和维修，是燃烧煤、天然气、石油或生物质的行业的理想选择。其应用包括玻璃生产、发电、碳氢化合物加工、天然气压缩站、矿物和工业锅炉。 多重分析简单易用 在启动后，Lancom ...

通过高精度滴定管系统和高性能电极进行电位滴定。不同滴定类型，包括酸/碱、氧化还原和沉淀滴定。自寻式拐点技术可用于大多数应用。在一些内联传感器不奏效的情况下也可以使用分析仪测量 pH 值。 此外, 2026 Titrolyzer 可通过高精度滴定管和高性能离子选择性电极来执行动态标准加入法。该方法采用动态差分法将标准加入量与实际样品浓度相适应。此外还请注意 ISE 斜率值涉及到多个范围。这意味着 ISE 离子选择性电极可用于较低或较高的终极测量范围。伴随的温度测量消除了温度对分析结果的可能影响。 有几个市场与 ...

... G4 PHONIX DH 热萃取分析仪是准确快速扩散氢气测量的最佳解决方案，可避免脆化、氢致裂解和其他代价高昂的故障。 G4 PHONIX DH 采用载气热萃取法，可快速自动测定各种基质中的扩散氢气。 该分析仪配备了快速加热（和冷却）红外加热的翻盖炉（高达 900° C）。 石英管直径为 30 mm，可根据 ISO 3690 和 AWS A4.3 分析大型样品，如钢板以及焊接券。 多功能红外炉还允许使用温度程序和坡道来评估关于不同形式被困氢的信息。 对于更高的温度，特别是用于测定扩散氢和残留氢，例如在钢中，G4 ...

... G6 莱昂纳多 — 最高可靠性和经济性 G6 莱昂纳多（FusionControl）和 SampleCareTM 的 G6 莱昂纳多（FusionControl），实现了工业流程和质量控制的最高水平的稳健性和经济性 G6 LEONARDO 基于惰性气体聚变 (IGF) 原理，即样品材料在高温下融合在石墨坩埚中。 气体融合分析 (GFA) 原理也通常称为熔体萃取 (ME)，因为当样品熔化时，总氧、氮和氢是由惰性载体气体提取的。 三种非金属氧气（O）、氮气（N）和氢气（H）决定了所有金属材料的质量、使用寿命和机械性能。 ...

... G8 伽利略 ONH 是用于快速和自动测定固体材料中的氧、氮和氢的高端仪器。 该分析仪基于惰性气体聚变 (IGF) 原理，即样品材料在高温下融合在石墨坩埚中。 气体融合分析 (GFA) 原理也通常被称为熔体萃取 (ME)，因为总氧、氮和氢成分是通过样品熔炼提取的。当与外部红外加热炉配合使用时，G8 伽利略可以测量许多样品中的扩散氢含量。 材料，例如符合 ISO 3690 和 AWS4 4.3 标准的焊缝以及高强度钢材。 将质谱仪与 G8 伽利略分析仪耦合，可以大大提高检测极限，用于测定超低扩散氢浓度，例如在高强度钢中。 ...

... 这种技术速度快，在广泛的测量范围内准确，并具有出色的可重复性。AlSCANTM得到了业界的认可，在全球范围内销售了400多套。 AlSCANTM 氢气分析仪是便携式的，其设计可以在恶劣的工厂环境中生存。 该分析仪是自动化的，易于使用，可由非技术楼层人员操作。一旦启动，该装置就会自动运行，不需要特别注意。 封闭式再循环回路是直接监测液态铝中氢气的一种成熟方法。少量的载气，通常是氮气，通过浸入式探头与熔体接触，在闭合循环中不断循环，直到其氢含量与熔体中的H2蒸汽压力达到平衡。气体中的H2浓度被测量并转化为金属中气体浓度的读数。这种方法快速、可重复、准确，可以在铸造车间 ...

... 通过整合最先进的硬件和板载触摸屏软件平台，828系列可以让您轻松处理各种样品应用。根据Dumas的CHNS分析和蛋白质分析，具有最高的吞吐量、可用性和可靠性。所有828系列型号都兼容S832附加装置，提供独立的硫测定功能。宏大的样品质量能力与快至2.8分钟的循环时间相结合，使828成为不同应用基础的理想仪器，同时提供无与伦比的样品分析吞吐量。 特点 - 以无可比拟的样品吞吐量最大限度地提高实验室的生产力。 - 2.8分钟的快速循环时间，提高了FP/CN模型的生产力。 - ...

... TruSpec Micro在固体或液体微量样品的碳、氢、氮、硫和氧测定方面提供最佳性能。各组件共同工作，为您提供可靠、一致的性能，其特点是分析时间快、更坚固/无停机时间，并减少维护。 特点 - 每次分析成本低 - 支持遵守21 CFR第11部分的规定。 - 标称样品质量为2毫克 - 氧气模块提供独立的氧气测定能力，使用高温(1300℃)热解炉，分析时间为两分钟。 TruSpec Micro CHN和CHNS的效率和速度是由于其独特的流动载气系统与个别高选择性、红外（IR）和热导率检测系统相结合的结果。 将称量好的微量样品放入TruSpec ...

... H836EN & 惰性气体聚变氢气，带热导检测；为低水平氢气分析和氢气标本分析进行了优化 & EN样品滴、上电极和坩埚设计用于支持较大的低水平样品，如铝弹头或贫化铀颗粒 & 软件支持阶梯温度炉曲线，支持铝的表面和块状氢气标本分析 & 还支持黑色金属、钛和其他合金类型中低水平氢气的高精度分析 H836EN型号 高精度分析铝中的低浓度氢；也支持黑色金属、钛和其他合金类型的分析 软件支持阶梯式温度炉剖面，支持铝的表面和块状氢的标定 EN样品滴、上电极和坩埚设计用于支持较大的低浓度样品，如铝弹头或贫化铀颗粒 替换RHEN602氢气测定仪 ...

Chroma是一款功能多样、超级精确的微量级气体分析仪 Chroma针对特定背景气体进行了优化，可确保最佳的应用性能，是市场上最灵活的微量级气体监测方案之一。 凭借非损耗型等离子放射检测器 (PED)、火焰离子化检测器 (FID) 和热导率检测器 (TCD)，Chroma分析仪堪称目前市场上功能最多的微量级气体测量设备之一。单台4U架式分析仪配置即可满足大多数应用的要求，使得Chroma成为持续过程控制或质量监测的紧凑、高性价比的解决方案。 多功能，可满足各种应用需求 依赖于高产品纯度的应用需要对异常灵敏度和性能进行痕量分析。需要测量的杂质本质上是多种多样的，并且存在于许多背景气流中，因此，高柔韧性也是必须的。测量结果必须可靠，因此提供稳定性的技术至关重要。无论您对应用程序监控有什么要求，您都还需要一个易于使用且拥有成本低的解决方案。我们认为您不必妥协。 绝不妥协的解决方案 Chroma的灵活的超痕量分析是通过先进的传感技术和智能控制软件的巧妙结合而实现的。得益于Servomex的无损耗等离子体发射检测器（PED）电池，火焰离子化检测器（FID）或热导率（TCD）技术的快速，准确，灵敏和选择性的响应，Chroma提供了先进的复杂配置和性能选项比赛。 简单易用 Chroma的测量性能增强了它提供易于使用的解决方案并具有更大灵活性的能力。功能丰富的软件允许通过以太网/互联网远程进行完整的设备交互，而全方位的报告选项可提供简化的统计数据分析。色度还具有易于使用的高分辨率TFT彩色LCD，便于本地配置和交互。 优异性能 ...

DF-749采用Servomex可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS)传感器，可为超高纯(UHP)电子级气体在多种背景气体中提供痕量/超痕量水分测量。 DF-749在各种背景气体中提供痕量和超痕量水分污染物测量，包括氮、氢、氦、氩和氧。 理想的超高纯（UHP）气体的质量检查，在LCD和LED制造工艺中至关重要，DF-749紧凑轻便的设计使其易于携带，便于推车或移动应用。强大的硬件/软件设计几乎消除了通常与超高纯（UHP）气体检查相关的干燥时间。 DF-749采用行业先进的TDL传感技术，可实现超灵敏的低检测限(LDL) ...

DF-750是针对300mm半导体制造中超高纯 (UHP) 气体测量而优化的一款微量级/超微量级水分分析仪。 DF-750是针对300mm半导体制造过程而优化的一款分析仪，可以对一系列UHP气体进行微量级和超微量级水分测量。该款分析仪可以对电子工业级气体（包括氮气、氢气、氦气、氩气和氧气等）中的水分污染物进行测量。 可调谐激光二极管 (TDL) 传感技术可以提供低至万亿分之100 (ppt) 的低检测限(LDL)，从而确保DF-750高度稳定和准确的测量结果满足半导体生产的精密监测需求。 坚固耐用的DF-750具有所需维护少和零漂移稳定性等特点，可大大延长标定间隔。低持有成本和非凡的测量性能使得DF-750成为UHP气体质量检验应用的优质分析解决方案。 高稳定性TDL迹线/超迹线测量 UHP电子气体的超痕量鉴定对于半导体制造至关重要。您需要水分分析仪 可以提供高稳定性的测量结果，并具有灵敏且一致的性能。准确而低的LDL是必需的，容易存储和调用数据/校准记录也是如此。无论您有什么要求，您都需要一种能够提高运行效率的水分分析仪。我们不相信你应该妥协。 绝不妥协的解决方案 DF-750旨在满足全球半导体制造商所要求的出色的气体纯度标准。 ...

... Serinus® 51 硫化氢（H2S）和二氧化硫（SO2）分析仪性能精确可靠，价值极高。该分析仪将脉冲荧光检测与内部催化转换器相结合，可顺序测量硫化氢和二氧化硫，测量范围分别为 0-2/0-20 ppm，检测限为 0.3 ppb。Serinus® 系列分析仪的设计借鉴了 Acoem 公司 40 多年来运营大型空气质量监测网络所积累的经验和知识。因此，该系列仪器可无缝集成到连续监测网络中。 特点 可靠的远程性能 通过卓越的远程仪器控制、诊断查看和校准功能，最大限度地减少维护工作，并提供两年保修服务。 全面的数据记录 远程记录和查看 ...

迎接元素分析领域的主力军：UNICUBE 元素分析仪。这款元素分析仪将微量元素分析仪的低操作成本和高灵敏度与宏观分析仪的动态测量范围相结合。UNICUBE 元素分析仪设计用于同时分析固体和液体样品中的碳、氢、氮和硫，范围从0.1mg化学物质到15mg液体燃料到1g不均匀土壤。此外，该分析仪还提供了氧和氯测定选项，并且由于其低维护设计，可实现最高的系统正常运行时间。由于其高度的自动化和低噪音水平，UNICUBE 元素分析仪的工作环境特别舒适。 UNICUBE 元素分析仪亮点 极大的样品灵活性 适用于广泛的元素浓度和样品重量，并提供氧和氯元素的分析选择 可靠、无基体依赖的结果 即使是对于传统上难以燃烧的样品也是如此。 卓越的氢和硫测量能力 包括同时进行CHNS分析，即使是亚微克硫浓度的分析 高系统正常运行时间 低维护设计 直接程序升温解析(direct ...

体验元素分析的黄金标准：vario EL cube 元素分析仪。这款元素分析仪代表了元素分析领域的最高性能和通用性。vario EL cube 元素分析仪设计用于同时进行碳、氢、氮和硫分析，并为测定氧、氯和总无机碳（TIC）提供额外的选择。从100ug药品至20mg液体燃料，再到1.5g土壤样品--vario EL cube 元素分析仪将以最高的精度和准确度完美地满足您在元素分析方面的所有分析需求。由于它的低维护设计，vario EL cube 元素分析仪优化了无人值守的24/7操作和最高的系统正常运行时间。 vario ...

市场上第一台可从一个样品中同时测定碳、氢、氮和硫的宏观元素分析仪：vario MACRO cube 元素分析仪。这款适用于宏量样品的通用元素分析仪，在元素分析方面具有行业领先的多功能性，为您的分析提供了最大的灵活性。应用范围从测试固体样品，如石油焦、褐煤和烟煤到粘性和液体样品，如焦油或各种类型的海洋残渣/燃料。vario MACRO cube 元素分析仪结合其卓越的精度，是分析土壤、矿物燃料和衍生产品的多功能可靠的无人值守24/7操作工具。 vario MACRO ...

尖端技术 世界品质 6分钟 内可测试完碳、氢、氮三个元素指标，国内首创，处于国际领先；仪器采用国际先进的分析方法和 进口零部件，保证仪器工作的可靠性和精密度。 适用燃料管控的特殊功能 1）安全数据管理：样品编码和重量信息自动传送，测试结果自动备份和上传。 2）上传数据包括：环境参数：环境温度、湿度；过程参数：仪器运行状态，时间,炉温等。 技术特点 1.单层、双层(及)以上的放样盘，可一次性放入达35~70个样。 2.自密封技术隔离内部气路和外界，避免了外界的水汽和空气的影响。 3.专利的气路设计，可测得到真正的仪器空白值。 4.测试完成后自动降温、自动关机，实现无人值守。 5.红外池线性化校正，结果测试精准。 6.燃烧流程可自动调整，适应不易燃尽的煤样。 7.实验室环境温度和湿度实时监控；超差的结果自动提示。 8.样品编码和重量信息自动传送；测试结果备份和上传；实验数据防篡改。 9.实现登录权限管理；实验过程信息记录。 ...

... 是一款完整的预校准多组分（H2S、CO、CO2、CH4、H2O、O2、NH3、H2O、HCHO 等）激光红外光谱仪，用于测量氢气中的杂质。 ProCeas® 采用基于萃取吸收光谱的 OFCEAS 专利技术。这种基于激光的技术能够测量浓度低至亚ppb级的气体，其测量精度和可重复性的质量是无法预料的。 ProCeas® 在低压下对气体进行采样，内部压力低于 100 毫巴绝对值。这种稀释减少了正确测量所需的体积，并优化了分析仪的响应时间。最终，该系统所需的氢气样品量非常小。 最后，ProCeas® ...

... 连续测量溶解氢，用于水蒸汽循环中的腐蚀监测 法拉第电极，用于通过电化学产生的氢浓度进行自动或手动验证 膜完整性和电解质的自我监测 长寿命安培氢传感器 溶解氢 (H2) 0 - 800 ppm 饱和度 0 - 50 % ...

... 现有在线测量的便携式质量保证（验证）。可用于电导率、氢气、氧气和pH测量。 USB数据记录器接口，可在可选择的时间间隔内终身存储数据 可充电电池可独立运行24小时以上 可由Swan重新认证 完整的便携式系统安装在小型铝制面板上。 发射器AMI INSPECTOR Hydrogen安装在坚固的铝制外壳中（IP）。 坚固的铝制外壳（IP 66）。 带铂金阳极的Swansensor氢气传感器 和集成的NT5k温度传感器。 流量计QV-Flow PMMA OTG，由丙烯酸玻璃制成，带有针阀和数字显示。 丙烯酸玻璃制成，带有针阀和数字 采样流量计。 用于独立操作的可充电电池。 携带箱 用于数据记录的U盘。 经过工厂测试，可随时安装和操作。 规格。 测量范围。 0.1 ...

... 通过我们新的TIGER OPTICS™ Prismatic 3™ 激光多品种痕量气体分析仪，我们提供了一个关键的工具，用于研究和工业环境中的各种应用，其中实时、在线气体监测是必不可少的。Prismatic 3 非常适用于燃料电池氢气纯度监测，贯穿整个氢气供应链--从生产到运输和储存到加气站。 这种基于CRDS的紧凑型分析仪可同时检测H2O、CO、CO2和CH4，检测范围从十亿分之一到百万分之一，以确保纯度要求符合SAE J2719和ISO 14687:2019。 更重要的是，Prismatic ...

... 为了满足对高质量氢气原料不断增长的需求，我们的TIGER OPTICS™ CO-rekt™ 氢气痕量分析仪为您的HyCO和SMR工厂带来了我们空腔环降光谱技术的著名优势。这种强大的、经过验证的技术提供了安全、快速和稳定的性能，使您能够有效地管理您的PSA床，使产量最大化，污染最小化。它的动态范围超过四个数量级，从十亿分之一到百万分之一。 益处 无漂移性能：避免了旧技术需要频繁校准所带来的停机时间和人力成本。它是如此稳定，以至于不需要校准。不再需要存储和管理校准气瓶或支付复杂的采样系统。而且请记住，越是不需要干预，越是不会出错。 ...

... 新一代微量氯化氢气体分析仪 当你在设备最终测试阶段发现灾难性的产品性能或产量损失时，你可以花很长时间 "寻找 "空气中的分子污染物（AMC）；或者你可以部署我们的TIGER OPTICS™ T-I Max™ HCl分析仪来定位和监测这些看不见的缺陷产生者，这些缺陷通常潜伏在设备、人员、晶圆载体和洁净室托架内及周围。 在当今先进的半导体加工过程中，从各种材料、加速加工操作以及基片存储和运输中散发出来的残留气体、蒸汽和化学品已经成为一个关键的问题。以至于国际半导体技术路线图（ITRS）现在强调AMC污染是实现和维持设备低缺陷率的一个关键技术挑战。 由于特别关注AMC ...