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运行行程: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm
... E-LMT-XY (高精度直线电机平台) XY 线性电机运动平台 简要说明 移动范围 100 mm × 100 mm 或 200 mm × 200 mm 单向重复精度达 0.3 µm 无铁三相直线电机 速度增量至 500 mm/s 分辨率为 4.88 nm 的直线光栅尺 交叉滚柱导轨 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件，直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
速度: 200 mm/s
重复精度: 10 nm
载荷: 6 kg
... 设计特点 专为高性能扫描和检测而设计 所有空气轴承表面都有主动空气预紧力 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率 高刚度可承受重负荷，几何性能卓越 行程为 50 毫米和 100 毫米 整体平衡 高动态性能的空气轴承设计 E-LMT145-Z 在垂直和水平表面上都采用了气对气预载。相对的薄膜压力可保持轴承公称间隙公差。这种设计，再加上大面积的空气轴承表面将载荷分散到较大的表面区域，使平台具有出色的刚度，非常适合重载或偏置载荷。 专有的制造技术使平台具有无与伦比的几何特性，通过产生出色的俯仰、滚动、偏航、直线度和平面度规格，最大限度地提高了性能。 该平台背后的驱动力是 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
运行行程: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
重复精度: 0.1 mm
... 小型直线电机共面空气轴承平台 磁性预载空气导轨 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
运行行程: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
重复精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... METIS 是最先进的混合平面机械/空气轴承平台，专为步进和扫描应用而设计，可确保无与伦比的精度、移动和稳定时间以及 4 自由度的速度稳定性。 METIS 平台是最先进的混合平面机械/空气轴承平台，专用于 X、Y、Z 和 Theta 方向四轴移动的步进和扫描应用。全行程范围内的动态平面度和双向重复性使其成为高精度任务的理想选择。METIS 广泛应用于晶圆过程控制，如关键尺寸和薄膜计量、晶圆划线和晶圆激光热退火。它还适用于后端光刻机（光罩校准器）和某些晶片切割应用。 METIS ...
速度: 100 mm/s
... RotoLinear Z(升降机)-θ(Theta)定位模块是一种高性能的双轴空气轴承系统，在取放应用中取代了体积较大的传统电动机械执行器。它结合了最新的无刷伺服电机、编码器和空气轴承技术，在极其紧凑的封装中提供精确、可编程的位置和速度控制。该Z-θ级采用了2轴平面和空气轴承技术。驱动、轴承和反馈完全非接触式。RotoLinear平台有一个通孔，可将辅助真空线和电气线输送到平台的上表面。可安装在平面XY锻机上，作为机器人X-Y-Z-THETA单元运行。 ...
... 平面XY工作台是由被称为forcer的移动元件组成，它在无摩擦空气轴承上滑动的特殊的 "华夫板状 "表面上滑行。 平面锻造器包含两个或四个相互成90度的直线运动模块。 当电机模块响应不同的电流时，激振器会在压板上移动以产生连续的线性运动。也可以在平移和旋转模式下控制换向器，以执行XY和θ(耦合度)运动。 对于大的旋转能力，可与RTH转台和Z型升降电机集成在一起。 平面锻造器与标准的微步进驱动器和分度器兼容。它们还可以配备IntelLiCoder反馈和闭环驱动。 平面XY工作台可以在任何方向（侧壁、倒立）操作。 ...
速度: 9 m/s
重复精度: 5 µm
... 带空气轴承的 MPL 线性电机平台 带空气轴承的直线电机平台的信息 该线性轴的能力： 测量系统重复精度： ± 1 μm 最大加速度： 80 m/s2 ...
运行行程: 385 mm
速度: 330 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 0.4 µm
... 具有大孔径的扫描平台 这种大型精密xy平台是为最大的重复性而设计的。可以用节省成本的方式实现精度，否则只能保留给空气轴承系统。抛光的交叉滚子导轨用于直线度和平面度的重复性为+-0.15 µm。 通过大的透射光，大型基体也可以从两侧或用透视仪进行测量。它还提供了差分测量的选择，以利用测量应用中的全部传感器精度。即使在平台完全移动的情况下，也能始终保持至少60mm x 60mm的开口。 最快的扫描应用与高加速度 通过330毫米/秒的定位速度实现极快的扫描结果 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
重复精度: 1 µm
载荷: 4 kg
... 带空气轴承的 PIglide 微型线性平台具有线性电机驱动、预载空气轴承和集成式光学线性编码器。该平台占地面积小，但精度极高。非接触式组件的组合实现了无摩擦运动，具有出色的动态性能、纳米级定位精度和超长的使用寿命。 为建立 XYZ 系统，A-143 提供垂直安装选项，包括制动器和平衡器。 附件和选件 PIglide 过滤器和空气准备套件 单轴和多轴运动控制器 带制动器和气动平衡的型号，用于垂直安装 应用领域 该平台非常适合许多高精度和高动态应用，例如计量、检测、光纤定位、光学定位、扫描和图案化。线性平台采用非接触式设计，无需润滑，电缆连接牢固，是洁净室和医疗技术应用的理想之选。 ...
Physik Instrumente/德国PI
运行行程: 50, 100, 25, 150 mm
速度: 300 mm/s
重复精度: 50, 100 nm
... ABL1000系列平台是目前性能最高的微型气浮平台。适用于空间受限、对定位精度和几何性能要求极高的场合。结构紧凑，易于与其他运动轴或系统集成。 -设计用于高性能对准和装配 -完全预载气浮轴承 -低噪音线性放大器 -完全非接触式设计 线性定位器是完全预载的非接触式设计。空气轴承本身无摩擦，已被证明是精密应用的标准。该平台由非接触式线性无刷伺服电机驱动，无论应用要求小步距、精确步距还是恒定平稳速度，该平台都是终极解决方案。卓越的磁场和电机线圈设计使其在微型气浮平台中具有最高的力输出。该平台具有卓越的伺服性能和坚固耐用的无扰动电缆管理系统。 反馈和控制系统 提供多种最先进的控制器以及各种高性能线性和 ...
Aerotech/美国Aerotech
速度: 200 mm/s
... A-523是一个直接驱动的空气轴承Z形尖端/倾斜平台。设计为平行机械式多轴系统，该平台可用于Z和尖端/倾斜运动。该平台以微型形式提供超精密度。非接触部件的组合产生了一个无摩擦的运动平台，具有顶级的性能、质量和使用寿命。 当A-523与A-81x或A-82x系列的控制器一起订购时，PI对Z型平台进行配置和布线，并在应用伺服调谐优化和应用负载下进行。您将收到一个完整的、可随时使用的定位系统。 附件和选项 空气过滤器组 内置真空夹持机构 应用范围 Z型尖端/倾斜平台非常适合于高精度的应用，如晶圆检测、光纤定位、光学器件定位、平板检测、无掩模光刻和超LED制造。非接触设计是洁净室应用的理想选择。 ...
运行行程: 450, 800, 250 mm
速度: 1 m/s
重复精度: 75 nm
... 在设计 XY 平台 EZ-0117 时，特别强调了在满足高精度要求的同时还要考虑成本因素。空气轴承的踏板上覆盖有波纹管，以防止颗粒进入，这使得 EZ-0117 特别适合颗粒负载应用。尽管配备了波纹管，但定位精度仍然很高。铁芯同步电机的加速度可达 10 m/s2，移动速度可达 1 m/s。机床床身由花岗岩制成。十字工作台一侧设有接口板，用于传输能量、信号和介质。两个轴可分别提供电能和气能。末端位置由感应传感器检测。XY 平台有两种尺寸，行程范围分别为 250 x 450 ...
Eitzenberger GmbH
... 设计用于完成高精确的测量任务。旋转单元采用抗摩擦轴承，无间隙。突出的刚度。高分辨率的编码器，可实现高定位精度。 RT-350 带压电驱动。最适合作为CT测量系统的旋转轴，因为所用材料的磁场强度低。 选项。 >气动夹持旋转 >防溅罩 RT-500 带扭矩驱动。RT-500的优势结构使得它可以作为多轴系统中的旋转轴应用。 选项。 >气动夹持旋转 >防溅罩 >带伺服驱动的蜗轮蜗杆传动 RT-1500 带伺服驱动。轴向有空气轴承。底板和旋转台是天然硬石，花岗岩。由于自动调节，在不同的重量负荷下，空气间隙将保持不变。 选项。 >旋转的气动夹紧 >防溅板 >角度编码器 >手动调整 ...
Johann Fischer Aschaffenburg
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