气浮回转工作台

... Micro...n 的 TR 旋转台由 2 个花岗岩盘设计和制造而成，每个盘在压力/真空空气轴承上移动，以获得尽可能高的稳定性。这些设备的底盘可以在基座上平移。 它们还具有可绕垂直轴旋转的上圆盘。这些磁盘能够在集成轴承系统的作用下运行。 ...

... EZ-0675 的基本尺寸为 115 x 115 毫米，是一款非常紧凑的空气轴承旋转台。EZ-0675 尤其适用于测量机的精确定位任务，或者安装在线性轴上，用于对准放置在线性轴上的组件或光学设备。转盘可以通过四个带 M6 和 M4 螺纹的通孔从上方或下方拧上。集成的测量系统（Numerik RIK4）有 10,000 条测量线，可提供带细分功能（RS422，5、10、50 或 100 倍）或不带细分功能（1Vss）。此外，转台还提供 HT（高扭矩）版本。HT 版的总高度从 ...

直径: 149 mm

... EZ-0275 是经过长期验证的中型直接驱动旋转工作台。由于采用了扭矩电机（IDAM RMF 2 相或 3 相），可实现高达 660 rpm 的动态应用。该转台特别适用于需要非常精确的旋转运动和高重复性要求的应用。测量系统（Numerik Jena RIK4）有 18,000 条测量线，可选择提供 5、10、50 或 100 的细分系数。插值越小，速度越快，插值越大，重复性越高。转子采用磁性预载，在气源关闭时夹紧在外壳上，并保持固定位置。安装位置没有限制。由于所使用的材料以及空气轴承基本上无需润滑剂，转台适用于无尘室。最大允许载荷为 ...

... EZ-0570 旋转台具有高承载能力（轴向/径向承载能力高达 2,200 N），特别适用于重达 40 kg 的重物的高精度定位。除其他应用外，该旋转台还可用于非接触式测量系统的测量任务。配备大功率铁芯扭矩电机后，还可实现动态应用。为了进一步减少轴向和径向运动误差，转台还可以使用无铁芯电机。测量系统（Numerik RIK4）有 18,000 条线，可选择提供 5、10、50 或 100 的细分系数。转子通过磁力预载，在气源关闭时夹紧在外壳上，并保持固定位置。安装位置没有限制。 应用：高精度定位和测量系统高精度定位和测量系统、检测技术、测试系统、对同步性和/或定位重复性要求较高的应用。 ...

直径: 300 mm

... EZ-0779 旋转台具有高轴向负载能力和低于 100 nm 的轴向/径向误差运动，最初是为晶圆加工而开发的；它适用于各种应用。直接驱动式转台配备了大功率水冷扭矩电机。此外，还可选配最多 6 个空气/真空通道的旋转馈入件。测量系统（Numerik Jena RIK4）有 18,000 条测量线，可选择提供 5、10、50 或 100 的细分系数。插值越小，速度越快，插值越大，重复精度越高。安装位置没有限制。 应用晶片研磨、晶片减薄、测试系统、对同步和/或定位精度要求较高的应用场合 ...

直径: 300, 240, 200 mm

... EZ-RP201 旋转台系列的轴向误差小于 30 nm，径向误差小于 50 nm，符合同心度的最高要求。由于采用了特殊的 H 型设计和优化的轴承布局，因此具有极高的轴向承载能力和刚度。不锈钢转台可通过外部法兰电机或皮带轮驱动。 应用领域精密车削、抛光、磨削、晶片磨削领域的驱动/轴承；用于对同心度要求较高的应用领域。 ...

直径: 340 mm

... EZ-0778 无源旋转工作台具有高轴向和径向承载能力和刚度。由于其运动误差小于 100 nm，因此是高精度加工过程中旋转运动的理想之选。气浮旋转台可通过波纹管联轴器和皮带轮由外部电机驱动。根据要求，可在工厂进行预装。安装位置没有限制。 应用：在精密车削、抛光、磨削、晶片磨削领域作为驱动/轴承；用于对同心度要求较高的应用领域。 ...

直径: 204 mm

... RTH 系列直接驱动旋转平台可提供出色的角度定位功能，其设计可消除以下问题 蜗杆、齿轮和皮带传动带来的齿隙、摩擦和磨损问题。 它将轴向无刷 RotoLinear 传动模块和平面空气轴承结合在一个紧凑的直接驱动配置中。 大面积空气轴承提供了足够的有效载荷刚度，并最大限度地提高了摇摆和跳动性能。 径向分布的 RotoLinear 电机模块在旋转分度和安装在移动 XY 工作台上时可提供较高的定位刚度。 这些工作台具有无限旋转能力，与标准微步进驱动器和分度器兼容。也可配备 ...

... GeoInSpec 手动旋转空气轴承旋转台用于最佳圆形几何 检测，在车间环境中检测圆形部件，同时保持标准实验室中更常见的世界级精度。 选项和配件： -防振花岗岩底座 -用于精确定位测量设备的柱单元 -数据采集软件 ...