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重复精度: 2.5 µm - 6.5 µm
运行行程: 50 µm - 275 µm
传送速度: 30 mm/s - 50 mm/s
... 用于晶片检测和显微镜检查的 XYZ AFM 龙门架 可定制 - 高刚性和精确测量的理想选择，不受振动影响 - 行程为 150 x 275 x 50 毫米，可扩展至 550 x 1550 x 50 毫米，因此产量高 - 静止时的极高稳定性可达 5 纳米或更高 - 采用无磨损空气轴承，使用寿命长 这种非常坚固的 XYZ 龙门架是专为高精度原子力显微镜（AFM）检查特别大的玻璃样品而设计的。U 形样品平台上方是一个 Z 向可移动悬臂，用于定制原子力显微镜。 规格 - ...
重复精度: 0.4, 0.7 µm
载荷: 28, 10, 0.5 kg
运行行程: 3, 5 mm
... MP700-3 平面 3D 校准器 可定制： - 大型基板、掩膜、框架高精度对准的理想之选 - 适用于孔径为 730 x 730 毫米的大型样品 - 重复精度高达 0.4 微米/± 0.0002°，负载最高可达 28 千克 - 990 x 1090 x 225 毫米的超扁平设计 - 通过空气轴承和直接驱动实现低维护和低颗粒 该校准器可实现平面内± 5 毫米的二次平移运动和绕垂直方向± 3°的旋转运动。运动 R (Phi) 是 XY 轴组合的结果。 规格 - ...
重复精度: 3 µm
传送速度: 1 m/s
... 带空气轴承的多轴系统 带空气轴承的 X-Y 线性电动机平台系统这一特殊项目的产品信息 空气轴承 2 线性电动机平台系统： 轴承：X 轴和 Z 轴上的空气轴承 基本结构：地面钢结构 峰值力：X 轴： 16800N，Z 轴： 9840N 测量系统 -重复性： ± 0.5 μm -分辨率： 100nm mit 安全性 最大加速度： 130 m/s2130 m/s2 ...
... XYZ万能龙门架 | XY直线电机，空气轴承 | Z型滚珠丝杠，直流电机，交叉滚子 | 行程可达600 x 600毫米 用于精确高空定位任务的通用XYZ定位系统 Z轴上的定制加工头或传感器在试样载体上移动速度极快。由于移动距离大，可达600毫米，可以进行大批量的加工或检测。由于采用了龙门式设计，可以很容易地实现与循环线的整合和几个这样的龙门架的排队。 灵活地适应生产要求 - 高精度、多用途的高空运动任务的理想选择 - 600 x 600 x ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... XYZ龙门架，用于检测大型部件，最大尺寸为450 x 1000 x 1000 mm | XY线性马达，空气轴承 | Z滚珠丝杠，DC马达 大型和高大部件的超精确测量 这个XYZ定位系统适用于450 x 1000 x 1000 mm以上的大型和高大样品的高精度测量。它设置在地面上，可以用升降车装载。一个定制的显微镜、照相机或传感器可以连接到Z轴上，用XYZ的高空运动测量样品。这可以实现纳米范围内的高分辨率成像，以及二维和三维成像的众多测量功能。 可灵活地适应个别过程 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... XY激光面板平台，行程可达2500 x 1500 mm | 定位系统 X直线电机，空气轴承 | Y滚珠螺杆，交流伺服 用于高负荷和长行程的空气轴承门户系统 这个空气轴承XY定位系统是为激光加工大型和重型面板而设计的。Z轴上的定制激光在材料上的移动速度极快。由于大行程可达600毫米，并可选择扩展到2500毫米，因此可以实现大批量加工。同样的概念也可用于其他需要长行程的高动态和精确的应用。 灵活适应不同的制造要求 - 是大型部件激光加工的理想选择 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
重复精度: 5.5, 2.5, 6.5, 4.5 µm
... XYZ AFM龙门架，用于晶圆检测、显微镜|行程达550 x 1550毫米|空气轴承、滚珠丝杠、皮带、步进电机 高度稳定的AFM空气轴承龙门架，行程范围大 这种非常坚固的XYZ龙门架是专门为高精度原子力显微镜（AFM）检查特别大的玻璃样品而设计的。在u型样品平台的上方是一个可移动的Z型悬臂，用于定制AFM。 悬臂可以精确地与样品对齐，并移动到U形内的任何一点进行表面浮雕采集。空气轴承提供了出色的平面内定位精度。最大的样品重量是500公斤。 原子稳定性，用于高要求的测量 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
重复精度: 1, 2, 1.4 µm
... XYZ龙门架，用于3D检测、厚度测量 | XY直线电机，型材导轨，空气轴承 | Z滚珠丝杠，直流电机 | 行程达600 x 600毫米 带显微镜架的高产能龙门架，用于高分辨率透射率测量 这个XYZ龙门架允许使用透射率测量的高精度和稳定的垂直检测过程。用于不同测量应用的定制显微镜可以与固定的龙门架的Z轴相适应。载体由一个经典的H型龙门架移动，并在空气轴承上滑行。这种来自上方和下方的透射光的不同寻常的组合，特别适合于要求严格的透射率测量。XYZ-龙门系统可以用现成的运动控制器交付，并以可靠的参数运行。 是自动从两侧透射光检测过程的理想选择 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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