PECVD镀膜机
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... 氢燃料电池汽车双极板涂覆设备,碳基涂覆设备 , 双极板涂覆设备 应用: FCV 是燃料电池汽车的简称,是下一代绿色汽车的最新技术。它是 100% 环保的,不同于需要反复充电的干电池和充电电池等原电池。 其核心技术是如何利用燃料电池动力模块,通过氢气作为燃料与氧气之间的电化学反应产生电能。来自交通组织和全球汽车制造商的科学家、工程师、教授进行了数千次测试,最终开发出了适当的处理方法。 在过去的三年里,皇家技术公司与客户密切合作,成功设计并制造出高效率、商业化和标准化的溅射沉积系统。我们坚信,这项技术将颠覆汽车行业。 ...
Shanghai Royal Technology Inc.
Multi950 设备位多面体(八面体)结构, 可安装:1套阳极层离子源,1对MF中频磁控溅射阴极; 1对PECVD阴极, 8只可控阴极弧发射源.且安装法兰均为标准型号,实现 离子源,弧与溅射阴极随工艺不同而灵活互换的功能. 设备特点 1. 灵活性:腔体采用侧壁八面体设计,前后开门;每个面采用门法兰安装方式,阴极,弧源,溅射阴极,离子源等器件分别安装于各个门法兰上;可实现灵活互换,对R&D研发新涂层非常适用 2. ...
Shanghai Royal Technology Inc.
... RTEP2215 金属化系统是专为汽车 LOGO 板镀铬而设计制造的。采用 PVD 热蒸发技术,在 PMMA(亚克力)表面沉积薄薄的高反射膜,形成如下图所示的出色涂层:白天,标志具有坚固的金属外观(不锈钢效果);夜晚,从正面、背面和侧面看,标志都会发光(内部安装了 LED 灯)。 优点 1.经久耐用,使用寿命长达 5~8 年,即使在室外也能使用 2.易于组装和维护。可采用螺钉安装或悬挂方式。 3.安全可靠。PMMA 材料使其重量比金属徽标轻得多,大大降低了跌落受伤的风险。 ...
Shanghai Royal Technology Inc.
等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 是一种利用等离子体内的能量来加速晶圆表面化学反应从而在低于 400°C 的温度下生产薄膜的工艺。沉积过程中出现的高能离子轰击可用于调整薄膜的电气和机械性能。SPTS Delta™ PECVD 系统已广泛用于先进封装、射频、功率、光子设备和 MEMS 市场,尤其是需要低处理温度的应用。Delta™ fxP 集群系统可为各种介电薄膜提供全面的工艺库,且沉积温度介于 ...
主要用于晶体硅太阳能电池制造中电池片的减反射膜生长,也可用于在电池片的背面沉积钝化膜。 石墨舟及硅片准备→管内充氮气→进舟→抽真空、压力测试→氨气预清理和检查→管路抽真空、测漏、恒温→预镀膜→镀膜→抽真空、压力测试→清管路、充氮气→退舟 1、兼容氮氧化硅PERC技术。 2、双水冷密封技术。 3、专利内加热技术。 4、高速平稳整体模组推舟机构。 5、悬浮承载舟技术。 6、自主知识产权MES软件。 7、自主开发中央计算机集中控制系统。 8、快速镀膜技术。 9、全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警保护功能。
... LEYBOLD OPTICS DLC 是一种高真空等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统,主要用于热成像系统的红外(IR)涂层。 行业领导者正在使用 LEYBOLD OPTICS DLC 设备来保护光学设备免受损害,这些设备应用于本机基材上的极硬和环境电阻光学涂层。 系统设计可实现极硬的层表面 LYBOLD OPTICS DLC 系统专为生产类金刚石硬碳 (DLC) 层涂层而设计,用于锗 (Ge) 和硅 (Si) 基材上的红外抗反射应用。 ...
Bühler Leybold Optics
... 科学研究涂层设备 实验性真空镀膜设备具有外形美观、结构紧凑、性能多样、操作简单可靠、功耗低等特点。它可以实现蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、电弧镀膜、CVD、PECVD等工艺。它可以手动、半自动和全自动控制。有许多尺寸和型号可供选择。 ...
... 经过生产验证的 Titan 沉降系统是一种带有真空盒式电梯的负载沉降系统。 它可以配置为聚氯乙烯、聚氯乙烯、聚氯乙烯、聚氯乙烯、聚氯乙烯。 泰坦沉积(Titan)以经济实惠的价格在小占地面积中提供创新和领先的工艺。 针对硅氧化硅、SiNx、SiC 和 A-Si 的可重复沉积制定了标准生产工艺。 所有这一切都以超过 25 年的快速工艺开发经验为后盾。 系统特点: PLC 和触摸屏控制 静电,或机械夹头 主动基板温度控制 真空盒式电梯 可选激光器和光学端点 ...
Trion Technology
... 它适用于高效晶体硅perc 电池工艺中致密氧化铝和其他背钝化膜材料的生长。 可在各种薄膜之间连续切换; 支持两端推舟机构,消除抖动,提高速度,增加负载,大大提高可靠性(专利)。进出舟时间不超过 20 秒(不含取舟和放舟); 特殊形状的双炉门机构,减少热量损失(专利双炉门结构); 石墨舟电极技术:电极面接触,前后电极互补,尾电极炉管外可调; 快速冷却炉体:采用最新专利技术,使炉体温度快速降至所需温度,冷却速度提高 25% 以上,显著改善炉管内温度均匀性; 专利的舟形存放位置平行散热模式:提高冷却效果,冷却时间缩短 ...
Han's Laser Technology Co., Ltd
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