纳米定位系统

重复精度: 50 nm
运行行程: 11, 6 mm

... 小型 SMARPOD 70.42 是最紧凑的系统，底板直径仅为 70 毫米，重量仅为 200 克。 SMARPOD 70.42 是最小的六脚架运动系统，底板直径仅为 70 毫米。尽管整体结构紧凑，但它却是一个坚固耐用的精确系统，可处理高达 5 N 的有效载荷，以 11 mm 的 X 和 Y 移动范围进行定位。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 11, 20 mm

... 中型 SMARPOD 110.45 的底板直径为 110 毫米，在 X 和 Y 方向的行程为 20 毫米。 SMARPOD 110.45 可定位最大 5 N 的有效载荷，在 X 和 Y 方向的行程为 20 mm。SMARPOD 110.45 的底板可配备工具、组件或传感器的安装柱，使该系统成为微型装配和任何其他涉及精确对准的应用的关键工具。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 42, 24 mm

... SMARPOD 225.75 的底板直径为 225 毫米，在 X-Y 方向的行程为 42 毫米。 SMARPOD 225.75 的有效载荷最大可达 5 N。它是较大的 SmarAct SMARPOD 之一，在 X 和 Y 方向的行程范围为 42 mm，在 Z 方向的行程范围为 24 mm。底板可选配安装柱，用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 30, 50, 10 mm

... 这种中型 SMARPOD 以 SLC-17 平台为基础，平行放置，X 方向行程为 50 毫米。 SMARPOD P-SLC-17 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-17 的 X 方向行程更大，达到 50 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 ...

重复精度: 50 nm
运行行程: 17, 102, 62 mm

... 大型 SMARPOD 以 SLC-24 平动平台为基础，在 X 方向上具有 102 毫米的大行程。 SMARPOD P-SLC-24 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-24 的 X 方向行程更大，达到 102 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 ...

重复精度: 100 nm
运行行程: 17, 62, 330 mm

... 大型 SMARPOD 采用了 CLL 系列的三个滑块，在 X 方向上的移动范围极大，达到 330 毫米。 SMARPOD P-CLL 在 Y 方向上使用 SLC 定位器，在 X 方向上使用 CLL 平台。由于采用了这种不同线性平台的特殊组合，P-CLL 在 X 方向上可根据需要提供高达 1200 mm 的超大行程范围，同时在 Y 方向上保持较小的占地面积。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 ...

... 卓越的表现 完全编码，分辨率为1纳米 主动位置保持 大扫描范围和低热漂移 在30 x 30毫米的范围内进行大面积探测 高速EBAC/EBIC成像 高效和简单 一体化的用户界面 所有探针的自动着陆和对准 在SEM图像中的 "点&点击 "导航 分组移动和 "步骤&重复" 样品和探针的CAD导航 ...

... 以纳米精度对物体和结构进行定位、操作、处理和测量 - 世界上最精确的纳米定位和纳米计量设备 - 测量和定位范围 25 x 25 x 5 毫米 - 分辨率 0.1 纳米 - 精度最高的 3D 定位和测量系统 - 探测系统，例如激光聚焦传感器、原子力显微镜、白光传感器、三维微型扫描仪 - 开放式设备结构可应用定制传感器 - 通过 PC 软件控制 NMM-1。提供用户 API。 用于三维坐标测量的纳米定位和纳米测量机的测量范围为 25 mm x 25 mm x 5 mm，分辨率为 ...

... 用于原子力显微镜的平面激光干涉测量和定位系统 - 最高精度的 2.5 D 定位和测量系统 - 测量和定位范围：表面直径 100 mm - 横向测量分辨率 ≤ 0.02 nm - 控制：3 个光纤耦合差分干涉仪 - 利用波长为 633 nm 的氦氖激光作为干涉仪的光源，实现计量重复性。 - 原子力显微镜作为探测测量系统，其他可根据要求提供 - 开放式设备结构可应用客户定制的传感器 - NPP-1 通过 PC 软件进行控制。提供用户 API。 NPP-1 纳米测量和定位平台的定位范围约为 ...