脉冲磁电管
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... 随着越来越多的行业发现磁控溅射的速度、可控性和底线优势,Angstrom Sciences 正在开发各种工具,以最大限度地提高这些大型、快速制造工艺的产量。 更广泛的解决方案 对于需要在极宽的基底上进行镀膜或需要实现极高吞吐量的用户,线性磁控管提供了完美的解决方案。 专利优势 Angstrom Sciences 的线性磁控管采用我们获得专利的全封装异型钕铁硼稀土磁铁和湍流水流,可提供无与伦比的性能。 标准配件 我们使用 ISO NW 标准配件以及 Conflat® ...
... 高功率脉冲磁控溅射或 HiPIMS 是脉冲溅射技术的最新进展,它利用能量极高、持续时间极短的脉冲产生等离子体放电,使大部分溅射原子电离。电离后的通量可以被引导,从而增强对涂层特性的控制。 Angstrom Sciences 已经开发出一系列溅射阴极,能够承受超过 1500 瓦特/平方英寸的极端功率密度,适用于连续长时间的生产应用。Angstrom Sciences 的高脉冲功率脉冲磁控溅射阴极在阳极体和安装法兰中加入了额外的冷却通道,与我们获得专利的湍流目标冷却一起,在工艺操作过程中保持最佳的冷却效果。 其他特点包括被动和主动磁体阵列,可在靶材寿命期间保持靶材表面的场强一致,这对 ...
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... 主要 用于线性加速器的机械调谐脉冲磁控管。 频率范围 (冷却水 40 ˚) -2993 至 3002 兆赫 峰值输出功率-2.0 兆瓦 磁体-独立 输出-至 10 号(WR 284 波导)(72.14 x 34.04 毫米内部) 冷却-水 ...
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