铝制纳米定位平台
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... SMARFLEX纳米定位扫描平台利用压电驱动的机械挠性体的优势,实现了高达几百微米的高度精确定位任务。 PLF3232-z.60在Z方向提供了超过60微米的扫描范围。它的重量为30克,非常轻,也相当紧凑,为32 x 32 x 15毫米。 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 51 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 80, 160, 1,000 nm
... SOM-8080是SmarAct最紧凑的显微镜平台,在X和Y轴上提供51毫米的移动范围。平台的尺寸是长和宽138 mm,高23 mm。像所有的SmarAct显微镜平台一样,SOM-8080是基于SmarAct的高精度SLC系列线性平台,因此具有最高的重复性和纳米分辨率。 显微镜平台的底板是与面包板兼容的。用于标准插入物的适配器确保了与常见制造商的兼容性。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 行程[mm] - 51 (X); 51 (Y) 阻塞力[N] ...
SmarAct GmbH
运行行程: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 240, 120, 1,000 nm
... SOM-12090长226毫米,宽176毫米,高30毫米,是SmarAct的第二大显微镜平台。该平台在X轴上的移动范围为83毫米,Y轴上为63毫米。它基于SmarAct的紧凑型SLC线性平台,具有纳米级的精度和最高的闭环可重复性。 与面包板兼容的底板和标准插入物的适配器确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 15 尺寸[mm] - 226 x 176 x 30 重量[g] - ...
SmarAct GmbH
运行行程: 103, 123 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 1,000, 360, 180 nm
... SOM-180150在X轴上有123毫米,Y轴上有103毫米,在所有SmarAct显微镜平台中提供最大的行程范围。基于紧凑的SLC线性平台,SOM-180150提供了纳米级的精度和最高的闭环重复精度。该平台的长度为286毫米,宽度为216毫米,高度为30毫米。该平台的重量为2500克。 通过标准插件的适配器和兼容面包板的底板,确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻塞力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 10 尺寸[mm] ...
SmarAct GmbH
运行行程: 51, 19 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 160, 1,000, 80 nm
... SOM-808030是SmarAct的显微镜平台中唯一提供垂直移动方向的。X和Y轴的移动范围为51毫米,Z轴为16毫米。该平台的尺寸为长和宽138毫米,高56毫米。由于SOM-808030是基于SmarAct的SLC系列线性平台,它提供最高的闭环重复性和纳米分辨率。 通过标准插入物的适配器,确保了与普通制造商的兼容性。显微镜平台的底板是与面包板兼容的。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 3.5/ ≥ 5.5 尺寸[mm] - 138x ...
SmarAct GmbH
运行行程: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
重复精度: 75 nm
... 我们的第二代ANT95L直线运动平台是满足纳米级运动和定位需求的领先解决方案。这些平台有多种配置,在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面都是同类产品中的佼佼者。此外,ANT95L平台还具有令人印象深刻的动态能力和更强的承载能力,是放大您的工艺过程的绝佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至0.5 nm - 全新 -在最长100 mm的行程内实现纳米级定位性能 -采用高精度交叉滚柱轴承,具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机,优化了工艺产量并最大限度地提高了可靠性 -易于集成到多轴组件和运动子系统中 ANT95L平台是高精度和高动态定位应用的理想之选,这些应用包括 -光学装配与检测 -光纤对准与优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...
Aerotech/美国Aerotech
运行行程: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 75 nm
... 我们的第二代ANT95LZ平台专门设计用于在垂直方向上提供纳米级运动和定位性能。用户可调节的超低摩擦气动平衡使其在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面成为同类产品中的佼佼者。ANT95LZ平台具有出色的动态性能和更强的承载能力,是您需要卓越的垂直运动时的最佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至1 nm。 -在最长50 mm的移动长度上实现纳米级定位性能 -通过用户可调的超低摩擦平衡,在垂直方向实现精确定位,有效载荷可达5公斤 -采用高精度交叉滚柱轴承,具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机,最大限度地提高了工艺产量和可靠性 ANT95LZ是要求高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择,包括 -光学装配和检测 -光纤对准和优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试与鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...
Aerotech/美国Aerotech
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