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真空范围: 0.01 mbar
流量: 110 m³/h
系列低能耗紧凑型干式泵适用于轻型应用，例如晶片处理、PVD 和计量等。 快速腔体抽空和低功耗 iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵是轻型应用中非常小、非常安静的泵 iXL600M 和 iXL1000M 两种型号经过工艺加固，专门设计用于电介质（氧化）蚀刻和其他类似应用 iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵具有高抽取速度和低能耗的特点 iXL900R 适用于真空锁室抽空应用，速度优于同类产品。这款新型的泵特别适用于等离子蒸汽沉积 ...
真空范围: 0.03 mbar
流量: 85, 70 m³/h
输出功率: 4, 2.6, 4.4, 3.2 kW
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机
真空范围: 0.03 mbar
流量: 160, 140 m³/h
输出功率: 6.6, 5.2, 5.5, 4.3 kW
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机
真空范围: 0.01 mbar
流量: 600 m³/h
输出功率: 15, 9 kW
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机
真空范围: 0.6 Pa
流量: 4 l/min
输出功率: 2.4 kW
... 干式真空泵MS系列 MS系列是一种真空泵，属于螺杆式干式真空泵。 在传统的LS系列的基础上，耐腐蚀和排粉的工艺模型得到了改进。该型号是为使用腐蚀气体和粉末排放的过程而设计的。 特点 通过对转子轴和气缸等主要部件的特殊涂层处理，实现了抗腐蚀。 采用ULVAC独特设计的转子轴，使排粉性能高。 实现了接近大气压的连续泵送 特殊功能/进一步应用 用于半导体和电子器件制造设备的真空系统 蚀刻、灰化、等离子清洗等。 炉子的真空系统 烧结、渗碳等。 锂离子电池制造设备的真空系统 电极干燥、脱气、真空注射等。 医疗和食品的真空系统 冻干、真空干燥等。 ...
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