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Mark II+ 无栅离子源 增大了射束输出并改进了维护功能 大幅度增大的射束电流和可拆卸阳极装置为 Mark II+ End-Hall 离子源增加了新价值，进一步改进了 Veeco 公司为光学镀膜系统提供的业界领先的无栅型离子源产品系列。 可为更高速的制程和更大型的加工室提供高达 70% 的更大射束电流 可拆卸阳极装置使维护工作变得更快捷并且可减少停机时间 整合式馈入装置和布线易于安装且可靠性高 适合于反应气体、惰性气体及高束流密度 更为小巧的规格使用与 ...
VEECO
16 厘米 RF 离子源 适用于高度反应性工艺的宽且均匀的 RF 离子源 Veeco 为反应性工艺（例如高度控制的光学镀膜的离子束辅助沉积或离子束沉积）提供宽而均匀的离子束源。 可支持的操作条件范围广泛：50 到 1500eV，75 到 700mA 在惰性和氧化环境中均能实现可靠一致的操作 用水冷却，适用于低功率到高功率运行 可选的 4 网格设计提供了非常高的准直性 它具有业界唯一的无灯丝RF 中和器，其维护工作少，支持长时间运行 稳定高效的等离子体操作具有精确控制能力并允许高重复性 非常适合于负载锁定生产工艺
VEECO
... 类别 - MERKURION® pro 项目描述 - 离子获取器泵。 二极管泵元件样式 (正极性)，带 入口法兰DN40 CF和 标称抽速为39升/秒。 电气连接器10 kV SHV (与SAFECONN兼容) 在 电压+3000 ...+7000 V 交付条件。 真空部件已清洗（纯度为PC2）。 被抽下来。 烘烤（真空等级UHV 1）。 用夹层密封 烘烤温度（无磁铁） - 450 °C 烘烤温度（带磁铁） - 250 °C 文章编号 - 370442 连接类型 ...
VACOM
... 类别 - MERKURION® basic 项目描述 - 离子获取器泵。 二极管泵元件样式 (正极性)，带 入口法兰DN40 CF和 标称泵送速度为10升/秒。 电气连接器10 kV SHV (与SAFECONN兼容) 在 +3000 ..+7000 V 烘烤温度（无磁铁） - 450 °C 烘烤温度（带磁铁） - 250 °C 文章编号 - 374038 连接类型 - CF 公称直径 DN - 40 外直径 - 70毫米 长度 - 80 mm 最小工作电压 - ...
VACOM
... 类别 - MERKURION® basic 项目描述 - 离子获取器泵。 二极管泵元件样式 (正极性)，带 进口法兰DN100 CF和 标称泵速145升/秒。 电气连接器10 kV SHV (与SAFECONN兼容) 在 +3000 ..+7000 V 烘烤温度（无磁铁） - 450 °C 烘烤温度（带磁铁） - 250 °C 文章编号 - 373823 连接类型 - CF 公称直径 DN - 100 外直径 - 152毫米 最小工作电压 - 3 kV DC 高压连接 ...
VACOM
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