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Langmuir探头
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... 用于等离子体诊断的先进朗缪尔探头 Hiden ESPion探头对I-V等离子体特性的常规监测提供了与等离子体稳定性和可重复性有关的直接信息。等离子体参数的自动实时推断提供了有关等离子体特性的详细信息,可用于特性分析和均匀性监测。 等离子体表征 等离子体蚀刻和ALE HiPIMS 类金刚石碳(DLC)涂层 脉冲激光沉积(PLD)涂层 SiBCN薄膜的直流磁控沉积 ESPion系统采用Orbital Motion Limited(OML)和Allen Boyd ...
... Langmuir 探头是一种精密等离子测量仪器,用于各种等离子实验室应用。 Langmuir 探头是热衷于等离子体表征的科学家使用的关键等离子体诊断,用于测量大部分等离子体的内部参数。 测量的关键参数包括电子密度、离子密度、电子温度、等离子体电位、浮动电位和电子能量分布函数 (EEDF)。 Langmuir 探头提供直流、射频、微频、连续和脉冲等离子体等等离子体参数测量。 ...
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... Langmuir 空间探测器使用自动线性驱动器扫描等离子体,并在不同位置测量等离子体参数。 等离子体空间剖面分析有助于解决与均匀性相关的问题。 Langmuir 空间探测器测量等离子体的空间剖面,如:等离子体密度、浮动电位、等离子体电位、离子电流密度和电子能量分布函数。 我们的系统使用最新的探头理论,借鉴轨道运动有限制,随着压力制度的变化,转移到艾伦 · 博伊德 · 雷诺兹来解释碰撞。 配备线性驱动系统的 ...
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... ...to 探头是一种平面朗缪尔探头,设计用于在探头表面沉积有绝缘膜的沉积等离子体中。这种耐沉积的朗缪尔探头可以在使用腐蚀性绝缘气体时留在等离子体反应器内。 ...to 探头可测量高沉积率等离子体(如等离子体增强化学气相沉积(PEVCD))中的等离子体参数,如等离子体密度、离子电流密度和电子温度。 多年来,测量高沉积环境中的等离子体参数一直很困难。Impedans 开发了一种突破性技术,即使在探头表面沉积了很厚的绝缘层时也能测量等离子体的参数。 ...to ...
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