精准旋转轴

直径: 225, 100, 155 mm

DynX旋转轴系列是高精度旋转定位轴产品线。DynX旋转轴产品线有3种不同直径，是需要高可靠性、高精度、易于维护和集成的全部应用的理想标准解决方案。 DynX旋转轴产品是对直线轴的理想补充。无需连接板就能连接直线轴与旋转轴，组成结构紧凑的高刚性和高精度堆叠解决方案。旋转工作台采用无齿槽电机，运动平稳，是高转速及高稳定性应用的理想选择。大空心轴可满足客户端电缆及电缆及接管要求。 特点 - 3种不同直径：100 / 155 / 225 mm - 无齿槽电机技术，高速且高度稳定 - ...

DXR+为ETEL的回转模块，结构紧凑，重量轻，配大型空心轴，用于满足半导体和电子行业的中端应用对高性价比的要求。 DXR+的刚性得到显著提高，对支撑回转模块的XY平台的控制带宽有直接的影响。DXR+模块使用48 VDC至300 VDC之间总线电压工作。可用AccurET 48或300模块驱动，对于更高位置稳定性要求的应用可用AccurET VHP驱动。 与ETEL的许多其它模块一样（ZT，Z3TH，RTTB），DXR+可安装在所有标准XY平台上。DXR+是单自由度模块，支持任意的角度运动。但可选配一定的角度运动范围，大约60°为一个单位。在一定条件下，DXR+的洁净度可从ISO ...

扭矩: 439 Nm

... RTMB+是一个高精度分度盘系列，每个尺寸有两种不同的直径、有效长度和绕组。集成了ETEL TMB+直接驱动扭矩电机，RTMB+得益于市场上最好的电机常数（Nm/√W），允许在分度期间以低功率耗散获得非常高的加速度。 ...

DXRH是ETEL旋转轴系列解决方案中的最新产品。这是一款单自由度、机械轴承为基础的旋转轴模组，兼有优异的精度和准确性。 集成360,000线的编码器，拥有无与伦比的机械性能完全可以比肩空气轴承解决方案，但结构更简单，DXRH的核心组件是海德汉性能卓越的编码器和轴承技术，以及无齿槽、无扭矩波动的ETEL直驱电机技术。 DXRH模块全面兼容标准的ETEL接口，该模块可独立使用，也可将其集成在ETEL的系统产品中。它还为所有基于DXRH的应用，提供了后续性能升级路径，无需重新设计，因为接口是相同的。 DXR+旋转模块可集成在CHARON2和VULCANO2堆叠平台上。它具有高刚性、高精度、高准确性、高清洁性等特点，由于采用不锈钢设计，可有效减小热变形。 尽管旋转模块主要用于半导体行业，但它同样适用于不同的应用和需要高精度和高准确性旋转解决方案的要求。 DXRH旋转模块可用于大量应用和行业，特别适用于圆晶的制程控制，例如Overlay测量、临界尺寸和薄膜测量以及光电子应用。