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速度: 100, 15 mm/s
载荷: 750 kg
... HEX-S6.50.200 6 轴六足三脚架 平行六自由度平台 简短说明： 特点高精度，可组装，可定制，光圈 460mm 在紧凑坚固的平台上实现稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力 在可用空间有限的情况下，非常适合需要复杂多自由度运动的应用。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。 ...
运行行程: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA92 高速 UHV 线性轴 应用：高分辨率和快速扫描应用 优点在 UHV 中快速定位，也可垂直定位 特点高分辨率、超薄、内置电机 - 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 可与 XYZ 传送系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... LT300 高负载精密线性平台 应用：运输平台、高负载扫描平台 优点：干式润滑，使用寿命长 特点：带干润滑油的导螺杆或带液体压电制动器的滚珠螺杆，具有 nm 级稳定性 - 真空：所有范围的 HV / UHV / EUV，最高可达 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 毫巴 - 最高烘烤温度120°C 可选项 - 可提供压电断路 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据腔体内的安装情况进行个性化调整 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 5 µm
... LA97 纳米线性平台 应用：扫描 优点：纳米定位，也可垂直定位 特点： 定位分辨率极高，刚性最强，可配备 2 个（或 4 个）电机 - 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：低至 10E-8 的液体润滑 / 低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 选购件 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... LA95 - 应用：传送阶段、扫描阶段 - 优点：干式润滑，使用寿命长 - 特点： 使用干润滑油的导螺杆或 带液体润滑油的滚珠丝杠 - 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-9 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：低至 10E-8 的液体润滑/低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 技术数据 - 行程：40 毫米、80 毫米、185 毫米 - 重复精度 ± 1.9 微米，± 0.4 ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.2 µm - 5 µm
... MT53 高分辨率微型平台 应用：多用途微型平台 优点：用于高分辨率扫描 特点：高分辨率定位 - 真空：所有压力范围 HV /UHV 低至 10E-11 毫巴 - 润滑：液体润滑低至 10E-8mbar / 干润滑低至 10E-11mbar - 磁性：磁性 - 最高烘烤温度120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据箱体内的安装情况进行个性化调整 - 可选配控制器 FMC400/450 技术数据 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm
... KT105-50 高分辨率 XY 平台 应用：真空 XY 平台 优点： 快速、高分辨率 特点：偏航和俯仰参数比带孔径的型号高三倍 - 真空：所有 HV / UHV 区域，最高 10-11 毫巴 - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10-8 / 干态最高 10-11 毫巴 - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项 - 有孔和无孔 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 不同的电机类型：纳米电机或压电电机 - 可与 XYZ ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... KDT300 稳定的高负载 xy 平台 应用：传送平台，高负载扫描平台 优点：- 尽管使用干润滑油，但使用寿命长 特点：尽管使用干润滑油，但使用寿命长 - 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11 - 润滑液：最高 10E-11 - 孔径：80 x 80 毫米 - 最大烘烤温度：120°C 可选项 - 带或不带测量系统 - 可选配控制器 FMC400/450 - 行程达 80 毫米，载荷达 10 公斤 - 可选配导螺杆驱动装置或润滑滚珠螺杆驱动装置，以获得更高的速度 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
重复精度: 1 µm - 5 µm
... HT160 精密高负载垂直升降台 应用：真空升降台 优点：高刚性、高负载 特点：带滚珠丝杠主轴的楔形 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10E-11 mbar - 液体润滑高达 10E-8 / 干式润滑高达 10E-11 mbar - 可提供磁性型号 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（根据要求可达到 1 级） - 可选配控制器 ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
重复精度: 0.7 µm - 5 µm
... HDT255 高负载孔径升降台 应用：真空升降台 优点：- 高刚度、高负载、开孔 特点：带孔的楔形平台 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10E-11 毫巴 - 液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 带孔径或不带孔径 - 不同的行程 - 可选择带或不带测量系统 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（根据要求可达 1 级） - 根据应用选择材料和真空润滑 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.4 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm
... HT240 精密高负载垂直升降平台 应用：真空升降台真空升降台 优点：高刚性、高负载 特点：带滚珠丝杠主轴的楔形 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10-11 毫巴 - 液体润滑高达 10-8 / 干式润滑高达 10-11 毫巴 - 磁性：磁性 - 最大烘烤温度120°C 可选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据炉室内的安装情况进行个性化调整 - 可选配控制器 FMC400/450 技术数据 - 行程： - 25 毫米 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 10 mm
速度: 200 mm/s
... XY-旋转级采用直线电机和直接转矩电机设计的XY-Rotary级，其设计的低姿态适用于晶圆处理和半导体制造行业的许多其他自动化精确定位应用。XY驱动直线电机驱动提供亚微米级的XY定位，直接驱动旋转级保证了亚微米级的性能。 ...
IntelLiDrives, Inc.
运行行程: 200 mm
速度: 400, 800 mm/s
IntelLiDrives, Inc.
运行行程: 280 mm
速度: 400, 800 mm/s
IntelLiDrives, Inc.
运行行程: 350 mm
速度: 800, 400 mm/s
IntelLiDrives, Inc.
运行行程: 200 mm
速度: 100 m/s
重复精度: 2 µm
... XY 滚珠丝杠驱动开放式 XY 平台与升降 MLVT 平台和紧凑型蜗轮蜗杆旋转 RTLA 工作台的组合 - XY 行程 100 毫米至 300 毫米 - 升程 12 毫米至 25 毫米 - 无限旋转 ...
IntelLiDrives, Inc.
运行行程: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 有磁性、低磁性和无磁性版本 - 有多达2个不同的电机用于高负荷的运动 - 不同的电机变体。纳米运动、压电电机或线性电机 - 可与XYZ定位系统结合使用 - 可与旋转台（如DT105）结合用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 100, 50 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 4 µm
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液体可达10E-8 / 干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 洁净室等级为4级ISO 14644-1（根据要求可达到1级）。 - 非常长的使用寿命，即使是干运行 可选择配置。 - 可提供压电式断路 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（可按要求达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 在纳米范围内的稳定性，甚至是高达10公斤的高负荷 线性平台是为在极端条件下定位高刚性负载而设计的，如在高真空和超高真空下。配备压电式卡钳制动器，该定位系统实现了纳米范围内的稳定性。 应用的领域 超高真空和极端紫外线辐射下的半导体技术，晶圆对准，晶圆检测，相机对准，传感器对准，触点检测，镜面对准，探测，真空室，研究，光束线仪器，电子组装和检测，高精度扫描应用 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 60, 130 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 4 µm
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 可作为磁性版本 可选择配置。 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 它被用作多轴系统以及同时扫描多个样品的强大组件。它可以在超高真空下实现高负荷的高度精确定位，甚至在垂直方向。 应用范围 多轴系统的设置，过程自动化，三维扫描，样品扫描，成像系统的定位，显微镜，样品分析，半导体检测，生物技术和半导体技术的质量保证，研究，光束线，加速器，同步辐射 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 25 mm
速度: 1.7 mm/s
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 可作为磁性版本 - 洁净室等级为4级，符合ISO 14644-1标准（根据要求可达到1级）。 可选择配置。 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 可选择使用控制器FMC400/450 用于高负荷的精确升降台，最高可达40公斤 该升降台适用于极端条件下的高精度垂直运动，如高真空、超高真空。由于它的升降楔形原理，尽管它的总高度很低，只有90毫米，但仍能实现其参数。步进电机和精确的滚珠丝杠，可选导螺杆的组合，在相对较高的负载下可以实现最小的步长。 应用范围 超高真空和极紫外辐射下的工业和研究领域的精密定位，晶圆对准，晶圆检测，相机对准，材料研究，材料分析，检测，真空显微镜，光束线，加速器，同步辐射 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 16 mm
速度: 1.1 mm/s
... - 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar - 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 可作为磁性版本 - 根据ISO 14644-1，洁净室等级为4级 可选择配置。 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据室内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 用于高负荷的精确升降台 该升降台适用于极端条件下的高精度垂直运动，如高真空、超高真空。由于它的升降楔形原理，尽管它的总高度很低，但还是达到了它的参数。齿轮马达和精确的滚珠丝杠的组合，可选导螺杆，在相对较高的负载下实现最小的步长。 应用范围 超高真空和极紫外辐射下的工业和研究领域的精密定位，晶圆对准，相机对准，材料研究，材料分析，真空显微镜，光束线，加速器，同步加速器 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 5 mm
... GIGAGER XXY晶圆对准平台XXY350-105-450，也叫XXY对准平台或UVW平台。为了满足用户的不同设计需求，GIGAGER提供了空心和实心两种设计。由于采用了三轴的紧凑设计，大大降低了整体高度，使平台更轻、更薄，节省空间。 XXY对中平台，也叫XY0（thêta）平台，是为高精密度对中应用而设计的。它在XY平面上移动并围绕XY平面的中心旋转。ternis对准台，或XY-旋转台通常与XY0互换使用。XY-theta平台或UVW平台。 有10种型号。有三个精度等级，从G级2pm。B级5um。P级lOum，这些型号都有直线行程±5mm。此外。XXY平台可以围绕XY平面的中心旋转达±5度至±2度，而水平负载从10公斤至100公斤。 GIGAGER系列的对中平台得到了来自华为等知名系统集成商和知名工厂的信任。富士康。大族激光等。 为了满足用户的不同设计需求，我们提供空心和实心两种设计。由于三轴的紧凑设计，大大降低了整体高度。使舞台更轻、更薄，节省了空间。 ...
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