晶圆操作机器人

最大载荷: 5 kg
作用范围: 250, 350, 400 mm
重复精度: 0.01 mm

... 介绍小尺寸SCARA机器人。 特点 内部结构实现了高刚度和高精度。 完全无带结构 通过使用 ZR 轴直接耦合结构，实现了完全无带的结构。这种直接驱动结构极大地减少了浪费的运动。它还能在很长一段时间内保持高精确度。它确保了长时间的免维护使用，没有皮带断裂、拉伸或老化的担忧（该特点适用于所有XG系列型号和YK180X/YK220X）。 高速度 标准循环时间当然很快，但雅马哈的设计也强调实际使用区域的战术时间。通过改变齿轮比和最大马达转速，最大速度得到了大幅度的提高。这也导致了在长距离运动时有更好的战术时间。 改进的维护功能 雅马哈SCARA机器人YK-XG系列的盖子可以从前面或向上拆卸。盖板与电缆是分开的，所以维护任务很容易。 在普通机器人上，更换谐波齿轮的润滑脂需要大量的时间和麻烦，因为必须拆卸齿轮，而且可能出现位置偏差。然而在YAMAHA ...

... 机器人将晶圆（或电池）从进料带转移到出料带的1至5个不同数量的轨道上，反之亦然。 此外，晶圆可以被分拣到盘子里，也可以从盘子里拿出来。单独的传送带将晶圆送入和送出机器，因此不需要为不同尺寸的晶圆进行转换，并保证了温和的传送。 一个集成的摄像系统可以检测晶圆的位置、缺陷和重叠的晶圆。错位的晶圆将被放置到正确的位置，损坏和重叠的晶圆将被移除。 一个特殊的Bernoulli-gripper已经被开发出来，以实现温和和无接触的抓取。 4,000片/小时的高产量 储存在移动和可更换的盒子里 检测双层和破损的晶圆，并将其移入盒子中 检测有缺陷的6英寸晶圆并将其单独移入盒子中，提供了将晶圆转换为5英寸晶圆的可能性。 在最后的轨道上进行额外的破损检测和移除，以防止在接下来的过程中出现堆积。 为钻石线切割晶圆做准备 易于维护，因为有良好的可及性 ...

最大载荷: 2 kg
作用范围: 500 mm
重复精度: 0.1 mm

电源：单相220V 装机功率：1.2 ÷ 1.5KW 湿度：< 95% 速度：< 120圈/分钟 自由度：3+2（旋转+倾斜）

最大载荷: 2 kg
作用范围: 700 mm
重复精度: 0.1 mm

电源：单相220V 装机功率：2.1 ÷ 2.7KW 湿度：< 95% 重复定位精度：0.1mm 速度：< 150圈/分钟 自由度：3+2（旋转）