紧凑型纳米定位系统

重复精度: 50 nm
运行行程: 17, 102, 62 mm

... 大型 SMARPOD 以 SLC-24 平动平台为基础，在 X 方向上具有 102 毫米的大行程。 SMARPOD P-SLC-24 的有效载荷最大可达 5 N。在尺寸几乎相同的情况下，P-SLC-24 的 X 方向行程更大，达到 102 毫米。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 如需了解其他尺寸和行程，请随时与我们联系。 ...

... 以纳米精度对物体和结构进行定位、操作、处理和测量 - 世界上最精确的纳米定位和纳米计量设备 - 测量和定位范围 25 x 25 x 5 毫米 - 分辨率 0.1 纳米 - 精度最高的 3D 定位和测量系统 - 探测系统，例如激光聚焦传感器、原子力显微镜、白光传感器、三维微型扫描仪 - 开放式设备结构可应用定制传感器 - 通过 PC 软件控制 NMM-1。提供用户 API。 用于三维坐标测量的纳米定位和纳米测量机的测量范围为 25 mm x 25 mm x 5 mm，分辨率为 ...

... 用于原子力显微镜的平面激光干涉测量和定位系统 - 最高精度的 2.5 D 定位和测量系统 - 测量和定位范围：表面直径 100 mm - 横向测量分辨率 ≤ 0.02 nm - 控制：3 个光纤耦合差分干涉仪 - 利用波长为 633 nm 的氦氖激光作为干涉仪的光源，实现计量重复性。 - 原子力显微镜作为探测测量系统，其他可根据要求提供 - 开放式设备结构可应用客户定制的传感器 - NPP-1 通过 PC 软件进行控制。提供用户 API。 NPP-1 纳米测量和定位平台的定位范围约为 ...