交叉滚子纳米定位平台

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO ...

运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径：80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台（如DT155）结合，用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1（根据要求达到1级）。 - ...

运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s

... 带有交叉滚子轴承和压电马达的微型平台，用于纳米范围内的步骤。 高分辨率的微型平台 Steinmeyer Mechatronik产品系列中最小的平台具有极高的分辨率。由于其小型化的设计，它是空间要求有限且要求高标准的应用的理想选择。 压电式电机带来的最佳步长 MT53配备了交叉滚子轴承和一个压电马达，允许在纳米范围内的步长。在真空和非磁性版本中，这个微型平台完全适合在苛刻的环境中使用。 微加工和微组装的理想选择 MT53可以用于要求严格的微机械加工和微装配应用。它也可以理想地部署在研究和开发应用或半导体工业中。 ...

运行行程: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
重复精度: 75 nm

... 我们的第二代ANT95L直线运动平台是满足纳米级运动和定位需求的领先解决方案。这些平台有多种配置，在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面都是同类产品中的佼佼者。此外，ANT95L平台还具有令人印象深刻的动态能力和更强的承载能力，是放大您的工艺过程的绝佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至0.5 nm - 全新 -在最长100 mm的行程内实现纳米级定位性能 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机，优化了工艺产量并最大限度地提高了可靠性 -易于集成到多轴组件和运动子系统中 ANT95L平台是高精度和高动态定位应用的理想之选，这些应用包括 -光学装配与检测 -光纤对准与优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...

运行行程: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 75 nm

... 我们的第二代ANT95LZ平台专门设计用于在垂直方向上提供纳米级运动和定位性能。用户可调节的超低摩擦气动平衡使其在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面成为同类产品中的佼佼者。ANT95LZ平台具有出色的动态性能和更强的承载能力，是您需要卓越的垂直运动时的最佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至1 nm。 -在最长50 mm的移动长度上实现纳米级定位性能 -通过用户可调的超低摩擦平衡，在垂直方向实现精确定位，有效载荷可达5公斤 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机，最大限度地提高了工艺产量和可靠性 ANT95LZ是要求高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择，包括 -光学装配和检测 -光纤对准和优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试与鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...