机动纳米定位平台

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO ...

运行行程: 100 µm
载荷: 21 g

... - 平行运动设计，在所有空间方向都有最高的刚度 - 高谐振频率带来的高动态运动，即使负载达到100g也是如此 - 创新的产品设计，由于采用了单一的安装平台，可以灵活使用 - 市场上唯一具有ID芯片功能的纳米定位器 - 市场上最小和最轻的NanoCube®，具有100微米的行程范围 - 光纤定位和对准 - 扫描显微镜 - 双光子聚合 - 纳米技术和纳米制造 - 光子学/集成光学 - 微操作 - 样品定位 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米级的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置的Sub-D连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 适用于复杂的真空应用 压电系统中使用的所有元件都非常适合在真空中使用。 ...

运行行程: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
重复精度: 75 nm

... 我们的第二代ANT95L直线运动平台是满足纳米级运动和定位需求的领先解决方案。这些平台有多种配置，在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面都是同类产品中的佼佼者。此外，ANT95L平台还具有令人印象深刻的动态能力和更强的承载能力，是放大您的工艺过程的绝佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至0.5 nm - 全新 -在最长100 mm的行程内实现纳米级定位性能 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机，优化了工艺产量并最大限度地提高了可靠性 -易于集成到多轴组件和运动子系统中 ANT95L平台是高精度和高动态定位应用的理想之选，这些应用包括 -光学装配与检测 -光纤对准与优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...

运行行程: 0.4, 0.2, 0.1 mm

NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动，所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能，使它们可以用于动态过程（如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描）。 •亚纳米压电定位分辨率 •在 X、XY 或 XYZ 中运动 •压电行程范围可达 400 µm •可选集成应变计，适用于闭环操作 •共振频率高，适用于高动态应用 •真空版本 亚纳米定位分辨率 NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 ...

IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是极具功能美的紧凑型直线电机工作台。工作台的导向部采用实现了长期免维护的C-Lube自润滑直线导轨L，有助于减少维护工时。动子采用高性能钕磁石，虽然是极小型，但最大推力达到了36N，可实现高速、高响应性定位。而且机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机NT最适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和组装装置等设备的紧凑型定位机构。

运行行程: max 16.0 µm

... 压电系统 Jena 的 PXY 系列是一个 XY 纳米定位级，用于将压电致动器分解成柔性铰链系统。 通过这些组件，该装置能够在具有纳米精度的动态条件下工作。 它配备了每轴约 700 微米的旅行范围。 此外，它还配备了集成的反馈控制，旨在实现长期稳定性和亚纳米精度。 该工具是特殊应用的理想选择，如光学、光纤定位、激光技术、二维扫描运动、自动化和遥导系统。 此外，它具有一种施工原理，可实现高分辨率应用，远远超出机械和机电定位系统的要求。 它很容易安装在所有类型的定位系统。 ...

运行行程: 1 mm

... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动，用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性，最小的滚动和倾斜以及动态响应，从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对，用于闭环控制，并采用高分辨率电容式探头，在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程：1050 微米 ± 10% • 闭环行程：1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率：20 ...