集成电路测量系统

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振动测量系统
振动测量系统
RoboVib

RoboVib® - 用于自动实验模态测试的结构测试站 RoboVib®结构测试站将激光精确测量的三维扫描测振技术与工业机器人技术相结合,为振动分析、自动模态测试、FE模型验证或大型或复杂形状测试对象的结构动力学测量提供了最佳的自动化测量解决方案。RoboVib将通过减少测试时间和实验模态分析的潜在误差,大大加快您的研究和产品开发。例如,对一个白车身的完整测试可以在短短1-2天内完成,而厥后的测试方法只需要几周的测试准备。 合同测量、测量服务和租赁 使用非接触式和自动化的激光振动测量也是一种服务,或者将您的测量任务外包给Polytec! ...

视频测量系统
视频测量系统
M3020H

... M 系列半自动视频测量系统 具有自动对焦功能,让您的操作更轻松 Z 轴:自动/HIWIN 线性导轨 特点 Z 轴:自动;镜头:自动变焦。 高精度花岗岩底座、立柱,确保高稳定性和刚性。 成像仪测量仪软件,功能强大,测量方便。 多种数据处理、显示、输入、输出功能。 软件辅助调光,让用户了解光源是否过饱和。 底部光源灯使成像效果更清晰。 规格 - 测量范围(毫米)(X-Y-Z) :300x200x200 - 测量精度(μm): 3.0+L/200 图像和测量 - ...

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Guangdong Jinuosh Technology Co.,Ltd
视频测量系统
视频测量系统
G300

... G 系列自动视频测量系统 自动批量测量,解放双手 G 系列是需要视觉和触觉测量的各种工业检测应用的理想之选。 特点 高精度自动测量、自动镜头、高精度自动变倍。 空气轴承导轨,无磨损,精密研磨导螺杆,高速无间隙,灵敏可靠,定位准确,运动精度高。 Joystick 控制自动功能:自动对焦、自动测边、灯光自动调节、自动切换比例,确保高效测量。 软件操作方便,符合国际显微办公软件操作习惯。 四轴自动循环控制。 高分辨率彩色摄像头。 数控程序高度可编辑。 高精度花岗岩底座、工作平台、支柱,确保长期稳定性。 规格 - ...

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视频测量系统
视频测量系统
M2010H

... M 系列半自动视频测量系统 具有自动对焦功能,让您的操作更轻松 Z 轴:自动/HIWIN 线性导轨 特点 Z 轴:自动;镜头:自动变焦。 高精度花岗岩底座、立柱,确保高稳定性和刚性。 成像仪测量仪软件,功能强大,测量方便。 多种数据处理、显示、输入、输出功能。 软件辅助调光,让用户了解光源是否过饱和。 底部光源灯使成像效果更清晰。 规格 - 测量范围(毫米)(X-Y-Z):200x100x200 - 测量精度(μm): 3.0+L/200 图像和测量 - CCD ...

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视频测量系统
视频测量系统
M4030H

... M 系列半自动视频测量系统 具有自动对焦功能,让您的操作更轻松 Z 轴:自动/HIWIN 线性导轨 特点 Z 轴:自动;镜头:自动变焦。 高精度花岗岩底座、立柱,确保高稳定性和刚性。 成像仪测量仪软件,功能强大,测量方便。 多种数据处理、显示、输入、输出功能。 软件辅助调光,让用户了解光源是否过饱和。 底部光源灯使成像效果更清晰。 规格 - 测量范围(毫米)(X-Y-Z) :400x300x200 - 测量精度(μm): 3.0+L/200 图像和测量 - ...

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视频测量系统
视频测量系统
M5040H

... M 系列半自动视频测量系统 具有自动对焦功能,让您的操作更轻松 Z 轴:自动/HIWIN 线性导轨 特点 Z 轴:自动;镜头:自动变焦。 高精度花岗岩底座、立柱,确保高稳定性和刚性。 成像仪测量仪软件,功能强大,测量方便。 多种数据处理、显示、输入、输出功能。 软件辅助调光,让用户了解光源是否过饱和。 底部光源灯使成像效果更清晰。 规格 - 测量范围(毫米)(X-Y-Z) :500x400x200 - 测量精度(μm): 3.0+L/200 图像和测量 - ...

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视频测量系统
视频测量系统
G400

... G 系列自动视频测量系统 自动批量测量,解放双手 G 系列是需要视觉和触觉测量的各种工业检测应用的理想之选。 特点 高精度自动测量、自动镜头、高精度自动变倍。 空气轴承导轨,无磨损,精密研磨导螺杆,高速无间隙,灵敏可靠,定位准确,运动精度高。 Joystick 控制自动功能:自动对焦、自动测边、灯光自动调节、自动切换比例,确保高效测量。 软件操作方便,符合国际显微办公软件操作习惯。 四轴自动循环控制。 高分辨率彩色摄像头。 数控程序高度可编辑。 高精度花岗岩底座、工作平台、支柱,确保长期稳定性。 规格 - ...

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视频测量系统
视频测量系统
G500

... G 系列自动视频测量系统 自动批量测量,解放双手 G 系列是需要视觉和触觉测量的各种工业检测应用的理想之选。 特点 高精度自动测量、自动镜头、高精度自动变倍。 空气轴承导轨,无磨损,精密研磨导螺杆,高速无间隙,灵敏可靠,定位准确,运动精度高。 Joystick 控制自动功能:自动对焦、自动测边、灯光自动调节、自动切换比例,确保高效测量。 软件操作方便,符合国际显微办公软件操作习惯。 四轴自动循环控制。 高分辨率彩色摄像头。 数控程序高度可编辑。 高精度花岗岩底座、工作平台、支柱,确保长期稳定性。 规格 - ...

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临界尺寸测量系统
临界尺寸测量系统
SpectraShape™ series

光学临界尺寸(CD)和形状量测系统 SpectraShape™11k尺寸量测系统用于全面表征和监控finFET的关键尺寸(CD)及其三维形状、垂直堆叠的NAND和DRAM结构以及前沿设计节点上集成电路的其他复杂功能。利用光学技术和专利算法的先进性突破,SpectraShape 11k可以识别关键器件的参数(关键尺寸、高k和金属栅极凹槽、侧壁角度、光刻胶高度、硬掩模高度、间距偏移)的细微变化。SpectraShape 11k配备了经过改进的工作台和全新的测量模块,可实现高产量运转,能够在线快速识别制程中的问题,从而帮助晶圆厂加快产量提升并实现稳定的生产。 主要应用 在线制程监测,图形控制,制程窗口扩展,制程窗口控制,高级制程控制(APC),工程分析 相关产品 AcuShape®:先进的建模软件,解析来自SpectraShape系统的信号,从而有助于加快构建强大的3D形状模型的过程。 SpectraShape ...

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KLA Corporation
光学测量系统
光学测量系统
LMS IPRO series

光罩图案定位量测系统 LMS IPRO7光罩定位测量系统旨在为7nm设计节点使用的EUV和光学光罩提供准确快速的图案定位性能的验证。通过对光罩图案位置误差的全面表征,LMS IPRO7可以在高级设计节点光罩的开发和生产期过程中收集数据并将其用于电子束光罩写入仪的校正以及光罩质量控制。采用 KLA专利的模型量测算法,LMS IPRO7可以高精度地测量目标和多个器件上图案器件上多个特征图案定位误差, 为IC制造厂提供全面表征信息,减少由光罩引起的的器件叠对误差。 应用 光罩认证,出厂光罩质量检查,光罩写入仪认证和监控,光罩工艺监控,晶圆图案化控制 相关产品 LMS ...

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KLA Corporation
视频测量系统
视频测量系统
VMZ-K3040 series

能够进行高速/高分辨率3D检测。 突破性的多功能共聚焦影像测量系统 融合了共焦技术,具有15倍变焦的明视野和激光自动对焦。 无论需要什么样的几何测量,二维或三维,检查和评估都异常快速和准确。 共焦光学系统可实现清晰显示,便于准确检测高对比度样品边缘。 精细凸点和基板图案 在同一视场内结合15倍变焦明场图像的2D测量和3D高度测量,可以实现多样化测量。 探头卡 可以根据位置数据一键式地进行编程。可以使用独家的图像处理工具自动测量探头卡上的XYZ坐标和共面接触探头销。 精密PCB图案 尼康独家的共焦成像技术可以精确扫描高反射和低反射率表面。

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Nikon Metrology
距离测量系统
距离测量系统
NEXIV VMZ-K6555 series

能够进行高速/高分辨率3D检测。 突破性的多功能共聚焦影像测量系统 融合了共焦技术,具有15倍变焦的明视野和激光自动对焦。 无论需要什么样的几何测量,二维或三维,检查和评估都异常快速和准确。 共焦光学系统可实现清晰显示,便于准确检测高对比度样品边缘。 精细凸点和基板图案 在同一视场内结合15倍变焦明场图像的2D测量和3D高度测量,可以实现多样化测量。 探头卡 可以根据位置数据一键式地进行编程。可以使用独家的图像处理工具自动测量探头卡上的XYZ坐标和共面接触探头销。 精密PCB图案 尼康独家的共焦成像技术可以精确扫描高反射和低反射率表面。

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