光谱仪

该发射分析型终点监测仪用于等离子体半导体薄膜工艺中的终点检测或等离子体条件控制。新开发的 Rapture Intensity 算法通过捕捉微弱的信号变化来实现终点检测。捕捉细微发射变化的能力显著提高了灵敏度。增强的抗干扰度确保了在恶劣环境下全天候生产线的高度稳定运行。 开口率为 F/2 的亮光栅 使用 HORIBA Jobin Yvon 制造的直径为 70 毫米的像差校正凹面光栅可组建明场光学系统。凹面光栅本身的聚光能力可构建比 Czerny-Turner 分光镜更亮的简单光学系统，且能降低镜子和其他反射表面引起的反射损失。 背照式 ...

... 用于通过激光诱导击穿光谱法对证据进行元素分析 ECCO 2有一个大的样品室，设计用于通过激光诱导击穿光谱（LIBS）分析纸张、玻璃、金属、油漆、纤维、矿物和枪支残留物，提供小至300微米的材料的元素分析。 该系统使用高强度的脉冲激光聚焦到样品上，产生一个汽化物质的等离子体，发射出组成元素的原子光谱。一个发射线数据库提供自动识别和标记存在的元素。 使用ECCO 2进行分析是快速的，操作简单，只需最少的样品准备，立即得到结果，并且对低的百万分之一敏感。LIBS在速度、灵敏度和成本效益方面比其他过程（如XRF、SEM和质谱法）具有明显的优势。 快速分析 自动识别元素 最少的样品准备 需要最少的技术培训 安全联锁的样品室 ...