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概要 Auto SE, Simple Thin Film Measurement ToolAuto SE是一种新型的按键式全自动薄膜测量分析工具，仅需简单的几个按键操作，即可完成全自动测量和分析。 仅几秒钟即可完成样品分析，并提供完整的样品堆叠特性报告-包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。 Auto SE 是一种高性能系统，它包括XYZ自动样品台、测量点实时成像和光斑尺寸自动选择功能，其各种各样的附件可满足用户对多种应用的需求。 Auto ...
HORIBA Scientific
HORIBA Scientific
... M-2000®系列光谱椭圆仪是为满足薄膜表征的各种需求而设计的。先进的光学设计、宽广的光谱范围和快速的数据采集结合在一起，成为一个极其强大和通用的工具。M-2000同时提供速度和准确性。我们的专利RCE技术结合了旋转补偿器椭圆仪和高速CCD检测，在几分之一秒内收集整个光谱（数百个波长），并有多种配置。M-2000是第一个真正擅长于从原位监测和过程控制到大面积均匀性绘图和通用薄膜表征的椭偏仪。没有其他椭圆仪技术能更快地获得全光谱。 先进的椭偏仪技术 M-2000利用我们的专利RCE（旋转补偿器椭圆仪）技术来实现高精确度和准确性。 快速光谱检测 RCE设计与先进的、成熟的CCD检测兼容，可同时测量所有波长。 广泛的光谱范围 采集从紫外线到近红外的700多个波长--全部同时采集。 灵活的系统集成 通过模块化的光学设计，M-2000适合直接连接到您的工艺室或配置在我们的任何桌面底座上。 精确性 先进的设计确保对任何样品进行准确的椭圆测量。 ...
J.A. Woollam Co.
... RC2®的设计建立在25年的经验之上。它结合了以前型号的最佳特点和创新的新技术：双旋转补偿器、消色差补偿器设计、先进的光源和下一代光谱仪设计。RC2是光谱椭偏仪多样化应用的一个近乎通用的解决方案。 先进的测量能力 RC2是第一个收集穆勒矩阵所有16个元素的商业分光椭偏仪。穆勒矩阵SE允许对最先进的样品和纳米结构进行表征。 最佳的测量精度 先进的测量能力使基于CCD的快速椭偏仪具有最佳的精度。 双旋转补偿器 两个补偿器的同步旋转提供了高精度、高速度和完整的穆勒矩阵测量。 消色差补偿器设计* 新的消色差补偿器设计，在宽光谱范围内具有优化的性能。 ...
J.A. Woollam Co.
... iSE是一个新的原位光谱椭圆仪，为实时监测薄膜加工而开发。 使用我们成熟的技术，iSE使用户能够优化沉积薄膜的光学特性，以亚切斯特的灵敏度控制薄膜的生长，并监测生长动力学。 强大的 凭借光谱椭偏仪（SE）的力量，iSE能够以比其他技术更高的确定性测量厚度和光学特性。 紧凑 新的紧凑设计使其能够轻松地集成到任何试验室。 多用途 准确测定各种薄膜的厚度和光学特性，包括金属、半导体、氧化物、氮化物等等。 价格合理 以合理的价格获得椭圆光谱仪的能力。 易于使用 用户友好的界面，实时分析薄膜生长和蚀刻。 ...
J.A. Woollam Co.
... Theta-SE是一个按钮式光谱椭圆仪，用于表征薄膜的均匀性。它的特点是将先进的椭圆测量仪器放在一个紧凑的包装中，而且价格合理。 完全集成 Theta-SE配备了300毫米的样品映射、小光点测量光束、快速样品对准、俯视摄像头和我们最新的双旋转椭圆仪技术。Theta-SE拥有你所需要的一切来测量薄膜厚度和光学特性的空间均匀性。 高速度 通过使用快速的点对点平移、高速的样品对准和双旋转椭圆仪技术进行连续的数据采集，优化了样品的产量。 结构紧凑 获得专利的双θ旋转平台可以在一个小型的台式仪器中实现完整的300毫米制图。仪器的占地面积只比一个300毫米的晶圆略大。 用户友好 自动数据分析和内置报告实现了按钮式操作和快速获取测量结果。 经济实惠 theta-SE以合理的价格提供了分光椭圆仪和300毫米均匀性测绘的功能。 ...
J.A. Woollam Co.
... 对于薄膜厚度和折射率的常规测量，这种椭圆仪允许你安装一个样品，选择与你的薄膜相匹配的型号，然后按 "测量"。你在几秒钟内就能得到结果。 易于使用 按钮式操作与先进的软件相辅相成，为您解决工作中的问题。 强大的功能 经过验证的光谱椭圆仪技术为您提供厚度和指数，其确定性远远高于其他技术。 灵活 适用于您的材料--电介质、半导体、有机物和更多。 价格合理 椭偏仪适用于简单的样品系统。 快速 在几秒钟内同时收集数百个波长的数据，立即得到结果。 ...
J.A. Woollam Co.
... VASE® 是一种准确和通用的椭圆仪，用于研究所有类型的材料：半导体、电介质、聚合物、金属、多层等。它将高精确度和准确度与宽广的光谱范围相结合--高达193至3200纳米。可变的波长和入射角允许灵活的测量能力，包括。 - 反射和透射椭圆仪 - 通用椭圆仪（各向异性、迟钝、双折射 - 反射率（R）和透射率（T）强度 - 交叉极化的R/T - 去极化 - 散射测量法 - 穆勒矩阵 最大的数据准确性 VASE的特点是旋转分析椭圆仪（RAE）与我们的专利AutoRetarder®相结合，具有无与伦比的数据准确性。 高精度的波长选择 扫描单色仪是专门为光谱椭圆仪设计的。它优化了速度、波长精度和光通量，同时自动控制波长的选择和光谱分辨率。 灵活的测量 VASE ...
J.A. Woollam Co.
... IR-VASE® 是第一个也是唯一的光谱椭圆仪，将傅立叶变换红外光谱的化学敏感性与光谱椭圆仪的薄膜敏感性相结合。IR-VASE的光谱范围很广，从1.7到30微米（333到5900文数）。它被用来表征研究和工业中的薄膜和散装材料。这项迅速发展的技术在光学涂层、半导体、生物和化学工业以及研究实验室中都有应用。 广泛的光谱范围 涵盖近红外到远红外。 1.7至30微米 (333到5900文数) 分辨率从1厘米-1到64厘米-1 对超薄薄膜的高敏感度 光谱椭圆仪数据包含反射或透射光的 ...
J.A. Woollam Co.
... VUV-VASE® 可变角度分光椭圆仪是平版印刷薄膜的光学表征的黄金标准。它测量的波长从真空紫外线（VUV）到近红外（NIR）。这为表征众多材料提供了难以置信的多功能性：半导体、电介质、聚合物、金属、多层和液体，如浸泡液。 广泛的光谱范围 VUV-VASE 的波长范围从 140nm 以下到 1700nm。 高精度 利用我们的专利 AutoRetarder®，VUV-VASE 保证任何样品测量的准确性。 方便的样品装载 特殊的设计允许快速、有效地装载样品，而不会污染系统的清洗。 保护您的样品 单色器放在样品之前，以限制光敏材料的暴露。 ...
J.A. Woollam Co.
... PHE 光谱椭偏仪软件具有预设测量参数的模型和薄膜库，允许操作员选择应用并快速执行测量。 图书馆包括数百种不同的模型。 用户友好的 PHE Spectroscopic 软件允许用户测量和分析多个材料层和复杂的薄膜结构，具有混合层，界面层等等。 最先进的软件有数百种材料模型。 PHE-102 椭偏仪包括采集和分析所有样本数据所需的所有硬件和软件。 此外，PHE-103 椭偏仪软件是可用于数据采集和分析的最全面的程序。 它结合了最先进的数学拟合算法和大量建模选项，可实现快速、准确的数据分析。 ...
... UNECS 系列是一种光谱椭圆仪，可快速、准确地测量薄膜的折射率、厚度。 采用独特的测量方法，实现了紧凑的尺寸和高速的测量。 它有一个 st rong 产品线，如 por 台型，自动舞台型，内置式等。高速测量： 实现了快照测量方法，高速 测量为每点 20ms。 可见光谱范围： 可选择光谱波长范围。 标准型为 530 纳米 ～ 750 纳米，可见光谱型为 380 纳米 ～ 760 纳米。 紧凑型传感器单元： 传感器单元重量轻，非常紧凑。 它 由没有任何旋转机构的光学元件组成。 ...
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