光谱分析测量系统

薄膜量测系统 SpectraFilm™ F1薄膜测量系统可以为各种薄膜层提供高精度薄膜测量，从而在7nm一下的逻辑和领先内存设计节点上协助实现严格的工艺允许误差。高亮度光源驱动光谱椭偏仪技术，信号足以精确测量带隙并且可以比电子测试提早数周了解电性能。新的FoG™（光栅上的薄膜）算法可以在类似器件的光栅结构上实现薄膜测量，从而进一步提高测量值与器件的相关性。随着产量的提高，SpectraFilm F1能够支持产率提升，并且测量更多与先进设备制造技术相关的薄膜层。 主要应用 带隙监控，工程分析，在线工艺监控，设备监控，工艺设备匹配 相关产品 SpectraFilm ...

薄膜量测系统 Aleris® 薄膜量测系统可为32nm节点及以下节点提供可靠的、精确的薄膜厚度、折射率、应力以及成分测量。 利用宽带光谱椭偏仪（BBSE）技术，Aleris薄膜测量系统提供全面的薄膜厚度测量和量测解决方案，帮助晶圆厂对各种薄膜层进行鉴定和监控。 Aleris 8330 Aleris 8330薄膜量测系统是一种低成本的解决方案，用于包括金属间电介质、光阻、底部抗反射涂层、厚氧化物和氮化物以及后段层等非关键薄膜层。 Aleris 8350 Aleris ...

... COLOR CONTROL系统是为直接在球团上进行在线颜色测量而开发的，是世界上最现代化的在线颜色测量系统之一。这是第一次在市场上出现能够再现颗粒颜色并在生产过程中完全自动测量颗粒的在线色彩测量生产技术系统。COLOR CONTROL高效、强大，而且易于使用。无论你是创建一个新的颜色配方，纠正一个颜色，还是控制颜色的一致性，COLOR CONTROL都有助于确保你的客户一直期待的产品质量，为你节省时间和金钱。 二合一：有能力的分析和专业的生产监测和控制 在产品生产过程中，由于质量要求的提高和成本压力，需要及早发现生产过程中的颜色偏差或技术故障，并提高对过程的理解。关于不断提高的质量监测过程的自动化和全面质量管理（TQM），自动故障诊断和生产监测系统是必不可少的。COLOR ...

... 压力测量机/碳酸产品 激光光谱技术的创新在线应用 通过容器顶部空间的激光束分析能够提供与顶部空间中存在的压力相关的信息。 这种方法可以直接测量，不受封口和容器本身的生理变化的影响。 获得专利的计算算法可确保 100% 生产的精确可靠的结果。 特点 独立于封口类型和容器类型 没有颜色限制（需要 5% 的透明度） 非破坏性/非接触式检查 标准检查 泄漏检测 内压 ...