光谱反射率测厚仪

测量范围: 2 mm
测量精度: 4 µm
测量宽度: 200 mm - 400 mm

... thicknessGAUGE C.C传感器系统使用共聚焦色度位移传感器进行厚度测量。这些传感器使测量工作具有出色的准确性和高测量率。此外，这种创新的测量技术可以测量反射和闪亮的表面，以及（半）透明的测量对象。 厚度GAUGE传感器系统被用于带材加工和板材生产，以便在个别地方连续测量厚度。 为了连续测量各个测量点的厚度。这些系统的设计方式使其既可作为初始设备，又可用于现有设施的改造。这些传感器系统以高精度为基础，配备了智能传感器技术，被应用于各个行业。 强大的分析和控制软件。 thicknessGAUGE系统配备了一个多点触摸的软件包，用于 分析、展示和归档监测的生产数据。这个软件能够 不同的测量模式，如在任何位置的固定轨道厚度测量。 测量厚度曲线，测量几个纵向趋势，SPC 包和自动验证测量系统的能力。它可以确保轻松 它确保了对测量系统能力的简单和快速的验证，该系统可单独调整。 具有记录和过程控制的功能。 文章数据库 生产档案 统计评估 返回生产的极限值监测（可选现场总线接口） 测量系统能力的验证 ...

测量范围: 10 nm - 50,000 nm
环境温度: 18 °C - 45 °C

... 紧凑型薄膜厚度监测仪是一种反射式分光光度计，使用一个小型反射探头，适用于从实验室层面到生产过程中的在线100%检测的所有情况。它有很好的可维护性，可用于纳入工艺设备和生产线管理。 可以同时测量多达9种类型的透明薄膜。 它可以作为各种多层薄膜工艺的在线或端点监测器。 紧凑的探头可以安装在加工工具内部的一个小空间里。它还可以通过EMA理论判断混合层的混合比例或多晶硅的结晶度。 ...

测量范围: 300 mm

... 晶圆测绘单元能够在高达300毫米的晶圆的整个表面上自动测绘膜厚。自动对准功能、自我校准功能和高平整度的晶圆夹头使得薄膜厚度测量高度可靠。该装置与紧凑型薄膜厚度监测仪结合使用。 它可以安装在半导体制造设备的装载口，在保持清洁的同时控制制造设备上的薄膜厚度。 1 可以对最大300毫米的晶圆进行自动膜厚测绘测量 2 自动对准功能 3 自动校准功能 4 通过采用高平整度的晶圆夹头，提高了在晶圆表面的测量可靠性 5 支持自动化 6 负载端口安装 ...

测量范围: 11, 34, 13 mm

... 成像膜厚监测仪是一种计量工具，可以直观地看到透明多层膜的膜厚分布。 通过使用光谱反射仪，它能以0.1纳米的厚度分辨率显示薄膜厚度分布。 观察薄膜厚度的均匀性 在显微镜视场内测量薄膜厚度/质量，显示三维分布情况 薄膜厚度分辨率： <0.1纳米 良好的厚度分辨率，相当于光谱分析工具。 波长可以从450nm到750nm选择，精度为1nm。 高速/多层测量，可达 9 层 由光谱反射仪进行平行处理 先进的应用 几百次重复的薄膜，如带通干扰滤波器和复合多层薄膜，如沟槽结构 利用有效介质近似法（EMA）进行亚微米级的图案密度估计 局部区域结晶度评估，如激光退火 ...

测量范围: 950 nm - 1,650 nm

... 红外线片材厚度监测仪测量半透明片材的厚度，如电池隔膜、低反射涂层，如黑色抗蚀剂和硅。它可以用于从实验室水平到生产中的在线100%检测的所有应用。红外吸收系统由一个紧凑的镜面探头和一个透射式光学系统组成，可以同时测量多个参数，如100多个波长的薄膜厚度、密度和成分。 1 测量半透明片、低反射膜、硅等的厚度，这在光学干涉仪中是很难做到的 2 紧凑的探头 通过采用一个30毫米的小反射探头，它可以安装在设备或生产线的小空间里。此外，由于探头只用一根光缆与主体连接，因此具有良好的耐环境性。 3 ...