光刻工艺激光器

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连续波激光器
连续波激光器
FQCW266-300

功率: 0.03 W - 0.33 W
波长: 266 nm

... FQCW266-300 - 波长为 266 nm 的 300 mW cw 激光器 DPSS-CW-DUV 激光器 FQCW266-300 波长为 266 nm,单模工作时输出功率为 300 mW。与其他制造商生产的 266 nm CW 激光器相比,FQCW266 系统的特点是相干长度超过 1000 m,窄线宽 < 300 kHz,而且采用密封设计,无需对内部光学器件进行后续调整即可确保可靠运行。由于采用了密封外壳,激光器几乎不需要维护,特别适合全天候工业运行。中心波长范围为 ...

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CryLaS Crystal Laser Systems GmbH
纳秒级激光器
纳秒级激光器
FTSS355-Q3

功率: 0.015 W
波长: 355 nm

... FTSS355-Q3 - 15 µJ 的 355 nm 激光器,最大频率 5 kHz。 2.5 kHz CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。紧凑的外壳和简单的操作使该激光器成为需要最小外壳尺寸和最高性能应用的理想光源。非线性光学器件(NLO 光学器件)以 1064 nm 基本波长为基础,产生该基本波长的频率倍数,涵盖了从 1064 ...

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CryLaS Crystal Laser Systems GmbH
纳秒级激光器
纳秒级激光器
FTSS355-Q2

功率: 0.003 W
波长: 355 nm

... FTSS355-Q2 - 355 nm 激光器,10 kHz 时 3 µJ CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。紧凑的外壳和简单的操作使该激光器成为需要最小外壳尺寸和最高性能应用的理想光源。非线性光学器件(NLO 光学器件)以 1064 nm 基频为基础,产生该基频的倍频,涵盖了从 1064 nm 到 213 nm 的宽光谱激光波长。 FTSS355-Q2 ...

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CryLaS Crystal Laser Systems GmbH
纳秒级激光器
纳秒级激光器
FQSS266-Q4

功率: 0.012 W
波长: 266 nm

... FQSS266-Q4 - 266 nm 激光器,1 kHz 时 12 µJ CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。紧凑的外壳和简单的操作使该激光器成为需要最小外壳尺寸和最高性能应用的理想光源。非线性光学器件(NLO 光学器件)以 1064 nm 基频为基础,产生该基频的倍频,覆盖了从 1064 nm 到 213 nm 的宽光谱激光波长。 FQSS266-Q4 ...

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CryLaS Crystal Laser Systems GmbH
纳秒级激光器
纳秒级激光器
FQSS213-Q3

功率: 0.004 W
波长: 213 nm

... FQSS213-Q3 - 213 nm 激光器,1.5 µJ,最大频率 2.5 kHz CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。该激光器外壳小巧,操作简便,是要求最小外壳尺寸和最高性能的应用领域的最佳光源。在 1064 nm 基本波长的基础上,利用非线性(NLO)晶体产生谐波,从而实现从 1064 nm 到 213 nm 的宽光谱激光波长。 FQSS213-Q3 ...

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CryLaS Crystal Laser Systems GmbH
纳秒级激光器
纳秒级激光器
FQSS266-Q1

功率: 0.004 W
波长: 266 nm

... FQSS266-Q1 - 20 kHz 时输出 0.3 µJ 的 266 nm 激光器 CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。紧凑的外壳和简单的操作使该激光器成为需要最小外壳尺寸和最高性能应用的理想光源。非线性光学器件(NLO 光学器件)以 1064 nm 基频为基础,产生该基频的倍频,覆盖了从 1064 nm 到 213 nm ...

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纳秒级激光器
纳秒级激光器
FDSS532-Q4

功率: 0.04 W
波长: 532 nm

... FDSS532-Q4 - 1 kHz 时输出 42 µJ 的 532 nm 激光器 CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。紧凑的外壳和简单的操作使该激光器成为需要最小外壳尺寸和最高性能应用的理想光源。非线性光学器件(NLO 光学器件)以 1064 nm 基本波长为基础,产生该基本波长的倍频,涵盖了从 1064 nm 到 213 nm ...

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纳秒级激光器
纳秒级激光器
FQSS213-Q4

功率: 0.001 W
波长: 213 nm

... FQSS213-Q4 - 213 nm 激光器,1 kHz 时 2.5 µJ CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。该激光器外壳小巧,操作简便,是要求最小外壳尺寸和最高性能的应用领域的最佳光源。在 1064 nm 基本波长的基础上,利用非线性(NLO)晶体产生谐波,从而实现从 1064 nm 到 213 nm 的宽光谱激光波长。 FQSS213-Q4 ...

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纳秒级激光器
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FQSS213-Q1

功率: 0.001 W
波长: 213 nm

... FQSS213-Q1 - 20 kHz 时输出 0.05 µJ 的 213 nm 激光器 CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。该激光器外壳小巧,操作简便,是要求最小外壳尺寸和最高性能的应用领域的最佳光源。在 1064 nm 基本波长的基础上,利用非线性(NLO)晶体产生谐波,从而实现从 1064 nm 到 213 nm 的宽光谱激光波长。 FQSS213-Q1 ...

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CryLaS Crystal Laser Systems GmbH
纳秒级激光器
纳秒级激光器
FQSS266-Q3

功率: 0.004 W
波长: 266 nm

... FQSS266-Q3 - 266 nm 激光器,4 µJ,最大频率 5 kHz。 2.5 kHz CryLaS Q 系列激光器是基于微芯片设计的二极管泵浦固体激光器(DPSS 激光器)。它由一个 Nd:YAG 谐振器和一个直接耦合的可饱和吸收器组成,可用作无源 Q 开关。紧凑的外壳和简单的操作使该激光器成为需要最小外壳尺寸和最高性能应用的理想光源。非线性光学器件(NLO 光学器件)以 1064 nm 基频为基础,产生该基频的倍频,涵盖了从 1064 nm 到 213 ...

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CryLaS Crystal Laser Systems GmbH
大功率激光器
大功率激光器
Azure series

功率: 1 W
波长: 266 nm

紧凑型下一代固态激光器在平台中提供低噪声、266 nm 连续波,采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。 Azure NX 具有单频操作和绝对波长稳定功能。 它通过 LAN 或 web GUI 进行全自动操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄线宽和全天候可靠性,适用于要求严苛的应用。 将此工业级高性能 266 nm 激光器用于半导体检测、拉曼光谱分析、光纤布拉格光栅 (FBG) 写入、平板印刷等。

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