光电发射式显微镜

空间分辨率: 20 nm

... 表面敏感显微镜 20 纳米侧向分辨率 局部光谱 K 空间成像 易于操作 与 MULTIPROBE 超高压系统兼容 A F OCUS 产品光发射电子显微镜 (PEEM) 是一种非常强大的成像技术, 其多功能性用于地形, 高分辨率的化学和磁造影成像已在许多实验室和同步加速器应用中得到证明. 对磁性器件表征、等离子体研究、表面化学和高侧分辨率化学分析结合同步加速器辐射、时间分辨过程调查和 k 空间成像等重要贡献仅是基于 PEEM 的几个实例。 研究。 与扫描电子显微镜 ...

倒置光发射显微镜是一种背面分析系统，旨在通过检测半导体器件缺陷发射的光和热来识别故障位置。 从背面检测信号便于在晶圆表面使用探测卡和探针卡，样品设置可以顺利进行。该平台可以安装多个探测器和激光器，能够选择最佳探测器，以执行各种分析方法，例如光发射和热生成分析、IR-OBIRCH 分析等；此外，通过测试仪连接，使动态分析能够高效执行。 ●iPHEMOS-DD 通过直接连接到 LSI 测试仪，可以减少由于连接电缆长度造成的信号延迟，并且可以对高速驱动样本进行分析。直接对接专用探针器可将多针指针连接到 ...

倒置光发射显微镜是一种背面分析系统，旨在通过检测半导体器件缺陷发射的光和热来识别故障位置。 从背面检测信号便于在晶圆表面使用探测卡和探针卡，样品设置可以顺利进行。该平台可以安装多个探测器和激光器，能够选择最佳探测器，以执行各种分析方法，例如光发射和热生成分析、IR-OBIRCH 分析等；此外，通过测试仪连接，使动态分析能够高效执行。 ●iPHEMOS-DD 通过直接连接到 LSI 测试仪，可以减少由于连接电缆长度造成的信号延迟，并且可以对高速驱动样本进行分析。直接对接专用探针器可将多针指针连接到 ...

PHEMOS-1000 是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件缺陷导致发射的微弱光和热来定位失效位置。由于 PHEMOS-1000 可与通用探测仪结合使用，因此您可以使用您已经熟悉的样品设置来执行各种分析任务。安装可选的激光扫描系统可以采集高分辨率图案图像。不同类型的探测器可用于各种分析技术，例如发射分析、热分析和 IR-OBIRCH 分析。PHEMOS-1000 支持从探针插座板到大型 300 mm 晶圆探针的各种任务和用途。 特点 • 可安装两个超高灵敏度相机 • ...