高真空定位系统
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... 系列:FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度: 0.03mm 最大速度: 255mm/s 最大负载: 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商,成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业,已获得 ...
重复精度: 0.03 mm
载荷: 25 kg
运行行程: 50 mm - 1,000 mm
... 系列:FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度: 0.03mm 最大速度: 255mm/s 最大负载: 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商,成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业,已获得 ...
重复精度: 1, 0.8 µm
载荷: 5 kg
运行行程: 5, 15 mm
... MP410-3 高真空校准器,最高 10E-6 毫巴 可定制: - 在高达 10-6 毫巴的真空中进行转移测量的理想之选 - 专为大型样品设计,孔径达 235 毫米 - 重复精度高达 1 µm,负载能力为 5 kg - 采用无间隙滚珠丝杠 1214,实现理想的力传输 - 优化的性价比,精确的操作参数 该校准器可实现平面内 15 毫米的二次平移和垂直方向上最大 ± 5 度的旋转。运动 R (Phi) 来自 XY 组合。 规格 - 标准组件:LA85 (XYRz) - ...
重复精度: 50 nm
运行行程: 11, 20 mm
... SMARPOD CLS-32 属于中型系统,配备可更换驱动单元,因此非常适合高可用性应用。 SMARPOD CLS-32 的主要特点是可更换驱动单元 (EDU),可确保轻松快速地更换压电驱动装置,而无需完全拆卸定位系统。 底板可选配安装柱,用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个系统的顶板上方约 ...
... 快速3轴超高压系统LA80-LA90 UV / UHV / EUV,最大。500毫米行程,2微米重复性,5公斤负载 这种快速转移平台适用于超高真空中精确、快速和长寿命的应用。由于其极低的发射量和低颗粒数,它也符合在极端紫外线辐射下使用的要求。该轴的尺寸为LA80、LA95、LA170,在垂直操作中可承受高达20公斤的载荷。该轴组合是作为 "tOMography Nano crYo (OMNY)" mit dem Paul Scherrer Institut (PSI)的一部分开发的。 ...
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