高精度干涉仪

XL-80系统快速、精确，而且非常轻便，因此它成为销量最好的激光校准系统丝毫不足为奇。XL-80采用先进的软件解决方案，具有优异的性能，可以帮助您显著提高企业效益。 雷尼绍设计、制造和提供激光系统已有超过25年的历史。XL-80正是多年设计和制造经验的结晶，具有真正领先的系统性能和操作优点。

1. 产品简介 　　激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 　　SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 2.产品配置 　　SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。 其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 二.工作原理 　　激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 　　若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三. ...

Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 ...

... 非球面光学技术在成像、传感和激光系统的设计和实施方面具有显著优势，广泛应用于...和航空航天、半导体曝光和检测系统以及医疗成像系统等行业。 生产支持这些应用的非球面离不开精密计量。 毕竟，就非球面光学而言，无法测量的东西就无法制造。 Verifire Asphere+ (VFA+) 利用 Fizeau 干涉测量法的优势，为轴对称非球面提供了精确、高分辨率、快速和全孔径测量的独特组合。 VFA+ 提供了一个灵活的测量平台，只需改变透射球即可测量一系列轴对称非球面。VFA+ ...

... 用于高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜 - 允许测量反射镜倾斜最大 ± 22.5°。 - 结构紧凑、坚固耐用 - 传感器外壳具有防水溅保护装置 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 符合政府标准 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型激光干涉仪 ...

... 带两束平行测量光束的高稳定性差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热长期稳定传感器，温度灵敏度 < 20 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：21 毫米 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域（如材料特性分析）长期测量的首选。 与标准干涉仪不同，差分式激光干涉仪的参考光束从传感器头引出，与测量光束平行。这一概念使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会明显影响测量的分辨率或稳定性。这种干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，而且由于采用了差分原理，即使在正常的实验室条件下，也能达到相当的测量或光束长度。 如果使用倾斜不变反射器进行测量，长度测量范围可达数米。干涉测量系统采用模块化设计，因此可以根据不同的测量任务进行调整。 ...

... 用于远距离高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 长距离高精度长度测量 - 易于调整和操作 - 测量范围可达 80 米 - 设计紧凑 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 SP 15000 NG 长距离激光干涉仪是在 SP 5000 NG 产品系列的基础上专门为长距离长度测量而设计的。传感头带有附加光学镜组，可使激光束以最佳状态适应大长度测量。大型三坐标测量机和机床、长直线轴和校准距离是这种精密直线光栅的主要应用领域。 ...

... 高精度的非接触式位移测量 对于位移的高精度测量，SmarAct提供PICOSCALE干涉仪。 - 3个平行激光干涉仪在一台仪器上进行3D测量 - 测量带宽高达2.5 MHz（10 MHz采样率），分辨率低至1 pm1 - 可在大多数材料（塑料、玻璃、金属甚至水）上进行测量 - 多种传感器头可用于不同的应用和环境（包括真空和低温）。 - 可通过可选的模块扩展为一个完整的实验室测量和控制仪器 - 经过验证的性能，有100多个满意的客户 1 在频域中分析周期性位移时 应用实例 压电式扫描仪的高分辨率光学位移测量 样品的精确定位在各种应用中都是最重要的。虽然采用粘滑压电技术的定位系统提供了多种可能性，但在某些应用中，滑移行为是不可取的。在这种情况下，压电扫描器充分显示了它们的潜力。 在这种情况下，压电扫描器显示了它们的全部潜力，因为它们可以在几微米的范围内非常准确地定位一个样品。在这个应用说明中，压电式扫描仪的步骤得到了验证。在使用光学编码器作为传感器的闭环操作中，采用PICOSCALE干涉仪来揭示单纳米的步骤。 DeepL ...

... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪，安装快速简便，可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量，并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限！线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备，但 ...