干涉仪

XL-80系统快速、精确，而且非常轻便，因此它成为销量最好的激光校准系统丝毫不足为奇。XL-80采用先进的软件解决方案，具有优异的性能，可以帮助您显著提高企业效益。 雷尼绍设计、制造和提供激光系统已有超过25年的历史。XL-80正是多年设计和制造经验的结晶，具有真正领先的系统性能和操作优点。

RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。 特性与优点 双轴解决方案 — 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。 高分辨率 — 与角锥反射镜系统相比，平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。 敏感环境 — 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值（即 < 2 W）的应用。

... 白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估的特殊校准，可实现亚纳米分辨率的绝对测量。该干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务，例如，在电子和半导体生产中。对于真空应用，Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆在很大程度上是无颗粒的，甚至可以在UHV中使用。 该系统提供绝对测量值，因此也可用于阶梯轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量，阶梯的采样具有很高的信号稳定性。当对移动物体进行测量时，脚跟、台阶和凹陷的高度差异因此可以被可靠地检测出来。该测量系统具有亚纳米级的分辨率，相对于测量范围而言，具有较大的偏移距离。 通过对透明物体的多峰距离测量，可同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和承载板之间的距离。然后，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。 IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务，干涉仪的分辨率达到亚纳米范围。 ...

... IMS5420-TH 白光干涉仪为单晶硅片的工业厚度测量开辟了新的前景。IMS5420-TH 采用宽带超发光二极管 (SLED)，可用于测量未掺杂、掺杂和高掺杂的单晶硅片。厚度测量范围从 0.05 毫米到 1.05 毫米。可测量的气隙厚度甚至可达 4 毫米。 在半导体生产中，高精度是必不可少的。一个重要的工艺步骤是研磨坯料，从而使其达到均匀的厚度。为了持续控制厚度，我们开发了干涉仪 IMS5420 系列白光干涉仪。 这些干涉仪均由一个紧凑型传感器和一个控制器组成，安装在坚固的工业级外壳中。控制器中集成的主动温度控制确保了测量的高稳定性。 干涉仪既可作为厚度测量系统，也可作为多峰值厚度测量系统。多峰值厚度测量系统可测量多达五层的厚度，例如 ...

... 50 多年来，移相干涉仪一直是高精度表面形状计量仪器的首选技术。 这些干涉仪可快速、可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 从研究环境到广泛的工业应用，激光干涉仪都能为质量保证和生产后分析提供高水平的数据可追溯性。它们已成为制造过程中不可或缺的一部分。 Zygo 的 Qualifire 为此类仪器面临的已知挑战提供了解决方案，代表了激光干涉仪的一次飞跃。 移相干涉仪的新方法 在许多现代光学测量系统中，Fizeau 设计使用一个固定的轴上相干点光源来照亮干涉腔。 ...

Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 ...

为动态测量提供可靠的计量方案 DynaFiz 动态计量干涉仪 专为在振动频繁的环境中进行可靠的干涉测量而设计；其多功能性和灵活性足以满足广泛的应用需求，包括从高端望远镜测试到主动对准光学系统的实时相位反馈等需求。 DynaFiz® 的高光效光学设计与 ZYGO 高功率 HeNe 激光源相结合，可在“冻结”振动的高摄像机快门速度下运行。这种动态能力可在对于传统的相移技术来说过于恶劣的环境中提供可靠的计量。 全相干光学设计，可实现最高的光效率，提高动态性能 具有 ...

1. 产品简介 　　激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 　　SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 2.产品配置 　　SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。 其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 二.工作原理 　　激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 　　若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三. ...

可一次测量六个参数的激光干涉仪 80 米 线性测量范围 0.5 PPM 测量精度 6自由度 高效测量 4.2 KG 整机重量 多轴加工中心的校准 XD Laser激光干涉仪，一次安装可测得六个参数（包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角），可实现对多轴加工中心的精准测量与评估。 快速测量 与传统干涉仪相比，XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据，迅速完成整机的性能评估，停机时间可减少80%。 实时分析 API激光干涉仪软件系统可对XD激光干涉仪采集的数据进行实时分析处理并生成测量报告。 快速测量 与传统干涉仪相比，XD激光干涉仪可以更加快速、准确地测量机床的定位和轴向数据，迅速完成整机的性能评估，停机时间可减少80%。 6自由度测量 XD激光干涉仪，一次安装即可测得包括x、y、z、俯仰角、偏摆角、滚动角在内的6个参数，大幅提升测量效率。 适用于多种参数的测量 XD激光干涉仪可测量多种机床参数，包括速度、加速度、平行度、垂直度和平面度误差等等。 紧凑式设计 XD ...

... 自由孔径为 100 毫米的 VI-direct 干涉仪可以检测直径为 25 至 100 毫米的光学器件。供货范围包括一个波长为 632.8 nm 的氦氖激光器。 通过 USB 3 端口直接连接电脑，无需图像采集器 - 高分辨率（3088x2076 像素）数码相机 - 曝光时间短，对振动不敏感 - 多种光学和机械附件 - 可在垂直、水平和倾斜角度下使用，因此可根据客户要求进行布置 - 由于设计紧凑，干涉仪可以很好地集成到与应用相关的工作站中 - 使用 ...

... 微型干涉仪 VI-direct 将平面度测试范围扩展到最小直径领域。菲佐型干涉仪能够测量直径在 0.8 毫米到 3.6 毫米之间的光学部件的表面平面度。微型干涉仪 VI-direct 性价比高，可用于测试微型棱镜、激光晶体、光纤末端等光学部件。 - 通过 USB 3 端口直接连接电脑，无需图像采集器 - 高分辨率数码相机（3088x2076 像素） - 曝光时间短，对振动不敏感 - 多种光学和机械附件 - 可用于垂直、水平或倾斜方向。这使得该仪器在客户的特定应用中具有极高的通用性 ...

... 测量站 Interferometer VI-direct 28 SUL 可以快速检测球形表面的形状或半径偏差。可选择使用 INTOMATIK-S 软件对干涉图进行评估。 - 通过 USB 3 端口与视频微型计算机直接连接 - 高分辨率数码相机（3088x2076 像素） - 曝光时间短，对振动不敏感 - 半径测量显示单元 - 一组光圈挡块 - 样品支持 XY 移位 - 用于快速预对准的查找器模式 - 易于使用 - 使用 INTOMATIK-S ...

... 作为 NOVACAMTM 三维测量系统的核心部件，MICROCAMTM-3D/4D 干涉仪为光学扫描探头提供光源，并对测量结果进行光学和电子处理。 NOVACAM 干涉仪 MICROCAM-3D 和 MICROCAM-4D 提供以下功能： - 微米精度 3D 测量 - 粗糙度、几何形状（GD&T 参数）、厚度、振动、缺陷 - 快速采集率高达 100 kHz，即每秒可进行 100,000 次 3D 点测量 - 测量不受环境光线、空气扰动或光束切割的影响 - 模块化和多功能部署，基于光纤的光学测头可集成到运动平台、机器人、龙门架、坐标测量机和数控机床上。 - ...

... 三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...

... 用于高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜 - 允许测量反射镜倾斜最大 ± 22.5°。 - 结构紧凑、坚固耐用 - 传感器外壳具有防水溅保护装置 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 符合政府标准 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型激光干涉仪 ...

... 用于远距离高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 长距离高精度长度测量 - 易于调整和操作 - 测量范围可达 80 米 - 设计紧凑 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 SP 15000 NG 长距离激光干涉仪是在 SP 5000 NG 产品系列的基础上专门为长距离长度测量而设计的。传感头带有附加光学镜组，可使激光束以最佳状态适应大长度测量。大型三坐标测量机和机床、长直线轴和校准距离是这种精密直线光栅的主要应用领域。 ...

... 大气发射辐射度干涉仪（AERI™）是一种坚固耐用的自动探空分光辐射计系统，可在恶劣环境条件下进行无人值守操作。它能高精度地测量绝对下穿大气红外辐射度。配合专门的算法，这种遥感工具可全年昼夜工作（降水期间除外），每 8 分钟连续提供温度和湿度以及其他大气变量的概况。 应用 天气预报 云和气溶胶研究 空气质量监测（污染） 机场监测等 特点 技术成熟：一些已安装的系统已连续运行 15 年以上 辐射测量精度高，重复性好，可实现网络化运行 波长精确，光谱分辨率高 灵敏度高 快速扫描能力，可进行实时光谱处理 优点 可追溯的 ...