发光性检测系统

MiNY PL 是一种使用光致发光 (PL) 测量方法的微型 LED 晶圆检查系统。 详细参数 • 型号名称 : C15740-01 • 支持的晶圆尺寸 : 100 mm（4 英寸）或 150 mm（6 英寸） （其他尺寸可协商提供） • 测量时间 : • 约 12 分钟 • （10 倍物镜，PL 测量，4 英寸晶圆） • PL 测量波长 : R、G、B • 空间分辨率 : 1 μm/像素（标准模式），0.5 μm/像素（高分辨率模式） • ...

... 凭借其独特的光学设计技术，Imperia系统可以检测和分类杀死产量的缺陷，并同时获得最先进的光致发光（PL）生产监测的额外好处。 产品概述 Imperia系统采用了独特的光学设计技术，能够检测和分类杀死产量的缺陷，同时还具有最先进的光致发光（PL）生产监测的额外优势。将这两种外延后计量筛选功能结合到一个高产能系统中，最大限度地减少了宝贵的工厂空间使用和盒式处理时间。该产品可以为用户节省大量的经济成本（例如：准确预测MOCVD反应器产量和PM计划）。 - 高密度光谱PL图 - ...

... Vertex 系统可控制 PL 测量过程，以便您的外延过程保持牢固的控制。 产品概述是 行业标准 RPM 系列的最新成员，Vertex 系统采用了一个伟大的概念，并将其推向最终的结局。 Vertex 系统使用新颖的板载光束剖面仪，通过持续监控激光功率和焦点尺寸来控制功率密度。 这样，用户就可以将功率密度调整为固定值，消除刀具之间的所有变异来源，从而在生产环境中实现良好的刀具匹配。 此外，功率密度控制有助于 Vertex 系统提供高精度和可重复的数据测量。 ...