多轴压电执行器

运行行程: 1 µm
力度: 10 N - 150 N

... - 无铅、结晶型致动器材料 - 高动态性 - 适合于无位置控制的操作 - 电能消耗低 - 最小的长度公差 双极工作电压高达±500V。几乎无滞后运动（<0.2%）。无蠕变。Picoactuator®，作为纵向和剪切执行器，可配置的高度为20毫米，最大行程为±1.5微米 - 兼容UHV，达到10-9 hPa - 内孔 - 提示 Picoactuator® 纵向和剪切推杆由结晶压电材料组成。剪切推杆的比位移为推杆长度的±0.02%，纵向压电推杆的比位移为±0.01%。与锆钛酸铅（PZT）制成的压电致动器相比，这个数值低了10倍。运动是高度线性的，几乎没有滞后现象。 ...

运行行程: 1, 3, 5, 10 µm
力度: 20 N - 300 N

... 紧凑型多轴执行器 - 单轴和多轴版本 - 行程范围为10 × 10 × 10 µm - 极端可靠。>109次 - 皮米级的分辨率 - 交付时间短 压电式剪切推杆 工作电压-250到250V。横向位移是基于压电剪切效应。优秀的动态性能，对电力的要求最低。 有内孔的变体，或用于低温和UHV环境，达到10-9 hPa。 应用的领域 - 工业和研究 - 扫描应用 - 显微镜 - 精密机械学 - 开关应用 可能的修改 - 压电陶瓷材料 - 非磁性版本 - 工作电压范围、位移、层厚、截面尺寸 - ...

运行行程: 1, 3 µm
力度: 20 N - 50 N

... 用于低温和超高压环境的紧凑型执行器 - 适用于10-9 hPa的UHV环境 - 适用于低温环境 - 极端可靠。>109次循环 - 皮米级分辨率 - 微秒响应时间 压电式剪切推杆 工作电压-250至250V。适合在低温和UHV环境下使用，达到10-9hPa。横向位移是基于压电剪切效应。优秀的动态性能，对电力的要求最低。 用于多轴运动的变体，也有带内孔的。 应用的领域 - 工业和研究 - 低温/真空环境至10-9 hPa - 扫描应用 - 显微镜 - 精密机械学 - ...

运行行程: 3, 5, 10 µm
力度: 20 N - 200 N

... 带内孔的紧凑型多轴执行器 - 单轴和多轴版本 - 行程范围达10×10×10微米 - 极端可靠。>109次 - 皮米级的分辨率 - 交付时间短 带内孔的压电式剪切推杆 工作电压-250到250V。横向位移是基于压电剪切效应。卓越的动态性能，对电力的要求最低。 无内孔的变体，或用于低温和UHV环境，达到10-9 hPa。 可能的修改 - 压电陶瓷材料 - 非磁性版本 - 工作电压范围、位移、层厚、截面尺寸 - 负载能力，力的产生 - 机械接口：平面、球面、金属、陶瓷、玻璃、蓝宝石等。 - ...