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用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。 产品特点 电子束蒸镀法的特征 1. 用电子束直接照射镀膜材料进行加热，因此热效率高，能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。 2. ...
适用于氧、氮和氢的 UNI-Bulb RF 等离子源 优化电子设备和光电器件的生产 Veeco Uni-Bulb RF 等离子源可提供电子和光电材料的 GaN 生长最佳条件以及优异的等离子稳定性和可重现性。单个 PBN 气体进口管和等离子灯泡与双同轴 RF 线圈相结合可实现优异的功率耦合和散热。为了进一步提高性能，还提供了一些设计选件（包括定制的孔板）。 气体等离子是将高度稳定的源气体（如 N2 或 H2）转换为适合 MBE 生长的更活跃的原子和分子形态的有效工具。Veeco ...
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