单轴纳米定位平台

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO ...

运行行程: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
重复精度: 75 nm

... 我们的第二代ANT95L直线运动平台是满足纳米级运动和定位需求的领先解决方案。这些平台有多种配置，在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面都是同类产品中的佼佼者。此外，ANT95L平台还具有令人印象深刻的动态能力和更强的承载能力，是放大您的工艺过程的绝佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至0.5 nm - 全新 -在最长100 mm的行程内实现纳米级定位性能 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机，优化了工艺产量并最大限度地提高了可靠性 -易于集成到多轴组件和运动子系统中 ANT95L平台是高精度和高动态定位应用的理想之选，这些应用包括 -光学装配与检测 -光纤对准与优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...

载荷: 2, 1.5 kg

... ANT95R直驱旋转平台具有前所未有的位置稳定性和0.01角秒以下的增量运动性能，并提供两种精度等级。结构紧凑，易于与其他运动轴和系统集成。 -0.01角秒分辨率 -0.005角秒位置稳定性 -出色的误差运动规格 -多轴配置 -高动态性能 -有限旋转和无限旋转 多轴功能 ANT95R系列的设计是为了与Aerotech的ANT线性平台产品相容与容易整合.ANT95R系列与Aerotech的ANT线性平台兼容, 易于整合. ...

运行行程: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 75 nm

... 我们的第二代ANT95LZ平台专门设计用于在垂直方向上提供纳米级运动和定位性能。用户可调节的超低摩擦气动平衡使其在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面成为同类产品中的佼佼者。ANT95LZ平台具有出色的动态性能和更强的承载能力，是您需要卓越的垂直运动时的最佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至1 nm。 -在最长50 mm的移动长度上实现纳米级定位性能 -通过用户可调的超低摩擦平衡，在垂直方向实现精确定位，有效载荷可达5公斤 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机，最大限度地提高了工艺产量和可靠性 ANT95LZ是要求高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择，包括 -光学装配和检测 -光纤对准和优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试与鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...

运行行程: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
重复精度: 3 nm

... NanoScan-SP 系列压电驱动平台具有最佳的定位性能和最快的 Z 堆叠间恢复速度，可与 Prior 电动平台以及使用适当转接板的许多普通显微镜兼容。超薄的 13.7 毫米高度是 400 微米和 600 微米闭环版的一大特点，为样品区的照明提供了更好的通道。附件插入板适用于各种样品，包括孔板、微滴板、载玻片和培养皿。 ...

运行行程: 1 mm

... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动，用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性，最小的滚动和倾斜以及动态响应，从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对，用于闭环控制，并采用高分辨率电容式探头，在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程：1050 微米 ± 10% • 闭环行程：1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率：20 ...