次峰值测量站

... 磁场探测站主要用于测试半导体材料、微纳器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电特性和磁特性。它可以提供磁场或变温环境，进行高精度的直流/射频测量。 公司产品设计和生产的各种磁场探针站具有稳定性强、功能多样、可升级扩展等特点。这些产品适用于大学、研究所和半导体行业的实验研究和生产。 ...

... 高低温真空磁场探测站是一个提供高低温、真空和磁场环境的高精度实验平台，它的许多设计都是专用的。 高低温磁场探针站的配置主要根据用户的需求进行选择和设计。例如，所需的磁场值、均匀区域的大小、均匀度的大小、样品台的大小等。 这些参数都与一定区域内磁场线产生的磁通密度有关； 位移台还可以与磁流体密封装置相配合，实现样品台在水平方向上的二维移动和 360 度旋转； 此外，探针台与我公司自主研发的高精度双极恒流电源相结合，可使用户获得高稳定的磁场。 探针站配有 4（6、8）个高精度位移的探针臂，并配有高精度电子显微镜，方便对微小样品进行观察操作。该探头可用于通过直流或低频交流信号测试芯片、晶片、封装器件等。它广泛应用于半导体工业、微机电系统、超导、电子、铁电子、物理、材料科学和生物医学等领域。 ...

... 一维磁场探测站，提供面内磁场，磁场均匀度为 ±1%@φ2 mm； 实时监测和反馈磁场强度，监测精度优于 1%，磁场分辨率优于 0.02mT； ...

... 二维磁场探测站，包括两组磁铁，可同时提供垂直和平面磁场，磁场均匀度为 ±1%@∅1mm； 实时监测和反馈磁场强度，监测精度优于 1%，磁场分辨率优于 0.02mT； ...

... 磁场探测站广泛应用于半导体工业、微机电系统、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料科学和生物医学等领域。 Dexinmag 的一维、二维、三维磁场探针站。 - 线圈可采用风冷式（磁场较小）或水冷式（磁场较大），并配有线圈过热保护装置。 - 与德新玛格公司生产的高精度双极直流电源配合使用，可长时间稳定工作。 - 各维度的输出电流由软件或电源控制面板上的按钮控制，可产生空间任意方向的矢量磁场。 - 探针台配有可移动样品台，可实现样品台在水平方向上的二维移动和 ...

... 平面内磁场探针站，除磁铁外采用通用设计，磁场均匀度为 ±1%@φ1 mm； 实时监测和反馈磁场强度，监测精度优于 1%，磁场分辨率优于 0.02 mT； ...

... 一维磁场探测站，提供垂直磁场，磁场均匀度为 ±1%@d2mm； 实时监测和反馈磁场强度，监测精度优于 1%，磁场分辨率优于 0.02mT； ...

... 垂直磁场探测站，除磁铁外，结构采用通用设计，磁场均匀性为 ±1%@φ1 mm； 实时监测和反馈磁场强度，监测精度优于 1%，磁场分辨率优于 0.02 mT； ...

... SPS-1000、SPS-2000和SPS-2200系统是MicroXact首屈一指的手动探针台，设计灵活，易于使用。这些手动探针系统的高水平性能和经济性使它们在同类产品中独树一帜。 我们的探针站具有高达200毫米晶圆的能力，直流或射频探针和可选的热卡盘，以及各种屏蔽选项，可用于广泛的应用，如故障分析、可靠性测试、IV/CV测试、低电流测试以及微波和射频特性分析，仅举几例。 使用MicroXact的手动探针站进行IV、CV和低电流测试，可以为半导体器件的表征提供所需的精确和准确测量。由于MicroXact的手动探针站有多种选择和灵活性，晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。 特点 ...

... 标准半自动系统 - 标准配置中，SPS-2600中的电动XY卡盘、电动压板，SPS 2800中的卡盘电动Z向运动。马达化的θ是一个选项。 - 基于步进电机，没有编码器。 - 非常具有成本竞争力 - 在需要进行低于0°C测试或屏蔽的应用中，强烈推荐使用。 - 可选项：加热或冷却卡盘，变焦显微镜或复合显微镜，各种屏蔽，选择卡盘进行直流和射频测量，以及更多。 规格 - 晶片尺寸 最高可达200毫米 - ...

... 高精度的半自动系统 - 电动XY卡盘，标准配置中卡盘的电动Z运动。电动Theta是一个选项。 - 基于步进电机，线性编码器。 - 对于定位规格来说，具有成本竞争力。 - 是小批量生产测试和加工的理想选择。 规格 - 晶片尺寸 高达300毫米 - 电机类型 步进电机 - XY平台行程 高达300mmx300mm - XY平台分辨率，重复性 电动化，0.15μm的分辨率，+/-1.2μm的重复性 ...

... 高速半自动系统 - 电动XY卡盘，SPS-2600中的电动压盘，SPS 2800中卡盘的电动Z向运动为标准配置。马达化的θ是一个选项。 - 基于伺服电机，线性编码器。 - 非常有成本竞争力，非常快，高生产力的解决方案 - 强烈推荐用于中等规模的生产或其他对产量有要求的应用。 规格 - 晶片尺寸 最高可达300毫米 - 电机类型 伺服电机 - XY平台行程 高达300mmx300mm ...

... 带有集成激光切割系统的LCS-4000探针台为用户在半导体诊断切割、故障分析、修剪、打标和表层去除方面提供了最大的灵活性。所有这些功能都可以在微观层面上进行，都在这一个系统上进行，它提供了高水平的性能，而且非常容易使用。 集成的激光切割系统可用于改变集成电路上的导体，通过激光烧蚀接触导线、牺牲层和其他材料而不损害器件内部。这种激光修剪过程允许有选择地去除层，如去除顶层，并可帮助进行半导体故障分析或微调器件特性，如电阻、电容或射频特性。MicroXact的激光切割系统还能够通过切割连接故障元件和电路其他部分的金属线来隔离故障元件。预建的逻辑包括自动识别晶圆上的故障器件，并通过烧蚀将这些器件从晶圆上完全抹去。 LCS-4000提供电动、半自动或全自动的配置系统，并可通过各种设计选项和附件轻松地配置为广泛的应用。 LCS-4000探针台的特点 ...

... A4P系列晶圆电阻率测绘仪采用成熟的行业标准，提供快速、准确和可靠的样品电阻率分布测量。MicroXact的四点探针通过让电流通过四点探针的外侧点并测量内侧点上的电压来测量各层半导体晶片的平均电阻。然后，电阻率的值，即材料赋予它的电阻的特性，可以通过将片状电阻乘以薄膜的厚度来找到。 提供100毫米、150毫米、200毫米或300毫米的系统，A4P四点式探头的设计是免维护的，非常容易使用。该系统有多种选择，包括大范围的热测试、用于非标准材料的定制卡盘和为几乎所有应用定制的四点探针。 ...

... 型号CPS-XXX-CF-PLUS能够在低至9K（单CCR系统）、4.5K（双CCR系统）或甚至低于4K（三CCR系统）的低温条件下对晶圆和器件进行快速和经济的测试。 我们提供测试100毫米、150毫米、200毫米或300毫米晶圆的系统，可选择负载锁定功能。这些系统可以配置独立的探针臂（可选择楔形探针）或探针卡座。可以用超过100个的直流探头进行高密度探测。这样的系统是新兴的量子计算领域和既定的超导电子学领域的理想选择。 特点 - 探针臂带有外部手动微动调节装置。 ...

... CPS-HT是MicroXact的高温探针系统，用于在真空或受控气体环境中对市场上最高温度的器件进行测试和鉴定。我们提供手动晶圆探针，用于测试高达2" x 2" (50mm x 50mm)的样品，以及电动或半自动系统，用于测试100mm或更大的晶圆。这些系统能够在真空中测试高达700oC的样品，或在大气压下测试高达650oC的样品。 特点 - 探头臂带有外部手动微动调节装置。 - 可提供空气或液氮冷却的热卡盘。 - 标准配置包括7:1X变焦管，分辨率优于4μm。 ...

... MPS-C-300和MPS-C-350磁探针系统是世界上第一个能够在被测设备周围提供三维磁场控制的探针站。 MicroXact真正独特的正在申请专利的设计使晶圆级的自旋电子器件、纳米级电子器件和许多其他需要磁场进行精确测试和测量的材料和设备的测试成为可能。自旋电流和自旋扭矩振荡器测试、磁模拟和复杂的多层结构的各向异性识别只是我们MPS系统的几个应用实例。 特点 - MPS系列磁力探针站是市场上唯一提供任意二维或三维方向应用磁场的探针站，使这些探针站成为自旋电子器件特性和自旋电子研究的最终解决方案。 ...

... SPS-2600-VAC和SPS-2800-VAC系列是MicroXact的真空探针系统，设计用于支持在真空或受控气体环境中对高达100毫米或高达200毫米的晶圆进行机动或半自动探测。这种真空测试方案系统而精确，成本效益高，噪音低，使用方便。这些真空探针系统建立在一个振动补偿的多功能平台上，能够被配置为处理广泛的探测应用。MicroXact的真空探针系统是进行低至77K的无结冰测试或易氧化的设备和元件的高温测试的理想选择，它提供可控环境的晶圆级探测。 真空探针站的特点 ...

... HPD IQ3000是在4K环境下用于150毫米和200毫米基片的高精度全自动探针台。为了加速实现商用量子计算机和超导计算机，我们为芯片开发人员提供了他们需要的工具，以智能地迭代他们的设计。IQ3000集成了可配置的直流和射频布线，可提供定制的探针卡，以实现测试配置的最终灵活性。带有集成磁屏蔽的坚固设计提供了必要的稳定环境条件，确保为最敏感的超导器件提供最高质量的数据。全自动晶圆加载和复杂的Velox软件套件可实现高产能测试和无人值守操作，以快速获得数据。FormFactor长期以来的探测技术和数十年的精密低温经验在这一系统中结合起来，使超导器件测试和测量从实验室进入工厂。 ...

... HPD Kilimanjaro 122是一个卓越的4K解决方案，可以满足您所有的探测需求。它旨在通过解决周转时间长、高噪音和低信号能力等问题来支持我们的客户。FormFactor在探测解决方案和低温系统方面的卓越知识使我们处于最佳位置，帮助你实现你的目标。 为了达到真正的4K温度，该系统采用了低温定位器进行探测操作。我们已经采取了额外的措施，以确保所有的信号在到达您的样品之前都有良好的沉降。所有的接口都经过特别设计，以阻止任何辐射干扰您的样品。光学端口可以选择安装4K和50K的挡光板，以消除任何寄生的热负荷。结果是一个真正的4K系统，温度稳定性为5mK。 机械振动也是探测应用的一个主要问题。探头与被测设备（DUT）之间的位移会对样品造成损害，并在测量中引起噪声。当机械振动通过电缆时，三电噪声也会被诱导到信号中。我们采用灵活的热跳线和真空波纹管，将GM低温冷却器与系统的其他部分解耦。 乞力马扎罗122的设计考虑到了客户的需求，提供了许多可配置的端口，以使你的信号到达你的样品。有多个易于使用的真空馈通，每个阶段板上有许多阻光端口。这种方法使得解决你可能需要的任何信号（直流、射频、FO）能力变得简单。 ...

... HPD Kilimanjaro 125是一个卓越的4K解决方案，可以满足您所有的探测需求，重点是超低振动应用。与Kilimanjaro 122一样，该系统解决了诸如长周转时间、高噪音和低信号能力等问题。FormFactor在探测解决方案和低温系统方面的卓越知识使我们处于最佳位置，帮助你实现你的目标。 该系统采用了一系列的热隔离技术，以充分利用所有可用的冷却能力。我们已经采取了额外的措施，以确保所有的信号在到达你的样品之前得到很好的沉淀。所有的接口都经过特别设计，以阻止任何辐射干扰你的样品。光学端口可以选择安装4K和50K的光阻挡百叶窗，以消除任何寄生热负荷。其结果是一个真正的4K系统，温度稳定性为5mK。 机械振动也是探测应用的一个主要问题。大的位移会对样品造成损害，并在测量中诱发噪声。当机械振动通过电缆时，三电噪声也会被诱导到信号中。这个系统建立在Kilimanjaro ...

... 用于在真正的4K低温下进行高精度测量的大型超低振动芯片级探针站 HPD Kilimanjaro 1260是一个卓越的4K解决方案，以符合人体工程学的低振动系统满足您的所有探测需求。与Kilimanjaro 125一样，该系统解决了诸如周转时间长、高噪音和低信号能力等问题。FormFactor在探测解决方案和低温系统方面的卓越知识使我们处于帮助你实现目标的最佳位置。 除了Kilimanjaro 125支持的应用外。更大的实验体积可以实现更大的4K应用，如扫描显微镜。乞力马扎罗1260被用来部署扫描SQUID显微镜（SSM）。 该系统采用了一系列的热隔离技术，以充分利用所有可用的冷却能力。使用与乞力马扎罗122相同的设计，我们实现了真正的4K系统，温度稳定性达到5mK。 ...