6轴位移台

速度: 15, 100 mm/s
重复精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXX 系列平行移动平台六自由移动平台 简要说明： 六自由度平行运动设计使其比串联运动系统更紧凑、更坚固，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小 ...

速度: 100, 15 mm/s
载荷: 750 kg

... HEX-S6.50.200 6 轴六足三脚架 平行六自由度平台 简短说明： 特点高精度，可组装，可定制，光圈 460mm 在紧凑坚固的平台上实现稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力 在可用空间有限的情况下，非常适合需要复杂多自由度运动的应用。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。 ...

速度: 500 mm/s
重复精度: 0.15, 0.1 µm
载荷: 50 kg

... E-ABT-XY-360X360 (陶瓷直线电机平台) XY 空气轴承直线电机平台 简要说明： 陶瓷版采用高纯度氧化铝作为气浮结构和导轨元件。与花岗岩和金属相比，氧化铝陶瓷具有较小的膨胀系数，以及直线度、硬度和耐磨性等优点。 扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 行程范围达 360 毫米 × 360 毫米 负载能力达 500 N 分辨率达 4.88nm 或 1nm，速度达 500mm/s 增量式编码器或绝对式编码器 可提供氧化铝陶瓷型号，这种材料具有最高的精度和性能，但价格较高。 过滤器和空气准备套件 附加轴 机床底座 花岗岩底板和减震系统 适用于附加定位器的支架，如尖端/倾斜平台或带压电驱动的 ...

载荷: 10 kg

... 特点高精度、可组装、可定制、光圈 460 毫米 在紧凑坚固的平台上实现稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力 非常适合在可用空间有限的情况下需要复杂的多自由度运动的应用。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。 ...

运行行程: 50 mm
速度: 100 m/s
重复精度: 0.2 µm

... 六轴六脚架三脚架结构装置 E-HEX-10.6.100.100-XXX 系列平行六自由度平台 简要说明： 特点高精度、可组装、可定制、光圈 460mm 结构紧凑、坚固耐用，可提供稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力，是需要复杂多自由度运动而可用空间有限的应用的理想之选。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。 ...

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm

... ELMT-XY 系列直线电机平台采用十字滚柱导轨与直线电机相结合的方式，具有传统机械导轨无法比拟的大面积中空结构，直线度和平面度高，尤其适用于小步距或需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装和加工的绝佳应用选择。显微镜下运动性能极佳。直线导轨具有非常好的平面度和直线度 ● 采用铁芯直线电机，确保足够的系统刚性和动态性能 ● 使用安静平稳，噪音极低 ● 具有极高的精度性能 上一篇: E-LMT-XYZ（高精度一体化组合 XYZ 轴平台） 下一个HEX-S6.50.200 ...