5轴定位系统

重复精度: 0 µm - 1 µm
载荷: max 2.0 kg
运行行程: 3 mm - 4 mm

... MP200-5 微型 XYZ Phi Delta 定位系统 可定制： - 高达 0.007 µm 的超高分辨率 - 最高定位精度，Rx 和 Ry 为 ± 1.5° - 负载能力高达 20 N - 坚固耐用的自保持滑动螺纹驱动装置可实现最高达 0.07 µm 的精细运动 - 坚固的轴承连接具有极强的抗干扰能力 - 所有自由度的重复精度绝对恒定，可达 ± 0.5 µm - 由于集成了 5 轴控制电子元件，因此结构非常紧凑 - 通过简单的电源和标准数据接口与上级系统连接 电动对中和校平平台的五个自由度移动非常稳定。该系统可在所有三个方向上移动。它还可以在平面上倾斜两个角度。 规格 - ...

重复精度: 5, 10 µm
载荷: 4 kg - 25 kg
传送速度: 0.1 m/s - 10 m/s

... Z3TM+ 扩展了运动平台的模块组合。该模块增加了四个独立的自由度，即嵌入在放大的 Theta 空心轴内的倾角、俯仰、Theta 和 Z 轴。其中一种配置包括一个 Z 轴，该 Z 轴现在具有双叠加 Z 轴；一个细轴 (FZ) 和一个粗轴 (CZ)。通过设计，该可选模块能够完全满足先进半导体应用的晶片运动要求，从而为原始设备制造商提供适用于任何半导体技术的交钥匙解决方案。就单位体积内的功能数量而言，该产品的紧凑性创下了密度记录，而其性能则为晶圆级精度和动态设定了新的市场标准。 基于 ...

... CHARON2 平台建立在强大、可靠和优雅的堆叠架构之上，设计时考虑了模块化和可扩展性原则。 它从独立的 X 轴开始到最多 7 轴的完整运动系统。 数据表的性能可用于不同的电子配置。 它与当前和未来的模块和选项的兼容性允许覆盖最广泛的应用空间和使用案例。 这个灵活、可扩展、模块化和可升级的平台为所有半导体应用和其他市场的许多用例提供了入门级别，例如医疗、制药、材料科学和其他市场。 CHARON2 平台在所有服务市场中不断发展，支持 OEM 的产品寿命延长以及升级路径。 ...