5轴定位系统

重复精度: 0 µm - 1 µm
载荷: max 2.0 kg
运行行程: 3 mm - 4 mm

... MP200-5 微型 XYZ Phi Delta 定位系统 可定制： - 高达 0.007 µm 的超高分辨率 - 最高定位精度，Rx 和 Ry 为 ± 1.5° - 负载能力高达 20 N - 坚固耐用的自保持滑动螺纹驱动装置可实现最高达 0.07 µm 的精细运动 - 坚固的轴承连接具有极强的抗干扰能力 - 所有自由度的重复精度绝对恒定，可达 ± 0.5 µm - 由于集成了 5 轴控制电子元件，因此结构非常紧凑 - 通过简单的电源和标准数据接口与上级系统连接 电动对中和校平平台的五个自由度移动非常稳定。该系统可在所有三个方向上移动。它还可以在平面上倾斜两个角度。 规格 - ...

重复精度: 5, 10 µm
载荷: 4 kg - 25 kg
传送速度: 0.1 m/s - 10 m/s

... Z3TM+ 扩展了运动平台的模块组合。该模块增加了四个独立的自由度，即嵌入在放大的 Theta 空心轴内的倾角、俯仰、Theta 和 Z 轴。其中一种配置包括一个 Z 轴，该 Z 轴现在具有双叠加 Z 轴；一个细轴 (FZ) 和一个粗轴 (CZ)。通过设计，该可选模块能够完全满足先进半导体应用的晶片运动要求，从而为原始设备制造商提供适用于任何半导体技术的交钥匙解决方案。就单位体积内的功能数量而言，该产品的紧凑性创下了密度记录，而其性能则为晶圆级精度和动态设定了新的市场标准。 基于 ...

重复精度: 0.3 µm
载荷: 30 kg
运行行程: 650, 205 mm

... CHARON2 是我们最受欢迎的运动系统平台。通过其坚固可靠的堆叠结构，以及模块化和可扩展性设计，它被公认为是许多交钥匙运动解决方案的高性价比切入点。 CHARON2 系列有多种预定义配置，从单 X 轴到完整的 6 自由度 (DOF) 运动系统。从我们的标准电子元件中进行选择，可使 CHARON2 系统在性能上进行扩展，以最好地满足目标规格。 CHARON2 在现场运行的平台超过 3000 台，可满足所有半导体应用以及医疗、制药或材料科学等其他市场的许多用例。 凭借电机、电子和控制方面的专有 ...