4轴定位系统
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重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm
... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围,每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成,可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动,以检查几何形状,进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程:2 x 720 x 720 x 100 mm - 2个X轴,每个轴用于扫描器/显微镜,最大重量为25公斤 - ...
重复精度: 0.2 µm - 2 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 10 mm - 600 mm
... 带光圈的 XY-2Z 4 轴龙门架 可定制 - 连续运动中点差高度测量的理想之选 - 用于 70 x 100 毫米孔径的双面 Z 传感器定位器 - 减震设计,具有出色的加工值,重复性可达 1µm - 减少因空气承载样品架而产生的废气排放 - 出色的使用寿命和全天候免维护运行 该 XYZ 龙门定位系统可实现高精度的双边检测过程,每个检测过程可配备 2 个定制传感器/显微镜,用于不同的计量应用。第一个 Z 轴位于固定横梁上,第二个传感器/显微镜安装在光圈下方的 Z ...
重复精度: 0.03 mm
载荷: 25 kg
运行行程: 50 mm - 1,000 mm
... 系列:FSK40 行程范围50mm~1000mm 位置精度: 0.03mm 最大速度: 255mm/s 最大负载: 25kg 滚珠丝杠G1204/G1605/G1610 用于直角坐标机器人的滚珠丝杠模块、皮带驱动直线导轨、定位平台、运动控制器。CE, FCC, RoHS, ISO9001 认证。 种类繁多的现货产品 10 件起的数量折扣 定制 OEM 解决方案 增值服务 新货源、新价格、新机会。 富宇科技是一家线性机器人制造商,成立于 2011 年。 作为国家高新技术企业,已获得 ...
... CHARON2 平台建立在强大、可靠和优雅的堆叠架构之上,设计时考虑了模块化和可扩展性原则。 它从独立的 X 轴开始到最多 7 轴的完整运动系统。 数据表的性能可用于不同的电子配置。 它与当前和未来的模块和选项的兼容性允许覆盖最广泛的应用空间和使用案例。 这个灵活、可扩展、模块化和可升级的平台为所有半导体应用和其他市场的许多用例提供了入门级别,例如医疗、制药、材料科学和其他市场。 CHARON2 平台在所有服务市场中不断发展,支持 OEM 的产品寿命延长以及升级路径。 ...
... 适用于12英寸晶圆、印刷电路板的XYZ Phi检查系统(洁净室ISO 2) - 检查和微镜检查 带有洁净室外壳的通用4轴花岗石龙门架 该XYZ Phi定位系统可用于半导体和电子制造业的各种测试和检测过程,洁净室等级可达ISO 2。由于在XY方向的行程设计高达320 x 320毫米,它适用于所有标准的晶圆尺寸,最大可达12英寸。使用线性马达驱动的KT405-320-EDLM机械平台,样品在Z轴上被高精度地操纵到激光、传感器或照相机上。用PMT160-050-DC-R/L精密测量平台调整传感器或照相机的垂直运动(最大50毫米),该平台可以选择补充一个旋转单元。 在苛刻的洁净室中进行高精度测试 - ...
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